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含有空穴阻擋層的銻化鎵基量子阱激光器的外延生長方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12372197

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本發(fā)明涉及一種激射波長在2-4μm的鋁鎵砷銻(AlGaAsSb)/銦鎵砷銻(InGaAsSb)/銦磷銻(InPSb)/銻化鎵(GaSb)量子阱激光器結(jié)構(gòu)及其外延生長方法,特別是含空穴阻擋層銦磷銻(InPSb)的量子阱結(jié)構(gòu)的外延生長方法。背景技術(shù)2-4μm波段包含非常重要的大氣窗口,包含了許多氣體分子的特征譜線,可以廣泛應(yīng)用于大氣污染監(jiān)測、氣體檢測等民用項(xiàng)目;這是因?yàn)榉菍ΨQ雙原子和多原子分子氣體(如CH4,CO,H2,SO2,NO和CO2)等都有吸收紅外輻射能量的性質(zhì),吸收紅外光的波長很大一部分在...
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