本發(fā)明關(guān)于熱壓裝置，尤其是有關(guān)于一種可同時(shí)對(duì)多個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行熱壓工作的熱壓裝置。

背景技術(shù)：

熱壓裝置的功能為對(duì)芯片等產(chǎn)品進(jìn)行熱壓工作，使得芯片中的薄膜晶體管(tft)以及導(dǎo)電膜可藉由黏膠而緊密結(jié)合且電性連接。傳統(tǒng)的熱壓裝置包括氣壓缸以及熱壓頭，氣壓缸連接于熱壓頭且氣壓缸以及熱壓頭位于熱壓裝置的上方處，氣壓缸可帶動(dòng)熱壓頭朝下向一芯片進(jìn)行熱壓。其中，熱壓工作可將薄膜晶體管與導(dǎo)電膜之間的黏膠壓平，而使黏膠均勻地分布于薄膜晶體管上。但，一次氣壓缸的活塞桿來(lái)回的動(dòng)作，僅能熱壓?jiǎn)蝹€(gè)芯片，實(shí)不符合時(shí)間效益。

鑒于此，目前有廠商發(fā)展出一個(gè)氣壓缸配合多個(gè)熱壓頭的熱壓裝置，其可于一次氣壓缸的活塞桿來(lái)回的動(dòng)作中，同時(shí)熱壓多個(gè)芯片，以大幅提升制造的速度。

然而，依上述設(shè)置會(huì)遭遇以下問(wèn)題：該些熱壓頭具有相同固定的水平高度且為互相連動(dòng)，但每個(gè)芯片于制造時(shí)的本身厚度難免存在有些為誤差而不完全相同。當(dāng)每一芯片放置于熱壓裝置內(nèi)但未熱壓之前，厚度不同的該些芯片各自與相對(duì)應(yīng)的熱壓頭之間有不同的距離。因此，于進(jìn)行熱壓工作時(shí)，較厚的芯片會(huì)先被具有相同的水平高度的熱壓頭抵接到，同時(shí)，較薄的芯片卻仍未被相對(duì)應(yīng)的熱壓頭抵接。也就是說(shuō)，若是要同一時(shí)間全部的芯片皆被熱壓頭所接抵以進(jìn)行熱壓，其中，較厚的芯片勢(shì)必會(huì)被相對(duì)應(yīng)的熱壓頭用力緊緊抵戳，而會(huì)造成損壞或熱壓不良的情形。

另外，于芯片完成熱壓工作之后，必須將芯片放置于固化裝置內(nèi)，且利用固化裝置對(duì)芯片進(jìn)行固化工作，以固化芯片內(nèi)的黏膠，而完成薄膜晶體管與導(dǎo)電膜之間的結(jié)合。然而，于芯片的制造過(guò)程必須先放置芯片于熱壓裝置上進(jìn)行熱壓工作，之后由熱壓裝置內(nèi)取出芯片，再放置芯片于固化裝置內(nèi)，以進(jìn)行固 化工作。其過(guò)程不但費(fèi)時(shí)也費(fèi)力，無(wú)形中提高了制造成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，提供一種提升制造速度的熱壓及固化裝置。

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，提供一種確保其上多個(gè)產(chǎn)品受壓相同以提高產(chǎn)品良率的熱壓及固化裝置。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是提供一種熱壓及固化裝置，用以對(duì)多個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行熱壓工作以及固化工作，包括座體、用以放置該多個(gè)產(chǎn)品的承載板、熱壓模塊以及固化模塊。該熱壓模塊設(shè)置于該座體上且位于該承載板的上方，用以對(duì)該多個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行熱壓工作。該熱壓模塊包括主驅(qū)動(dòng)組件以及多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件，該主驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置于該座體的上方，用以往該承載板移動(dòng)。該多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置于該主驅(qū)動(dòng)組件與該承載板之間，每一該副驅(qū)動(dòng)組件對(duì)應(yīng)于一該產(chǎn)品，用以應(yīng)每一該產(chǎn)品的高度而進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的熱壓工作。該固化模塊設(shè)置于該座體上且位于該承載板的下方，用以對(duì)該多個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行固化工作。

