本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光阻管路及光阻涂布設(shè)備。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體制造技術(shù)需要在半導(dǎo)體襯底上進(jìn)行多種不同的物理和化學(xué)工藝，光刻工藝則是半導(dǎo)體制造技術(shù)最重要的工藝之一。因?yàn)樵谡麄€(gè)集成電路的制造過程當(dāng)中需要進(jìn)行多次光刻工序，所以光刻工藝耗費(fèi)生產(chǎn)總成本的較大比例，光刻工藝的發(fā)展能夠極大地推動半導(dǎo)體性能的提高和總生產(chǎn)成本的降低。

光刻工藝是通過一系列生產(chǎn)步驟，將晶圓表面薄膜的特定部分除去的主要工藝，通過光刻及刻蝕可以在晶圓表面形成帶有微圖形結(jié)構(gòu)的薄膜。在光刻工藝中，必然會涉及到光阻的使用，大部分的光阻是主要由溶劑、樹脂和感光劑等成分組成的溶液。由于溶劑易揮發(fā)，殘留的光阻溶液的其它成分往往會在光阻噴嘴內(nèi)產(chǎn)生少量結(jié)晶，這些結(jié)晶一旦掉落到晶圓表面就會產(chǎn)生缺陷，影響到后續(xù)的生產(chǎn)。

為了防止結(jié)晶對后續(xù)生產(chǎn)的影響，現(xiàn)有技術(shù)往往會在正常作業(yè)前通過噴出部分光阻溶液將結(jié)晶沖走。但是此方法比較浪費(fèi)光阻，同時(shí)如果由于光阻溶液特性造成的結(jié)晶較多的話，還是會殘留結(jié)晶并產(chǎn)生缺陷。針對光阻溶液的特性以及生產(chǎn)工藝的需要，如何能夠防止結(jié)晶的產(chǎn)生從而降低生產(chǎn)成本的問題是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種光阻管路及光阻涂布設(shè)備，解決光刻工藝中結(jié)晶的產(chǎn)生的問題。

為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種光阻管路，包括：存儲箱、光阻噴嘴和延長管，所述存儲箱存儲光阻溶液，所述光阻噴嘴的一端連接所述存儲箱，所述光阻噴嘴噴出光阻溶液，所述延長管具有相互連接的滯存部和排出部，所述滯存部遠(yuǎn)離所述排出部的一端連接所述光阻噴嘴，所述滯存部滯存光阻溶液。

優(yōu)選的，在所述光阻管路中，所述滯存部的形狀為U型、V型或W型中一種或其組合。

優(yōu)選的，在所述光阻管路中，所述光阻噴嘴橫截面的直徑為1mm～3mm。

優(yōu)選的，在所述光阻管路中，所述排出部的長度小于1cm。

優(yōu)選的，在所述光阻管路中，所述滯存部和所述排出部的材料為塑料。

優(yōu)選的，在所述光阻管路中，所述滯存部和所述排出部通過一體成形制成。

優(yōu)選的，在所述光阻管路中，所述光阻噴嘴遠(yuǎn)離所述存儲箱的一端設(shè)有導(dǎo)流件。

優(yōu)選的，在所述光阻管路中，所述導(dǎo)流件為半球面或錐面的開口。

本發(fā)明還提供一種光阻涂布設(shè)備，所述光阻涂布設(shè)備包括上述光阻管路和可移動的機(jī)械臂，所述存儲箱和所述光阻噴嘴設(shè)置在所述機(jī)械臂上。

優(yōu)選的，在所述光阻涂布設(shè)備中，所述光阻管路的數(shù)量為1～5個(gè)。

本發(fā)明提供的光阻管路及光阻涂布設(shè)備，通過延長管具有的滯存部滯存光阻溶液，為光阻溶液提供一個(gè)較為濕潤的環(huán)境，從而防止光阻溶液在光阻噴嘴產(chǎn)生結(jié)晶，降低了由于解決結(jié)晶問題而導(dǎo)致的光阻損耗，進(jìn)而降低了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。并且所述延長管還起到排出光阻溶液的作用，通過延長管將多余的或不需要的光阻溶液從排出部排放到特定區(qū)域，從而將光阻溶液收集起來。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例一的光阻管路的剖面示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例二的光阻管路的剖面示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例三的光阻管路的剖面示意圖；

其中，10－存儲箱，20－光阻噴嘴，30－延長管，311、312、313－滯存部，321－排出部。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，請參閱附圖。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。

實(shí)施例一

如圖1所示，本發(fā)明提供的一種光阻管路，包括：存儲箱10、光阻噴嘴20和延長管30，所述存儲箱10存儲光阻溶液，所述光阻噴嘴20的一端連接所述存儲箱10，所述光阻噴嘴20噴出光阻溶液，所述延長管30具有相互連接的滯存部311和排出部321，所述滯存部311遠(yuǎn)離所述排出部321的一端連接所述光阻噴嘴20，所述滯存部311滯存光阻溶液。

在本實(shí)施例中，所述滯存部311的形狀為U型，其中虛線指示出一個(gè)水平位置，所述延長管30在虛線表示的位置以下通過該U型的結(jié)構(gòu)滯存部分光阻溶液，U型的形狀使得滯存部形成一個(gè)較佳的滯存空間。在具體的應(yīng)用中，滯存部311都會滯存一部分光阻溶液在虛線下的管路內(nèi)，這些光阻溶液會為光阻噴嘴20提供一個(gè)較為濕潤的封閉環(huán)境，從而防止光阻噴嘴20殘留的少量光阻溶液產(chǎn)生結(jié)晶?，F(xiàn)有技術(shù)中，由于光阻噴嘴是暴露在大氣當(dāng)中，殘留的少量光阻溶液經(jīng)過一段時(shí)間后很容易產(chǎn)生結(jié)晶，特別是在光刻工藝中干燥的環(huán)境下。

