技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種半導(dǎo)體芯片的封裝結(jié)構(gòu),其包括:金屬載體層、第一熱擴散層、導(dǎo)熱粘附層以及半導(dǎo)體芯片。第一熱擴散層位于金屬載體層上;導(dǎo)熱粘附層位于熱擴散層上;半導(dǎo)體芯片位于導(dǎo)熱粘附層上;第一熱擴散層至少包括石墨烯層。本發(fā)明的半導(dǎo)體芯片的封裝結(jié)構(gòu),由于第一熱擴散層含有石墨烯層,而石墨烯層的熱傳導(dǎo)具有異向性,增大了熱交換的面積,解決了由于芯片熱源導(dǎo)致的導(dǎo)熱粘附層散熱不均勻的問題,減小了芯片與金屬載體層間的熱阻,提高了芯片的熱導(dǎo)出效能。
技術(shù)研發(fā)人員:裴風(fēng)麗
受保護的技術(shù)使用者:蘇州能訊高能半導(dǎo)體有限公司
文檔號碼:201610301601
技術(shù)研發(fā)日:2016.05.09
技術(shù)公布日:2017.06.30