技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種生成圖像輪廓的方法和裝置，其中的方法包括：基于設(shè)計(jì)目標(biāo)信息生成一個(gè)掩模圖，在所述掩模圖上基于光刻效果仿真生成一個(gè)基準(zhǔn)圖像，基于在所述基準(zhǔn)圖像中的邊緣探測(cè)生成一個(gè)基準(zhǔn)圖像輪廓圖，從存儲(chǔ)器中取出一個(gè)集成電路的掃描圖像，生成一個(gè)掃描圖像輪廓圖，該掃描圖像輪廓圖是所述基準(zhǔn)圖像輪廓圖和集成電路的掃描圖像的函數(shù)。

技術(shù)研發(fā)人員：馬衛(wèi)民;俞宗強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東方晶源微電子科技（北京）有限公司
文檔號(hào)碼：201610687770
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.18
技術(shù)公布日：2016.12.21