技術(shù)編號：11955529
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種碳納米管陰極電離規(guī)，具體涉及一種測量下限達(dá)10-9Pa的碳納米管陰極電離規(guī)，屬于真空測量技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)電離真空計是一種通過測量荷能電子碰撞氣體分子產(chǎn)生的正離子流來間接獲得測量壓力的真空傳感器。目前，電離真空計是測量高真空的重要真空器件，而在超高極高真空測量領(lǐng)域，它是唯一實(shí)際可用的真空傳感器件。近年來，隨著我國高新尖端技術(shù)的迅猛發(fā)展，極高真空測量技術(shù)在空間探測、高能核物理、超清潔固體表面物理和納米材料技術(shù)等領(lǐng)域具有迫切的需要。例如，在深空探測活動中，要求在地面空間環(huán)境模擬設(shè)備中盡...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。