技術(shù)總結(jié)
一種基板液體處理方法，進行以下工序：液體處理工序，利用處理液對基板進行液體處理；沖洗處理工序，利用沖洗液對進行液體處理后的所述基板進行沖洗處理；以及疏水處理工序，利用疏水化液對進行沖洗處理后的所述基板進行疏水處理，接著，進行以下工序：置換處理工序，利用置換促進液對進行疏水處理后的所述基板進行置換處理；以及清洗處理工序，利用清洗液對進行疏水處理后的所述基板進行清洗處理，之后，進行干燥處理工序，利用揮發(fā)性比所述清洗液的揮發(fā)性高的干燥液來置換所述清洗液，并且將所述干燥液從所述基板去除。能夠防止進行干燥處理時圖案損壞，并且能夠減少因水印產(chǎn)生的微粒。

技術(shù)研發(fā)人員：中森光則;南輝臣;大石幸太郎;野中純
受保護的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會社
文檔號碼：201580054445
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.20
技術(shù)公布日：2017.05.31