技術(shù)總結(jié)
提供一種基板搬送方法，使用具有第一拾取器和第二拾取器的搬送機(jī)構(gòu)在熱處理室與不同于該熱處理室的其他室之間依次搬送基板，所述基板搬送方法包括：第一步驟，將未處理的基板保持在所述第一拾取器上，搬送至所述熱處理室；第二步驟，將在所述熱處理室中熱處理過的處理后基板保持在所述第二拾取器上并將所述第一拾取器所保持的未處理的基板搬入所述熱處理室；第三步驟，將保持在所述第二拾取器上的處理后基板搬送至所述其他室；和第四步驟，將所述其他室內(nèi)的未處理的基板保持在所述第一拾取器中，在將所述第二拾取器所保持的處理后基板搬入到所述其他室之后，使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成為未保持基板的狀態(tài)。

技術(shù)研發(fā)人員：近藤圭祐
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
文檔號碼：201580050468
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.07
技術(shù)公布日：2017.05.24