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紫外發(fā)光二極管芯片及其制造方法與流程

文檔序號:11870171閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種紫外半導體發(fā)光芯片,包括主要由襯底、n-AlGaN層、多量子阱層、p-AlGaN層、p-GaN層組成的外延層,p電極和n電極,其特征在于:

所述p-AlGaN層上的p-GaN層被部分刻蝕形成具有多個小島或者開孔的淺臺面;

p-GaN淺臺面上設(shè)有金屬點,在金屬點上設(shè)有石墨烯層,形成局部歐姆接觸,構(gòu)成p電極或p電極的一部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外半導體發(fā)光芯片,其特征在于:所述芯片為正裝結(jié)構(gòu)、垂直或倒裝結(jié)構(gòu),所述金屬點與石墨烯共同形成透明導電的p歐姆接觸電極,在其上還設(shè)有p焊盤。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外半導體發(fā)光芯片,其特征在于:所述芯片為垂直或者倒裝結(jié)構(gòu),所述金屬點和石墨烯層上設(shè)置有反射層,共同構(gòu)成高反射p歐姆接觸電極。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外半導體發(fā)光芯片,其特征在于:所述石墨烯層為單層石墨烯或2-50層的多層石墨烯。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外半導體發(fā)光芯片,其特征在于:所述金屬點直徑在1nm~109μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外半導體發(fā)光芯片,其特征在于:所述金屬點占空比在1%~50%。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外半導體發(fā)光芯片,其特征在于:所述金屬點為隨機分布,或者金屬層為點陣分布,或者按照金屬層為網(wǎng)格狀分布。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外半導體發(fā)光芯片,其特征在于:所述金屬為Ag,Ni,或者Ni/Ag,或者Ni/Au。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紫外半導體發(fā)光芯片,其特征在于:所述反射層為Al,Ti/Al或者Ni/Al。

10.一種紫外半導體發(fā)光芯片的制造方法,其特征在于,包括以下步驟:

在襯底上依次生長AlN或AlGaN緩沖層、n-AlGaN層、多量子阱層、p-AlGaN層、p-GaN層組成的外延層;

通過蒸發(fā)或濺射方法在p-GaN上沉積金屬層,并通過退火的方法在p-GaN層上表面形成金屬點,或者用光刻方法形成金屬點陣或網(wǎng)格,然后以該金屬層上作為掩膜刻蝕p-GaN,得到權(quán)利要求1中所述的p-GaN淺臺面,開孔深度恰好至p-AlGaN層或略深;

將石墨烯層轉(zhuǎn)移到芯片表面并和金屬點接觸。

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