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半導體器件的制作方法

文檔序號:12129505閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種半導體器件,包括:

至少一個邏輯電路,形成在半導體襯底上方,包括用于接收數(shù)據(jù)信號的數(shù)據(jù)輸入節(jié)點和用于接收時鐘信號的時鐘輸入節(jié)點,并且包括鰭型場效應晶體管;以及

至少一個數(shù)據(jù)緩沖器,形成在所述半導體襯底上方,包括耦合至所述邏輯電路的數(shù)據(jù)輸入節(jié)點的數(shù)據(jù)輸出節(jié)點,并且包括鰭型場效應晶體管,

其中,從所述數(shù)據(jù)緩沖器的數(shù)據(jù)輸出節(jié)點到所述邏輯電路的數(shù)據(jù)輸入節(jié)點的數(shù)據(jù)信號的路徑包括與形成所述邏輯電路和所述數(shù)據(jù)緩沖器的所述鰭型場效應晶體管的柵極電極位于同一層中的柵極布線,并且

其中,如在所述半導體襯底的平面中看到的,從所述數(shù)據(jù)輸出節(jié)點到所述數(shù)據(jù)輸入節(jié)點的數(shù)據(jù)信號的路徑長度長于所述數(shù)據(jù)輸出節(jié)點和所述數(shù)據(jù)輸入節(jié)點之間的直線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體器件,還包括:電容元件,耦合至從所述數(shù)據(jù)輸出節(jié)點到所述數(shù)據(jù)輸入節(jié)點的數(shù)據(jù)信號的路徑,

其中,所述電容元件是通過使用所述鰭型場效應晶體管的柵極電容來形成的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體器件,

其中,從所述數(shù)據(jù)輸出節(jié)點到所述數(shù)據(jù)輸入節(jié)點的數(shù)據(jù)信號的路徑包括:

多個柵極布線;以及

局部布線,用于耦合彼此相鄰的所述柵極布線。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體器件,其中,所述邏輯電路包括D型觸發(fā)器或D型鎖存電路。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體器件,其中,所述數(shù)據(jù)緩沖器包括反相器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體器件,包括:

所述邏輯電路;以及

所述數(shù)據(jù)緩沖器,分別對應于所述邏輯電路,

其中,每個所述數(shù)據(jù)緩沖器接收各自對應的數(shù)據(jù)信號并將整形后的數(shù)據(jù)信號輸出至對應的邏輯電路,并且

其中,每個所述邏輯電路接收所述時鐘信號作為公共信號。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導體器件,包括存儲電路,

其中,所述邏輯電路和所述數(shù)據(jù)緩沖器被設置在所述存儲電路的輸入/輸出電路中,并且

其中,公共時鐘信號和各自對應于所述數(shù)據(jù)緩沖器的數(shù)據(jù)信號被輸入至所述輸入/輸出電路。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導體器件,還包括:

第一時鐘緩沖器,用于對所述時鐘信號進行整形;以及

第二時鐘緩沖器,用于對由所述第一時鐘緩沖器整形的所述時鐘信號進行進一步整形,

其中,由所述第一時鐘緩沖器整形的所述時鐘信號被輸入至所述邏輯電路的一部分,并且

其中,由所述第二時鐘緩沖器整形的所述時鐘信號被輸入至所述邏輯電路的剩余部分。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導體器件,其中,所述時鐘信號通過樹狀信號路徑輸入至所述邏輯電路。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導體器件,還包括用于對時鐘信號進行整形的時鐘緩沖器,

其中,在每個所述邏輯電路中,從所述時鐘輸出節(jié)點到所述時鐘緩沖器的時鐘輸入節(jié)點的時鐘信號的路徑長度越長,從所述數(shù)據(jù)輸出節(jié)點到對應數(shù)據(jù)緩沖器的數(shù)據(jù)輸入節(jié)點的數(shù)據(jù)信號的路徑長度變得越長。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導體器件,還包括:

時鐘緩沖器,用于對所述時鐘信號進行整形;以及

電容元件,每一個所述電容元件耦合至從每個所述數(shù)據(jù)緩沖器的數(shù)據(jù)輸出節(jié)點到對應邏輯電路的數(shù)據(jù)輸入節(jié)點的數(shù)據(jù)信號的路徑,

其中,使用鰭型場效應晶體管的柵極電容來形成所述電容元件,并且

其中,在每個所述邏輯電路中,從所述時鐘輸出節(jié)點到所述時鐘緩沖器的時鐘輸入節(jié)點的時鐘信號的路徑長度越長,耦合至從所述數(shù)據(jù)輸出節(jié)點到對應數(shù)據(jù)緩沖器的數(shù)據(jù)輸入節(jié)點的數(shù)據(jù)信號的路徑的所述電容元件的電容或數(shù)量變得越大。

12.一種半導體器件,包括:

邏輯電路,包括用于接收數(shù)據(jù)信號的數(shù)據(jù)輸入節(jié)點和用于接收時鐘信號的時鐘輸入節(jié)點,并且包括鰭型場效應晶體管;

數(shù)據(jù)緩沖器,包括耦合至所述邏輯電路的數(shù)據(jù)輸入節(jié)點的數(shù)據(jù)輸出節(jié)點,并且包括鰭型場效應晶體管;以及

延遲線,設置在所述數(shù)據(jù)緩沖器和所述邏輯電路之間,

其中,所述延遲線包括:

鰭式布線,與形成所述邏輯電路和所述數(shù)據(jù)緩沖器的鰭型場效應晶體管的鰭形成在同一層中并且在第一方向上延伸;和

第一柵極布線、第二柵極布線和第三柵極布線,在與所述第一方向相交的第二方向上延伸,與所述鰭型場效應晶體管的柵極電極形成在同一層中,并且依次布置在所述第一方向上,

其中,所述第二柵極布線通過柵極絕緣膜耦合至所述鰭式布線,其中,所述延遲線還包括:

第一局部布線,設置在所述第一柵極布線和所述第二柵極布線之間,耦合至所述鰭式布線,并且給出參考電位;和

第二局部布線,設置在所述第二柵極布線和所述第三柵極布線之間,耦合至所述鰭式布線,并且給出所述參考電位,以及

其中,所述邏輯電路的數(shù)據(jù)輸入節(jié)點和所述數(shù)據(jù)緩沖器的數(shù)據(jù)輸出節(jié)點通過所述第一至第三柵極布線耦合。

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