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一種低溫制備鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜的溶液方法與流程

文檔序號:12612160閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種低溫制備鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜的溶液方法,其特征在于包括如下步驟:

(1) 制備鋅錫氧前驅(qū)體溶液:稱取可溶性的鋅鹽、錫鹽,量取溶劑,配置濃度為0.01-0.5摩爾/升的鋅錫氧前驅(qū)體溶液,經(jīng)過0.1-3小時的磁力攪拌和超聲分散形成澄清透明的鋅錫氧前驅(qū)體溶液;

(2) 制備鋅錫氧薄膜:將鋅錫氧前驅(qū)體溶液涂覆到清洗好的襯底上形成鋅錫氧前驅(qū)體薄膜,進(jìn)行50-150 ℃的預(yù)熱處理,然后經(jīng)過一定功率、時間和溫度的光波退火,根據(jù)鋅錫氧薄膜的厚度要求可多次涂覆前驅(qū)體鋅錫氧溶液并退火處理,即得到鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜;

所述的光波的生成儀器為用作廚具的光波爐或具有鹵素?zé)艄艿募訜醿x器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫制備鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜的溶液方法,其特征在于:所述的可溶性的鋅鹽為硝酸鋅、氯化鋅、硫酸鋅或乙酸鋅中的一種或兩種以上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫制備鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜的溶液方法,其特征在于:所述的可溶性的錫鹽為硝酸錫、四氯化錫、氯化亞錫、硫酸錫或乙酸錫中的一種或兩種以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫制備鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜的溶液方法,其特征在于:所述的溶劑為乙二醇甲醚、乙醇、水、乙二醇或二甲基甲酰胺中的一種或兩種以上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫制備鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜的溶液方法,其特征在于:所述涂覆方法為旋轉(zhuǎn)涂覆法、滴涂法、浸涂法、噴霧法或噴墨打印法。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫制備鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜的溶液方法,其特征在于:所述的光波退火的功率為100-900 W。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫制備鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜的溶液方法,其特征在于:所述的光波退火的時間為5-120分鐘。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫制備鋅錫氧透明半導(dǎo)體薄膜的溶液方法,其特征在于:所述的光波退火過程中的溫度為100-300 ℃。

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