技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的實施方式提供成型性良好的模具。實施方式的模具包括：基板夾持面、型腔部、吸引部、通氣孔部、第1、第2中間型腔、以及開閉部。通氣孔部設(shè)置于型腔部與吸引部之間，成為型腔部內(nèi)的氣體的排出路徑，并以通氣孔部深度從基板夾持面后退。第1中間型腔設(shè)置于通氣孔部與吸引部之間，與通氣孔部連接，并具有第1寬度。第2中間型腔設(shè)置于第1中間型腔與吸引部之間，與第1中間型腔連接而以比通氣孔部深度深的第2中間型腔深度從基板夾持面后退，并具有第2寬度。第2寬度比第1寬度窄。開閉部設(shè)置于第2中間型腔與吸引部之間。

技術(shù)研發(fā)人員：前田竹識;松島良二
受保護的技術(shù)使用者：東芝存儲器株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.29
技術(shù)公布日：2017.09.19