技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種陣列基板及其制作方法、顯示面板、顯示裝置，用以改善TFT電學(xué)均一性，并有效降低TFT的漏電流。陣列基板的制作方法包括：在襯底基板上通過構(gòu)圖工藝依次制作柵極和柵極絕緣層；在所述柵極絕緣層上通過構(gòu)圖工藝制作源極和漏極；在所述源極和所述漏極上沉積一層半導(dǎo)體薄膜，對所述半導(dǎo)體薄膜進(jìn)行構(gòu)圖工藝，形成半導(dǎo)體有源層；在所述半導(dǎo)體有源層上通過構(gòu)圖工藝制作鈍化層以及貫穿所述鈍化層和所述半導(dǎo)體有源層的過孔，在所述鈍化層上通過構(gòu)圖工藝制作像素電極，所述像素電極通過所述過孔與所述漏極電連接。

技術(shù)研發(fā)人員：白金超;徐文清;王靜;丁向前;郭會斌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
文檔號碼：201610643394
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.08
技術(shù)公布日：2016.12.07