技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
向鐵電集成電路的表面施加對鈍化層(60)的固化以增強鐵電結(jié)構(gòu)(55)的極化特性。在制作有源裝置之后，向所述鐵電集成電路的所述表面施加鈍化層(60)，例如聚酰亞胺。通過暴露于低于鐵電材料(62)的居里溫度的高溫度達例如大約十分鐘的短持續(xù)時間來將所述鈍化層(60)固化。可使用可變頻率微波能量來實現(xiàn)此種固化。所述已固化鈍化層(60)達成拉伸應(yīng)力狀態(tài)，且因此對所述下伏鐵電材料(62)賦予壓縮應(yīng)力?？赏ㄟ^在固化過程之前將所述鐵電材料(62)極化來進一步增強極化。

技術(shù)研發(fā)人員：聞煌春;理查德·艾倫·貝利;安東尼奧·吉列爾莫·阿科斯塔;約翰·A·羅德里格斯;斯科特·羅伯特·薩默菲爾德;凱末爾·塔梅爾·薩恩
受保護的技術(shù)使用者：德州儀器公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.22
技術(shù)公布日：2017.08.18