優(yōu)選的，所述光阻噴嘴20橫截面的直徑為1mm～3mm，為了防止外界環(huán)境的影響以及保證光阻溶液劑量的需要，在實(shí)際生產(chǎn)過程中，上述直徑范圍為較佳的范圍。

優(yōu)選的，所述光阻噴嘴20的長度小于1cm，所述光阻噴嘴20的長度越小則滯存部滯存的光阻溶液產(chǎn)生的濕潤環(huán)境越好，為了保證光阻溶液噴出時(shí)方向的一致性，光阻噴嘴具有一定長度，上述長度范圍可以滿足生產(chǎn)的需要。

優(yōu)選的，所述滯存部311和所述排出部321的材料為塑料，塑料通常為合成的或天然的高分子化合物，可以任意形成各種形狀并能最后保持形狀不變的可塑性材料，塑料的化學(xué)性穩(wěn)定，不容易銹蝕并具有耐磨損性。優(yōu)選的，所述滯存部311和所述排出部321通過一體成形制成，一體成形制成的延長管各方面具有較佳的一致性。

優(yōu)選的，所述光阻噴嘴20遠(yuǎn)離所述存儲箱10的一端設(shè)有導(dǎo)流件，通過導(dǎo)流件起到導(dǎo)流的作用，防止噴出的光阻溶液四處飛濺。在本實(shí)施例中，所述導(dǎo)流件為半球面的開口，通過選擇合適尺寸的半球面開口來限制噴出光阻溶液的方向。

實(shí)施例二

如圖2所示，在本實(shí)施例中，所述滯存部312的形狀為V型，通過該V型的結(jié)構(gòu)滯存部分光阻溶液，V型的形狀使得滯存部形成一個(gè)較佳的滯存空間；所述導(dǎo)流件為錐面的開口，通過選擇合適尺寸的錐面開口來限制噴出光阻溶液的方向。

實(shí)施例三

如圖3所示，在本實(shí)施例中，所述滯存部313的形狀為W型，通過該W型的結(jié)構(gòu)滯存部分光阻溶液，W型的形狀使得滯存部形成一個(gè)較佳的滯存空間。

本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在實(shí)施例一至實(shí)施例三中描述滯存部的形狀及其組合的方式同樣適用本發(fā)明，并且其它可能的形狀同樣能起到滯存的作用，故都在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)，在此不復(fù)贅述。

本發(fā)明還提供一種光阻涂布設(shè)備，所述光阻涂布設(shè)備包括上述的光阻管路和可移動的機(jī)械臂，所述存儲箱和所述光阻噴嘴設(shè)置在所述機(jī)械臂上，通過機(jī)械臂將光阻噴嘴移動到指定位置。

優(yōu)選的，所述光阻管路的數(shù)量為1～5個(gè)，不同的光阻管路可以提供不同類型的光阻溶液，從而可以滿足不同產(chǎn)品的生產(chǎn)需要，對應(yīng)不同的光阻溶液可以提高光阻涂布設(shè)備的適應(yīng)性。

在現(xiàn)有技術(shù)中，使用哪一種光阻溶液取決于產(chǎn)品的制程，當(dāng)某一產(chǎn)品集中生產(chǎn)時(shí)，未被選用的光阻溶液就會長時(shí)間得不到使用，少量殘留的光阻溶液會在光阻噴嘴處形成結(jié)晶。而通過本發(fā)明通過改造光阻管路，使光阻管路中有光阻溶液存留，營造一個(gè)相對濕潤的環(huán)境，改善光阻噴嘴的結(jié)晶情況，沒有產(chǎn)生額外的費(fèi)用，也不占用宕機(jī)，更不會浪費(fèi)光阻，有效解決了實(shí)際生產(chǎn)問題。此外，在實(shí)施例一和實(shí)施二設(shè)有導(dǎo)流件，相對于沒有設(shè)置導(dǎo)流件的實(shí)施例三，在實(shí)際測試中，光阻溶液噴出的方向性更佳，不容易出現(xiàn)飛濺的情況。

在實(shí)際生產(chǎn)過程中，當(dāng)生產(chǎn)進(jìn)行時(shí)，機(jī)械臂將光阻噴嘴移動到指定位置噴出光阻溶液進(jìn)行生產(chǎn)；當(dāng)生產(chǎn)停止時(shí)，光阻噴嘴與延長管連接，通過通過延長管的滯存部滯存光阻溶液，為光阻溶液提供一個(gè)較為濕潤的封閉環(huán)境，從而防止光阻溶液在光阻噴嘴產(chǎn)生結(jié)晶。同時(shí)，所述延長管還起到排出光阻溶液的作用，通過延長管將多余的或不需要的光阻溶液從排出部排放到特定區(qū)域，從而將光阻溶液收集起來。由于滯存部滯存光阻溶液，因此排出部也不容易產(chǎn)生結(jié)晶，使延長管具有較長的使用壽命。

本發(fā)明提供的光阻管路及光阻涂布設(shè)備，通過具有滯存部的光阻噴嘴滯存光阻溶液，為光阻溶液提供一個(gè)較為濕潤的環(huán)境，從而防止光阻溶液產(chǎn)生結(jié)晶，降低了由于解決結(jié)晶問題而導(dǎo)致的光阻損耗，進(jìn)而降低了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。并且所述延長管還起到排出光阻溶液的作用，通過延長管將多余的或不需要的光阻溶液從排出部排放到特定區(qū)域，從而將光阻溶液收集起來。

上述描述僅是對本發(fā)明較佳實(shí)施例的描述，并非對本發(fā)明范圍的任何限定，本發(fā)明領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。