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晶圓片的清洗裝置的制作方法

文檔序號(hào):12274849閱讀:188來源:國(guó)知局
晶圓片的清洗裝置的制作方法

本發(fā)明屬于集成電路的生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域,特別涉及集成電路的晶圓片用清洗設(shè)備。



背景技術(shù):

現(xiàn)有的半導(dǎo)體晶圓片的清洗設(shè)備,將一批晶圓片集中置于清洗槽中,并利用升降裝置對(duì)晶圓片進(jìn)行升降,通過沖洗作用,將晶圓片的表面清洗干凈。這種清洗設(shè)備,雖然能實(shí)現(xiàn)批量清洗,但每次清洗的時(shí)間較長(zhǎng),需要浸泡處理,并且清洗完成后,還需要進(jìn)行對(duì)晶圓片表面的殘留水進(jìn)行沖洗,整個(gè)清洗時(shí)間較長(zhǎng);并且,為防止晶圓片之間相互碰撞,還需對(duì)清洗槽中通入氣體,保證清洗槽中不斷產(chǎn)生氣泡,對(duì)晶圓片進(jìn)行保護(hù)。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

針對(duì)上述晶圓片清洗設(shè)備存在的問題,申請(qǐng)人進(jìn)行研究及設(shè)計(jì),提供一種晶圓片的清洗裝置,采用帶狀清洗槽,實(shí)現(xiàn)移動(dòng)式清洗,縮短清洗時(shí)間,簡(jiǎn)化設(shè)備結(jié)構(gòu)。

為了解決上述問題,本發(fā)明采用如下方案:

一種晶圓片的清洗裝置,包括帶狀清洗槽、安裝于所述清洗槽兩側(cè)的多根清洗管及安裝于清洗槽底部的排水槽,所述清洗槽的兩側(cè)槽板上具有噴洗孔,所述噴洗孔貫穿槽板的兩側(cè)并朝晶圓片的輸送方向傾斜,所述噴洗孔與清洗管連通,所述清洗管連接清洗泵。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn):

所述清洗管間隔布置于槽板的側(cè)面,每根清洗管與獨(dú)立的清洗泵連接,清洗管的側(cè)面具有與所述噴洗孔連通的出水孔。

本發(fā)明的技術(shù)效果在于:

本發(fā)明采用帶狀清洗槽,對(duì)晶圓片進(jìn)行移動(dòng)時(shí)清洗,可縮短清洗時(shí)間,并無需二次沖洗,節(jié)省清洗操作,降低成本。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的俯視圖。

圖中:1、清洗槽;2、清洗管;3、排水槽;4、槽板;5、噴洗孔;6、晶圓片。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步說明。

如圖1、圖2所示,本實(shí)施例的晶圓片的清洗裝置,包括帶狀清洗槽1、安裝于清洗槽1兩側(cè)的多根清洗管2及安裝于清洗槽1底部的排水槽3,清洗槽1的兩側(cè)槽板4上具有噴洗孔5,噴洗孔5貫穿槽板4的兩側(cè)并朝晶圓片6的輸送方向傾斜,噴洗孔5與清洗管2連通,清洗管2連接清洗泵。

清洗管2間隔布置于槽板4的側(cè)面,每根清洗管2與獨(dú)立的清洗泵連接,清洗管2的側(cè)面具有與噴洗孔5連通的出水孔。當(dāng)所需噴洗壓力不大時(shí),可以將多個(gè)清洗管2共同連接一個(gè)清洗泵,以降低能耗。

將晶圓片6置于清洗槽1中后,開啟清洗泵,高壓水從噴洗孔5中噴出,由于噴洗孔5傾斜設(shè)置,對(duì)晶圓片6表面清洗的同時(shí)將其向前推送,從而對(duì)晶圓片6進(jìn)行移動(dòng)式清洗,晶圓片6走完整個(gè)清洗槽1后,完成清洗操作。為提高晶圓片6的輸送速度,整個(gè)清洗槽1可以傾斜設(shè)置。

以上所舉實(shí)施例為本發(fā)明的較佳實(shí)施方式,僅用來方便說明本發(fā)明,并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制,任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者,若在不脫離本發(fā)明所提技術(shù)特征的范圍內(nèi),利用本發(fā)明所揭示技術(shù)內(nèi)容所作出局部改動(dòng)或修飾的等效實(shí)施例,并且未脫離本發(fā)明的技術(shù)特征內(nèi)容,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)特征的范圍內(nèi)。

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