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含有空穴阻擋層的銻化鎵基量子阱激光器的外延生長方法與流程

文檔序號:12372197閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種含有空穴阻擋層銻化鎵基量子阱激光器的外延生長方法,其特征在于,包括如下步驟:

步驟1:先在N型GaSb襯底上以較高溫度生長N型GaSb緩沖層和N型AlGaAsSb覆蓋層;

步驟2:降溫后以較低溫度依次生長AlGaAsSb下波導(dǎo)層、AlGaAsSb下勢壘層、InPSb空穴阻擋層、InGaAsSb量子層、AlGaAsSb上勢壘層、AlGaAsSb上波導(dǎo)層;

步驟3:升溫后以較高溫度依次生長P型AlGaAsSb覆蓋層和P型GaSb歐姆接觸層;

步驟4:退火處理,完成外延生長。

2.按權(quán)利要求1所述的銻化鎵基量子阱激光器的外延生長方法,其特征在于,在較高溫度生長N型GaSb緩沖層和N型AlGaAsSb覆蓋層。

3.按權(quán)利要求1所述的銻化鎵基量子阱激光器的外延生長方法,其特征在于,量子阱區(qū)和覆蓋層生長溫度不同。

4.按權(quán)利要求1所述的銻化鎵基量子阱激光器的外延生長方法,其特征在于,量子阱區(qū)插入一層空穴阻擋層,其厚度為4-8nm。

5.按權(quán)利要求1所述的銻化鎵基量子阱激光器的外延生長方法,其特征在于,需退火處理。

6.按權(quán)利要求2所述的在較高溫度生長N型GaSb緩沖層和N型AlGaAsSb覆蓋層,其特征在于,溫度范圍為500℃到600℃,優(yōu)選的500℃到550℃。

7.按權(quán)利要求3所述的量子阱區(qū)和覆蓋層生長溫度不同,其特征在于,量子阱區(qū)的生長溫度為400℃到500℃。

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