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用于磁性隧道結器件的抗蝕刻保護涂層的制作方法

文檔序號：12288962閱讀：來源：國知局
技術總結
一種形成磁性隧道結(MTJ)器件(118)的方法包括在該MTJ器件的暴露側部(124)上形成分隔件(116)。該方法進一步包括形成與該MTJ器件(118)相關聯(lián)的抗蝕刻保護涂層(116)。該抗蝕刻保護涂層(130)提供比該分隔件(116)更大的抗蝕性。

技術研發(fā)人員：Y·陸;C·樸;W-C·陳
受保護的技術使用者：高通股份有限公司
文檔號碼：201580025952
技術研發(fā)日：2015.05.08
技術公布日：2017.02.22

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