較佳地，該主驅(qū)動(dòng)組件包括滑孔板，該滑孔板具有多個(gè)滑孔通道，且每一該滑孔通道對(duì)應(yīng)于一該產(chǎn)品；而每一該副驅(qū)動(dòng)組件對(duì)應(yīng)于一該滑孔通道，使每一該副驅(qū)動(dòng)組件能于相對(duì)應(yīng)的該滑孔通道內(nèi)滑動(dòng)。

較佳地，當(dāng)該主驅(qū)動(dòng)組件朝向該承載板移動(dòng)時(shí)，該多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件被帶動(dòng)而往該承載板移動(dòng)，且與相對(duì)應(yīng)的該產(chǎn)品接觸而被該多個(gè)產(chǎn)品回推；其中，該多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件被回推的程度是根據(jù)該多個(gè)產(chǎn)品的厚度而決定；當(dāng)該主驅(qū)動(dòng)組件停止移動(dòng)之后，每一該副驅(qū)動(dòng)組件對(duì)相對(duì)應(yīng)的該產(chǎn)品施加一相同的壓力。

較佳地，該主驅(qū)動(dòng)組件還包括活動(dòng)架以及主驅(qū)動(dòng)單元，該活動(dòng)架設(shè)置于該承載板的上方，用以相對(duì)于該承載板移動(dòng)；其中，該滑孔板設(shè)置于該活動(dòng)架上；該主驅(qū)動(dòng)單元連接于該活動(dòng)架，用以驅(qū)動(dòng)該活動(dòng)架以及該滑孔板沿一軸向而往該承載板移動(dòng)。

較佳地，該熱壓及固化裝置還包括支撐架以及至少一軌道，該支撐架設(shè)置于該座體上，用以承載該主驅(qū)動(dòng)組件；該至少一軌道設(shè)置于該支撐架上且與該活動(dòng)架結(jié)合，用以使該活動(dòng)架以及該滑孔板沿該軸向移動(dòng)。

較佳地，該滑孔板的該多個(gè)滑孔通道的設(shè)置方向平行于該至少一軌道的一 移動(dòng)方向。

較佳地，該主驅(qū)動(dòng)單元包括動(dòng)力元件以及活塞桿，該動(dòng)力元件固定于該支撐架上，用以提供一動(dòng)力；該活塞桿連接于該動(dòng)力元件以及該活動(dòng)架，用以應(yīng)該動(dòng)力而帶動(dòng)該活動(dòng)架移動(dòng)。

較佳地，每一該副驅(qū)動(dòng)組件包括副驅(qū)動(dòng)單元、滑動(dòng)件以及熱壓頭，該副驅(qū)動(dòng)單元固定于該主驅(qū)動(dòng)組件的一活動(dòng)架上；該滑動(dòng)件連接于該副驅(qū)動(dòng)單元，且穿過(guò)該滑孔板的相對(duì)應(yīng)的該滑孔通道，用以于相對(duì)應(yīng)的該滑孔通道內(nèi)滑動(dòng)；該熱壓頭連接于該滑動(dòng)件，用以與相對(duì)應(yīng)的該產(chǎn)品接觸而對(duì)該產(chǎn)品施加壓力。

較佳地，該固化模塊包括多個(gè)紫外光發(fā)光元件以及電路板，該多個(gè)紫外光發(fā)光元件用以產(chǎn)生多束紫外光且將其投射至該承載板，以使該多個(gè)產(chǎn)品內(nèi)的黏著元件固化；該電路板電性連接于該多個(gè)紫外光發(fā)光元件，用以承載該多個(gè)紫外光發(fā)光元件且提供電力予該多個(gè)紫外光發(fā)光元件；其中，該多個(gè)紫外光發(fā)光元件是以水平排列方式設(shè)置于該電路板上。

