技術(shù)總結(jié)
一種用于熱處理基板的裝置、系統(tǒng)及方法。脈沖電磁能量源能以至少100Hz的頻率產(chǎn)生脈沖。可移動(dòng)基板支撐件可相對(duì)于電磁能量脈沖移動(dòng)基板。光學(xué)系統(tǒng)可設(shè)置在能量源和可移動(dòng)基板支撐件之間，且可包含將電磁能量脈沖塑形成矩形分布的部件?？刂破骺擅钏鲭姶拍芰吭匆赃x定的脈沖頻率產(chǎn)生能量脈沖。所述控制器也可命令所述可移動(dòng)基板支撐件以選定的速度在平行于所述矩形分布的選定的邊緣的方向上進(jìn)行掃描，使得沿著平行于所述選定的邊緣的直線上的每個(gè)點(diǎn)接收預(yù)定數(shù)量的電磁能量脈沖。

技術(shù)研發(fā)人員：阿倫·繆爾·亨特;阿米科姆·薩德;塞繆爾·C·豪厄爾斯;道格拉斯·E·霍姆格倫;布魯斯·E·亞當(dāng)斯;西奧多·P·莫菲特;斯蒂芬·莫法特
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
文檔號(hào)碼：201580035113
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.15
技術(shù)公布日：2017.05.10