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具有邊緣保護(hù)的晶片級(jí)芯片尺寸封裝體(WLCSP)的制作方法

文檔序號(hào):12680468閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種晶片級(jí)芯片尺寸封裝體(WLCSP),包括:

半導(dǎo)體襯底;

后段制程(BEOL)層,所述后段制程層在所述半導(dǎo)體襯底上并且具有從所述半導(dǎo)體襯底的相鄰?fù)鈬吘壪騼?nèi)凹陷的外圍邊緣;

第一電介質(zhì)層,所述第一電介質(zhì)層在所述BEOL層之上并且包繞所述BEOL層的所述外圍邊緣;

重分布層,所述重分布層在所述第一電介質(zhì)層之上;以及

第二電介質(zhì)層,所述第二電介質(zhì)層在所述重分布層之上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的WLCSP,其中,所述BEOL層的所述外圍邊緣處于壓縮性應(yīng)力下。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的WLCSP,其中,所述第一電介質(zhì)層具有從所述半導(dǎo)體襯底的所述相鄰?fù)鈬吘壪騼?nèi)凹陷的外圍邊緣。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的WLCSP,其中,所述第二電介質(zhì)層具有從所述第一電介質(zhì)層的相鄰?fù)鈬吘壪騼?nèi)凹陷的外圍邊緣。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的WLCSP,其中,所述BEOL層包括最上部鈍化層,所述最上部鈍化層在其中具有多個(gè)鍵合焊盤(pán)開(kāi)口、以及多個(gè)鍵合焊盤(pán),其中,每個(gè)鍵合焊盤(pán)通過(guò)所述多個(gè)鍵合焊盤(pán)開(kāi)口中的對(duì)應(yīng)鍵合焊盤(pán)開(kāi)口被暴露。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的WLCSP,進(jìn)一步其中,所述第二電介質(zhì)層在其中具有多個(gè)焊球開(kāi)口;并且進(jìn)一步包括多個(gè)焊球,其中,每個(gè)焊球延伸穿過(guò)所述多個(gè)焊球開(kāi)口中的對(duì)應(yīng)焊球開(kāi)口。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的WLCSP,進(jìn)一步其中,所述重分布層包括多條導(dǎo)電跡線,其中,每條導(dǎo)電跡線在給定鍵合焊盤(pán)與相應(yīng)焊球之間延伸。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的WLCSP,進(jìn)一步其中,所述半導(dǎo)體襯底包括硅。

9.一種晶片級(jí)芯片尺寸封裝體(WLCSP),包括:

半導(dǎo)體襯底;

后段制程(BEOL)層,所述后段制程層在所述半導(dǎo)體襯底上并且具有從所述半導(dǎo)體襯底的相鄰?fù)鈬吘壪騼?nèi)凹陷的外圍邊緣;

第一電介質(zhì)層,所述第一電介質(zhì)層在所述BEOL層之上并且包繞所述BEOL層的所述外圍邊緣以將所述BEOL層的所述外圍邊緣限制于壓縮性應(yīng)力下并且具有從所述半導(dǎo)體襯底的相鄰?fù)鈬吘壪騼?nèi)凹陷的外圍邊緣;

重分布層,所述重分布層在所述第一電介質(zhì)層之上;以及

第二電介質(zhì)層,所述第二電介質(zhì)層在所述重分布層之上并且具有從所述第一電介質(zhì)層的所述相鄰?fù)鈬吘壪騼?nèi)凹陷的外圍邊緣。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的WLCSP,其中,所述BEOL層包括最上部鈍化層,所述最上部鈍化層在其中具有多個(gè)鍵合焊盤(pán)開(kāi)口、以及多個(gè)鍵合焊盤(pán),其中,每個(gè)鍵合焊盤(pán)通過(guò)所述多個(gè)鍵合焊盤(pán)開(kāi)口中的對(duì)應(yīng)鍵合焊盤(pán)開(kāi)口被暴露。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的WLCSP,進(jìn)一步其中,所述第二電介質(zhì)層在其中具有多個(gè)焊球開(kāi)口;并且進(jìn)一步包括多個(gè)焊球,其中,每個(gè)焊球延伸穿過(guò)所述多個(gè)焊球開(kāi)口中的對(duì)應(yīng)焊球開(kāi)口。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的WLCSP,進(jìn)一步其中,所述重分布層 包括多條導(dǎo)電跡線,其中,每條導(dǎo)電跡線在給定鍵合焊盤(pán)與相應(yīng)焊球之間延伸。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的WLCSP,進(jìn)一步其中,所述半導(dǎo)體襯底包括硅。

14.一種用于制作晶片級(jí)芯片尺寸封裝體(WLCSP)的方法,所述方法包括:

形成后段制程(BEOL)層,所述后段制程層在半導(dǎo)體襯底上并且具有從所述半導(dǎo)體襯底的相鄰?fù)鈬吘壪騼?nèi)凹陷的外圍邊緣;

形成第一電介質(zhì)層,所述第一電介質(zhì)層在所述BEOL層之上并且包繞所述BEOL層的所述外圍邊緣;

形成重分布層,所述重分布層在所述第一電介質(zhì)層之上;并且

形成第二電介質(zhì)層,所述第二電介質(zhì)層在所述重分布層之上。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,其中,所述BEOL層的所述外圍邊緣處于壓縮性應(yīng)力下。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,其中,所述第一電介質(zhì)層具有從所述半導(dǎo)體襯底的所述相鄰?fù)鈬吘壪騼?nèi)凹陷的外圍邊緣。

17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,其中,所述第二電介質(zhì)層具有從所述第一電介質(zhì)層的相鄰?fù)鈬吘壪騼?nèi)凹陷的外圍邊緣。

18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,其中,所述BEOL層包括最上部鈍化層,所述最上部鈍化層在其中具有多個(gè)鍵合焊盤(pán)開(kāi)口、以及多個(gè)鍵合焊盤(pán),其中,每個(gè)鍵合焊盤(pán)通過(guò)所述多個(gè)鍵合焊盤(pán)開(kāi)口中的對(duì)應(yīng)鍵合焊盤(pán)開(kāi)口被暴露。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法,其中,所述第二電介質(zhì)層在其中具有多個(gè)焊球開(kāi)口;并且進(jìn)一步包括多個(gè)焊球,其中,每個(gè)焊球延伸穿過(guò)所述多個(gè)焊球開(kāi)口中的對(duì)應(yīng)焊球開(kāi)口。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法,其中,所述重分布層包括多條導(dǎo)電跡線,其中,每條導(dǎo)電跡線在給定鍵合焊盤(pán)與相應(yīng)焊球之間延伸。

21.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,其中,所述半導(dǎo)體襯底包括硅。

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