較佳地，該承載板是以透明的石英玻璃或壓克力材料所制成，使該多束紫外光得以穿透該承載板。

簡(jiǎn)言之，本發(fā)明熱壓及固化裝置可應(yīng)不同厚度的產(chǎn)品進(jìn)行多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件的高低調(diào)整，使得每一副驅(qū)動(dòng)組件皆可先輕抵于相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品，再各自獨(dú)立對(duì)相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品施加相同的壓力。藉此可使每一產(chǎn)品皆能夠接收到相同且合適的壓力，避免造成損壞或熱壓不良，以提高產(chǎn)品良率。此外，本發(fā)明熱壓及固化裝置更可于進(jìn)行熱壓工作的同一工作平臺(tái)進(jìn)行固化工作，因此，可不需如現(xiàn)有技術(shù)般更換不同的工作平臺(tái)，以節(jié)省時(shí)間，而可提升制造效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明熱壓及固化裝置于一較佳實(shí)施例中的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明熱壓及固化裝置于一較佳實(shí)施例中的局部立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明熱壓及固化裝置于一較佳實(shí)施例中的局部結(jié)構(gòu)正視示意圖。

圖4是本發(fā)明熱壓及固化裝置的主驅(qū)動(dòng)組件于一較佳實(shí)施例中進(jìn)行第一階段下壓工作的局部結(jié)構(gòu)正視示意圖。

圖5是本發(fā)明熱壓及固化裝置的主驅(qū)動(dòng)組件于一較佳實(shí)施例中進(jìn)行第二階段下壓工作的局部結(jié)構(gòu)正視示意圖。

圖6是本發(fā)明熱壓及固化裝置的固化模塊以及產(chǎn)品于一較佳實(shí)施例中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明提供一種可于同一工作平臺(tái)上進(jìn)行熱壓工作以及固化工作的熱壓及固化裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題。請(qǐng)參閱圖1，其為本發(fā)明熱壓及固化裝置于一較佳實(shí)施例中的立體結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明熱壓及固化裝置1被設(shè)計(jì)為可對(duì)多個(gè)產(chǎn)品9、9’進(jìn)行熱壓工作以及固化工作，熱壓及固化裝置1包括座體11、承載板12、熱壓模塊13、固化模塊14、支撐架15以及多個(gè)軌道16。底座11具有一工作平臺(tái)110，承載板12設(shè)置于座體11的工作平臺(tái)110的上方，其功能為放置多個(gè)產(chǎn)品9、9’。熱壓模塊13設(shè)置于工作平臺(tái)110上且位于承載板12的上方，其可多個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行熱壓工作，而熱壓模塊13包括主驅(qū)動(dòng)組件131以及多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件132。固化模塊14設(shè)置于工作平臺(tái)110上且位于承載板12的下方，其可對(duì)多個(gè)產(chǎn)品9、9’進(jìn)行固化工作。于本較佳實(shí)施例中，產(chǎn)品9、9’為芯片。

請(qǐng)同時(shí)參閱圖1以及圖2，圖2為本發(fā)明熱壓及固化裝置于一較佳實(shí)施例中的局部立體結(jié)構(gòu)示意圖。主驅(qū)動(dòng)組件131設(shè)置于座體11的上方，其可沿著一軸向l而往承載板12的方向(亦即圖1中的下方)移動(dòng)，或沿著軸向l往遠(yuǎn)離承載板12的方向(亦即圖1中的上方)移動(dòng)。主驅(qū)動(dòng)組件131包括滑孔板133、活動(dòng)架134以及主驅(qū)動(dòng)單元135?；装?33設(shè)置于活動(dòng)架134上，且滑孔板133具有多個(gè)滑孔通道1331，每一滑孔通道1331對(duì)應(yīng)于一個(gè)產(chǎn)品9或9’以及一個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件132，使得每一副驅(qū)動(dòng)組件132得以于相對(duì)應(yīng)的滑孔通道1331內(nèi)滑動(dòng)?；顒?dòng)架134設(shè)置于承載板12的上方，其可相對(duì)于承載板12移動(dòng)。主驅(qū)動(dòng)單元135連接于活動(dòng)架134，其功能為驅(qū)動(dòng)活動(dòng)架134以及滑孔板133沿軸向l移動(dòng)而接近或遠(yuǎn)離承載板12。

