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含有空穴阻擋層的銻化鎵基量子阱激光器的外延生長方法與流程

文檔序號:12372197閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
一種含有空穴阻擋層的銻化鎵基2?4um量子阱激光器結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)為多層結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:一N?型GaSb襯底;一N型GaSb緩沖層,該緩沖層生長在襯底上;一N型AlGaAsSb覆蓋層,該覆蓋層生長在N型GaSb緩沖層上;一AlGaAsSb下波導(dǎo)層,該下波導(dǎo)層生長在N型AlGaAsSb覆蓋層上;一AlGaAsSb下勢壘層,該下勢壘層生長在AlGaAsSb下波導(dǎo)層上;一InPSb空穴阻擋層,該空穴阻擋層生長在AlGaAsSb下勢壘層上;一InGaAsSb量子阱層,該量子阱層生長在InPSb空穴阻擋層上;一AlGaAsSb上勢壘層,該上勢壘層生長在InGaAsSb量子阱層上;一AlGaAsSb上波導(dǎo)層,該上波導(dǎo)層生長在AlGaAsSb上勢壘層上;一P型AlGaAsSb覆蓋層,該覆蓋層生長在AlGaAsSb上波導(dǎo)層上;一P型GaSb歐姆接觸層,該接觸層生長在P型AlGaAsSb覆蓋層上。

技術(shù)研發(fā)人員:于春滿;朱海軍;張興
受保護(hù)的技術(shù)使用者:成都斯科泰科技有限公司
文檔號碼:201610660268
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.12
技術(shù)公布日:2017.01.04

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