pct國(guó)內(nèi)申請(qǐng)，說明書已公開。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種管芯擴(kuò)展工具(300)以及使用該管芯擴(kuò)展工具(300)擴(kuò)展箔載體(1)上的晶圓(4)的方法。管芯擴(kuò)展工具(300)具有外部主體(302)，所述外部主體(302)形成腔體，箔載體(1)的支架(3)置于腔體中；位于外部主體(302)的腔體中的內(nèi)部主體；附著到箔載體(1)的箔(2)上的晶圓(4)位于內(nèi)部主體之上；位于外部主體(302)的腔體之內(nèi)的受壓流體系統(tǒng)，該受壓流體系統(tǒng)使支架(3)圍繞內(nèi)部主體而軸向地移動(dòng)并擴(kuò)展箔(2)。

技術(shù)研發(fā)人員：約瑟夫·柏圖斯·威廉姆斯·斯托克曼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安世有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.02
技術(shù)公布日：2017.08.18