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用于制造電互連結(jié)構(gòu)的方法與流程

文檔序號:11290172閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開用于制造電連接結(jié)構(gòu)的方法,所述電連接結(jié)構(gòu)包含母連接結(jié)構(gòu)和公連接結(jié)構(gòu),母連接結(jié)構(gòu)具有位于母連接組件的插入孔中的內(nèi)導(dǎo)體,且公連接結(jié)構(gòu)具有從公連接組件突出形成的導(dǎo)電柱體,導(dǎo)電柱體被插入固定于插入孔中以接觸內(nèi)導(dǎo)體。所述方法包括:準(zhǔn)備待用于母連接組件及公連接組件的絕緣組件;以及通過光刻工藝在各絕緣組件上進(jìn)行導(dǎo)體的圖案化以形成內(nèi)導(dǎo)體及柱體。

技術(shù)研發(fā)人員:徐英郁;文永周;尹琮光;金榮洙
受保護(hù)的技術(shù)使用者:UNID有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2015.03.20
技術(shù)公布日:2017.09.26
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