其中，主驅(qū)動(dòng)單元135由動(dòng)力元件1351以及活塞桿1352共同組成。動(dòng)力元件1351被固定于支撐架12上，且動(dòng)力元件1351連接于活塞桿1352的一端，使得動(dòng)力元件1351得以帶動(dòng)活塞桿1352運(yùn)作。而活塞桿1352的另一端則連接于活動(dòng)架134。于本較佳實(shí)施例中，動(dòng)力元件1351為氣壓缸或伺服電機(jī)。簡(jiǎn)言之，當(dāng)熱壓工作進(jìn)行時(shí)，動(dòng)力元件1351帶動(dòng)活塞桿1352向下移動(dòng)，且活動(dòng)架134、滑孔板133以及副驅(qū)動(dòng)組件132會(huì)隨著活塞桿1352下降而共同連動(dòng)往下 移動(dòng)。當(dāng)熱壓工作完成之后，活動(dòng)架134、滑孔板133以及副驅(qū)動(dòng)組件132亦隨著活塞桿1352上升而共同連動(dòng)往上移動(dòng)。

圖1以及圖2中，支撐架15設(shè)置于座體11上且其外形類似ㄇ字形，其功能為承載主驅(qū)動(dòng)組件131。多個(gè)軌道16設(shè)置于支撐架15上且與活動(dòng)架134結(jié)合，其可使活動(dòng)架134以及滑孔板133沿軸向l移動(dòng)。其中，滑孔板133的多個(gè)滑孔通道1331的設(shè)置方向是平行于多個(gè)軌道的移動(dòng)方向(亦即軸向l)。多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件132設(shè)置于主驅(qū)動(dòng)組件131與承載板12之間，每一副驅(qū)動(dòng)組件132對(duì)應(yīng)于一個(gè)產(chǎn)品9或9’，其功能為可因應(yīng)每一產(chǎn)品9、9’的厚度而進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的熱壓工作。固化模塊14設(shè)置于座體11上且位于承載板12的下方，其用以對(duì)多個(gè)產(chǎn)品9、9’進(jìn)行固化工作。

需特別說(shuō)明的是，由于本發(fā)明熱壓及固化裝置欲同時(shí)對(duì)多個(gè)產(chǎn)品9、9’執(zhí)行熱壓工作，故穿設(shè)于滑孔板133上的多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件132是以矩陣排列設(shè)置，當(dāng)然，放置于承載板12上的多個(gè)產(chǎn)品9、9’亦矩陣排列設(shè)置。藉此，于多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件132往下移動(dòng)時(shí)，可同時(shí)與相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品9、9’接觸，以同時(shí)執(zhí)行多個(gè)產(chǎn)品的熱壓工作。

接下來(lái)說(shuō)明副驅(qū)動(dòng)組件132的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。請(qǐng)同時(shí)參閱圖2以及圖3，圖3為本發(fā)明熱壓及固化裝置于一較佳實(shí)施例中的局部結(jié)構(gòu)正視示意圖。首先，為了清楚顯示副驅(qū)動(dòng)組件132的結(jié)構(gòu)，故圖3省略熱壓及固化裝置1的部分結(jié)構(gòu)。每一副驅(qū)動(dòng)組件132包括副驅(qū)動(dòng)單元136、滑動(dòng)件137以及熱壓頭138，而副驅(qū)動(dòng)單元136固定于活動(dòng)架134上，其可提供動(dòng)力予滑動(dòng)件137以及熱壓頭138?；瑒?dòng)件137連接于副驅(qū)動(dòng)單元136，且穿過(guò)滑孔板133中相對(duì)應(yīng)的滑孔通道1331，藉此滑動(dòng)件137可于相對(duì)應(yīng)的滑孔通道1331內(nèi)滑動(dòng)。熱壓頭138連接于滑動(dòng)件137，其功能為與相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品9、9’接觸而對(duì)產(chǎn)品9、9’施加壓力。于本較佳實(shí)施例中，副驅(qū)動(dòng)單元136亦可采用氣壓缸或伺服電機(jī)。

