技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種光阻管路，包括：存儲箱、光阻噴嘴和延長管，所述存儲箱存儲光阻溶液，所述光阻噴嘴的一端連接所述存儲箱，所述光阻噴嘴噴出光阻溶液，所述延長管具有相互連接的滯存部和排出部，所述滯存部遠(yuǎn)離所述排出部的一端連接所述光阻噴嘴，所述滯存部滯存光阻溶液。本發(fā)明提供的光阻管路及光阻涂布設(shè)備，通過延長管具有的滯存部滯存光阻溶液，為光阻溶液提供一個較為濕潤的環(huán)境，從而防止光阻溶液在光阻噴嘴產(chǎn)生結(jié)晶，降低了由于解決結(jié)晶問題而導(dǎo)致的光阻損耗，進(jìn)而降低了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：凌意明;周孟興;韓玉龍;王琦
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
文檔號碼：201610885970
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.10
技術(shù)公布日：2016.12.21