技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供用于檢測光罩上的缺陷的系統(tǒng)及方法。實(shí)施例包含產(chǎn)生及/或使用包含光罩圖案的成對的預(yù)定分段及對應(yīng)近場數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。可基于光罩的由光罩檢驗(yàn)系統(tǒng)的檢測器產(chǎn)生的實(shí)際圖像通過回歸來確定所述預(yù)定分段的所述近場數(shù)據(jù)。接著，檢驗(yàn)光罩可包含：將所述光罩上的檢驗(yàn)區(qū)中所包含的圖案的兩個或兩個以上分段分別與所述預(yù)定分段進(jìn)行比較；及基于所述分段中的至少一者最類似于的所述預(yù)定分段而將近場數(shù)據(jù)指派到所述分段中的所述至少一者。接著，可使用所述所指派近場數(shù)據(jù)來模擬將由所述檢測器針對所述光罩形成的圖像，可將所述圖像與由所述檢測器產(chǎn)生的實(shí)際圖像進(jìn)行比較以進(jìn)行缺陷檢測。

技術(shù)研發(fā)人員：A·塞茲希內(nèi)爾;石瑞芳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：科磊股份有限公司
文檔號碼：201580023431
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.04
技術(shù)公布日：2017.02.22