1.一種基板搬送方法，其使用具有第一拾取器和第二拾取器的搬送機(jī)構(gòu)在熱處理室和不同于該熱處理室的其他的室之間依次搬送基板，所述基板搬送方法的特征在于，包括：
第一步驟，將未處理的基板保持在所述第一拾取器上，搬送至所述熱處理室；
第二步驟，將在所述熱處理室中被熱處理過的處理后基板保持在所述第二拾取器上，并將其從所述熱處理室搬出，并且將所述第一拾取器所保持的未處理的基板搬入所述熱處理室；
第三步驟，將保持在所述第二拾取器上的所述處理后基板搬送至所述其他的室；和
第四步驟，將所述其他的室內(nèi)的未處理的基板保持在所述第一拾取器上，在將所述第二拾取器所保持的處理后基板搬入到所述其他的室之后，使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成為不保持基板的狀態(tài)。
2.如權(quán)利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于，包括：
第五步驟，在所述第四步驟后，將未處理的基板保持在所述第二拾取器上，在所述第一拾取器和所述第二拾取器之間切換保持未處理的基板和處理后基板的拾取器。
3.如權(quán)利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于：
所述第四步驟在所述熱處理室中執(zhí)行基板的熱處理期間進(jìn)行。
4.如權(quán)利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于：
在所述熱處理室中同時對多個基板進(jìn)行熱處理，
在所述第四步驟中，在將所述被同時熱處理了的多個基板中所述第二拾取器最后保持的所述處理后基板搬入所述其他的室之后，使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成為不保持基板的狀態(tài)。
5.如權(quán)利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于：
在所述第四步驟中，將所述第一拾取器所保持的未處理的基板暫時載置在緩沖機(jī)構(gòu)，由此使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成為不保持基板的狀態(tài)。
6.如權(quán)利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于：
所述熱處理室設(shè)置有多個，
所述第四步驟在多個所述熱處理室中執(zhí)行基板的熱處理期間進(jìn)行。
7.一種對基板實(shí)施熱處理的處理系統(tǒng)，其特征在于：
對使用具有權(quán)利要求1所述的包括第一步驟～第四步驟的基板搬送方法，在熱處理室與不同于該熱處理室的其他的室之間依次搬送的基板實(shí)施熱處理。