技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于新材料及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別涉及一種低溫制備鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜的溶液方法。包括如下步驟：稱取可溶性的鋅鹽、錫鹽，量取溶劑，配置濃度為0.01?0.5摩爾/升的鋅錫氧前驅(qū)體溶液，經(jīng)過0.1?3小時的磁力攪拌和超聲分散形成澄清透明的鋅錫氧前驅(qū)體溶液；制備鋅錫氧薄膜：將鋅錫氧前驅(qū)體溶液涂覆到清洗好的襯底上形成鋅錫氧前驅(qū)體薄膜，進行50?150?℃的預(yù)熱處理，然后經(jīng)過一定功率、時間和溫度的光波退火，根據(jù)鋅錫氧薄膜的厚度要求可多次涂覆前驅(qū)體鋅錫氧溶液并退火處理，即得到鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜。本發(fā)明所得鋅錫氧薄膜在晶體管、存儲器、太陽能電池等信息能源領(lǐng)域有重要應(yīng)用前景。通過本發(fā)明的工藝可以避免通常的高溫溶液工藝、工藝周期長或昂貴設(shè)備等，成本低，適合工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：夏國棟;姚書山;王素梅
受保護的技術(shù)使用者：齊魯工業(yè)大學(xué)
文檔號碼：201610821773
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.14
技術(shù)公布日：2017.01.11