接下來(lái)說(shuō)明熱壓模塊13進(jìn)行熱壓工作的運(yùn)作情形。請(qǐng)同時(shí)參閱圖3～圖5，其中，圖4為本發(fā)明熱壓及固化裝置的主驅(qū)動(dòng)組件于一較佳實(shí)施例中進(jìn)行第一階段下壓工作的局部結(jié)構(gòu)正視示意圖，而圖5為本發(fā)明熱壓及固化裝置的主驅(qū)動(dòng)組件于一較佳實(shí)施例中進(jìn)行第二階段下壓工作的局部結(jié)構(gòu)正視示意圖。圖3為主驅(qū)動(dòng)組件131未進(jìn)行下壓工作的結(jié)構(gòu)示意圖，其顯示出多個(gè)產(chǎn)品9、9’，且多個(gè)產(chǎn)品9、9’因本身制程的關(guān)系，而造成每個(gè)產(chǎn)品9、9’的厚度不相同。其中， 圖3左側(cè)的兩個(gè)產(chǎn)品9放置于承載板12時(shí)具有較大的厚度，使得左側(cè)的兩個(gè)產(chǎn)品9與相對(duì)應(yīng)的副驅(qū)動(dòng)組件132之間具有較短的第一距離d1。而圖3右側(cè)兩個(gè)產(chǎn)品9’放置于承載板12時(shí)具有較小的厚度，使得右側(cè)的兩個(gè)產(chǎn)品9’與相對(duì)應(yīng)的副驅(qū)動(dòng)組件132之間具有較長(zhǎng)的第二距離d2。需特別說(shuō)明的是，于此所述的產(chǎn)品9、9’的厚度以及產(chǎn)品9、9’與相對(duì)應(yīng)的熱壓頭138之間的距離僅以方便說(shuō)明的正面示意圖所見(jiàn)的四個(gè)產(chǎn)品9、9’作為列舉，實(shí)際實(shí)施情形及四個(gè)產(chǎn)品9、9’之外的產(chǎn)品必然會(huì)有各種變化，于此不做一限制。

當(dāng)主驅(qū)動(dòng)組件131進(jìn)行第一階段下壓工作時(shí)，動(dòng)力元件1351帶動(dòng)活塞桿1352往下移動(dòng)，且活動(dòng)架134、滑孔板133以及副驅(qū)動(dòng)組件132會(huì)隨著活塞桿1352下降而共同連動(dòng)往下移動(dòng)。由于圖4左側(cè)兩個(gè)產(chǎn)品9與相對(duì)應(yīng)的熱壓頭138之間具有較短的第一距離d1，因此于進(jìn)行第一階段下壓工作中，圖4左側(cè)兩個(gè)產(chǎn)品9與圖4右側(cè)兩個(gè)產(chǎn)品9’相比之下，圖4左側(cè)兩個(gè)產(chǎn)品9會(huì)先被相對(duì)應(yīng)的熱壓頭138抵接。而圖4右側(cè)兩個(gè)產(chǎn)品9’與相對(duì)應(yīng)的熱壓頭138之間有較長(zhǎng)的第二距離d2，因此于圖4左側(cè)兩個(gè)產(chǎn)品9被相對(duì)應(yīng)的熱壓頭138抵接的同時(shí)，圖4右側(cè)兩個(gè)產(chǎn)品9’與相對(duì)應(yīng)的熱壓頭138仍未接觸。

