技術總結
本發(fā)明公開了一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī)，屬于真空測量技術領域。該電離規(guī)主要包括碳納米管陰極電子源、門極柵、陽極柵和離子收集極；其中，陽極柵為圓筒狀結構，其頂端和筒身均為網(wǎng)狀結構，底端為封閉結構；離子收集極的材質為金屬，為一端開口的圓筒狀結構，其外徑大于陽極柵的外徑；陽極柵、離子收集極、門極柵和碳納米管陰極電子源同軸布置，且陽極柵套裝在離子收集極的內部，門極柵布置在陽極柵和碳納米管陰極電子源之間。該電離規(guī)可有效的增大氣相分子產(chǎn)生離子的收集效率，提高碳納米管陰極電離規(guī)的靈敏度，其測量下限達10?9Pa。

技術研發(fā)人員：王永軍;李得天;成永軍;習振華;張虎忠;郭美如;孫健;劉珈彤
受保護的技術使用者：蘭州空間技術物理研究所
文檔號碼：201610796166
技術研發(fā)日：2016.08.31
技術公布日：2016.12.07