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一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī)的制作方法

文檔序號:11955529閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī),其特征在于:所述電離規(guī)主要包括碳納米管陰極電子源、門極柵(4)、陽極柵(6)和離子收集極(5);

其中,所述陽極柵(6)為圓筒狀結(jié)構(gòu),其頂端和筒身均為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),底端為封閉結(jié)構(gòu);

所述離子收集極(5)的材質(zhì)為金屬,為一端開口的圓筒狀結(jié)構(gòu),其外徑大于所述陽極柵(6)的外徑;

所述陽極柵(6)、離子收集極(5)、門極柵(4)和碳納米管陰極電子源同軸布置,且所述陽極柵(6)套裝在所述離子收集極(5)的內(nèi)部,所述門極柵(4)布置在所述陽極柵(6)和碳納米管陰極電子源之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī),其特征在于:所述碳納米管陰極電子源主要包括襯底,固接在所述襯底上的碳納米管陣列(2),以及圍繞在所述碳納米管陣列(2)周圍的絕緣云母片(3)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī),其特征在于:所述門極柵(4)的材質(zhì)為鎢,采用點焊的方式焊接在所述云母片的端部,且所述碳納米管陣列(2)的端部距所述門極柵(4)80±10μm,距所述陽極柵(6)的頂端1~2mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī),其特征在于:所述碳納米管陣列(2)采用熱化學(xué)氣相沉積法直接沉積在所述襯底上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī),其特征在于:所述電離規(guī)還包括電極基座(1);所述襯底通過點焊焊接在所述基座(1)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī),其特征在于:所述離子收集極(5)的內(nèi)徑為16mm,所述陽極柵(6)的內(nèi)徑為13mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī),其特征在于:所述陽極柵(6)頂端網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的物理透過率為80~90%;網(wǎng)絲的直徑為80~100mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī),其特征在于:所述離子收集極(5)的材質(zhì)為金屬;所述陽極柵(6)底端的材質(zhì)的不銹鋼。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度的碳納米管陰極電離規(guī),其特征在于:所述門極柵(4)為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),其材質(zhì)為鎢。

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