為了使全部的產(chǎn)品9、9’皆被熱壓，即全部的產(chǎn)品9、9’皆與副驅(qū)動(dòng)組件132抵接，因此需要進(jìn)行第二階段下壓工作。主驅(qū)動(dòng)組件131繼續(xù)帶動(dòng)多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件132進(jìn)行第二階段下壓工作。第二階段下壓工作中，主驅(qū)動(dòng)組件131更進(jìn)一步接近于承載板12以及其上的產(chǎn)品9、9’，同時(shí)多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件132更朝向承載板12移動(dòng)。由于每一副驅(qū)動(dòng)組件132的滑動(dòng)件137是可沿軸向l自由活動(dòng)地于滑孔板133的每一滑孔通道1331內(nèi)滑動(dòng)，因此在主驅(qū)動(dòng)組件131的第二階段下壓工作中，由于圖5左側(cè)兩個(gè)產(chǎn)品9及熱壓頭138已相互抵接，圖5左側(cè)兩個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件132會(huì)因應(yīng)具有較高的厚度的產(chǎn)品9的存在而被向上回推，其中，副驅(qū)動(dòng)組件132被回推的程度是根據(jù)相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品9的厚度而決定。藉此，圖5左側(cè)兩個(gè)已相互抵接的產(chǎn)品9以及副驅(qū)動(dòng)組件132，不會(huì)阻擋主驅(qū)動(dòng)組件131的下降，于此同時(shí)，圖5右側(cè)兩個(gè)產(chǎn)品9’亦已被相對(duì)應(yīng)的副驅(qū)動(dòng)組件132抵接。也就是說(shuō)，全部副驅(qū)動(dòng)組件132的熱壓頭138抵接到全部的產(chǎn)品9、9’，其中，全部的副驅(qū)動(dòng)組件132與相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品9、9’皆僅輕輕抵接，即便是較厚的產(chǎn)品9亦不會(huì)被相對(duì)應(yīng)的副驅(qū)動(dòng)組件132施加較大的壓力。

于第二階段下壓工作完成后，副驅(qū)動(dòng)單元136驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)件37以及熱壓頭138 朝向抵接的產(chǎn)品9、9’施加相同的壓力，以確保于每次熱壓工作中，每一產(chǎn)品9、9’皆能夠接受到相同且合適的壓力，以提高產(chǎn)品9、9’的良率。

于熱壓工作完成之后，固化模塊14準(zhǔn)備開(kāi)始進(jìn)行固化工作。請(qǐng)同時(shí)參閱圖2以及圖6，圖6是本發(fā)明熱壓及固化裝置的固化模塊以及產(chǎn)品于一較佳實(shí)施例中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。圖6顯示出產(chǎn)品9被放置于承載板12上，產(chǎn)品9包括薄膜晶體管91、導(dǎo)電膜92以及黏著元件93，且黏著元件93位于薄膜晶體管91與導(dǎo)電膜92之間。其中，黏著元件93經(jīng)過(guò)上述熱壓工作而被熱壓頭138壓抵，以均勻分布于薄膜晶體管91與導(dǎo)電膜92之間。

另一方面，固化模塊14設(shè)置于座體11上且位于承載板12的下方，其包括多個(gè)紫外光發(fā)光元件141以及電路板142。多個(gè)紫外光發(fā)光元件141以水平排列方式設(shè)置于電路板142上，其功能為產(chǎn)生多束紫外光b且投射至承載板12，以使多個(gè)產(chǎn)品9內(nèi)的黏著元件93固化。電路板142設(shè)置于座體11上且電性連接于多個(gè)紫外光發(fā)光元件141，其可承載多個(gè)紫外光發(fā)光元件141且提供電力予多個(gè)紫外光發(fā)光元件141。于本較佳實(shí)施例中，黏著元件93為黏膠，紫外光發(fā)光元件141可采用紫外光發(fā)光二極管(led)。需特別說(shuō)明的是，承載板12是以透明的石英玻璃或壓克力材料所制成，使多束紫外光b得以穿透承載板12而照射產(chǎn)品9。經(jīng)由上述固化工作，可使黏著元件93固化而緊密結(jié)合薄膜晶體管91以及導(dǎo)電膜92。

根據(jù)上述可知，本發(fā)明熱壓及固化裝置可因應(yīng)不同厚度的產(chǎn)品進(jìn)行多個(gè)副驅(qū)動(dòng)組件的高低調(diào)整，使得每一副驅(qū)動(dòng)組件皆可先輕抵于相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品，再各自獨(dú)立對(duì)相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品施加相同的壓力。藉此可使每一產(chǎn)品皆能夠接收到相同且合適的壓力。此外，本發(fā)明熱壓及固化裝置更可于進(jìn)行熱壓工作的同一工作平臺(tái)進(jìn)行固化工作，因此，可不需如現(xiàn)有技術(shù)般更換不同的工作平臺(tái)，以節(jié)省時(shí)間，而可提升制造效率。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非用以限定本發(fā)明的權(quán)利要求范圍，因此凡其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應(yīng)包含于本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。