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基板移送裝置的制作方法

文檔序號:12142674閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基板移送裝置,其特征在于,包括:

匣盒,插入配置有多個基板;以及

第二移送部件,用于向一方向移送插入配置于上述匣盒的基板,

上述第二移送部件包括:

第二傳送帶,呈履帶形狀,用于向一方向移送放置于上部面的上述基板;

多個卡止突起,在上述第二傳送帶的上部面以相互隔開的方式突出而成;以及第二驅(qū)動部,用于使上述第二傳送帶旋轉(zhuǎn),

從上述匣盒向上述第二傳送帶供給的上述基板與上述卡止突起相接觸,從而阻止上述基板對上述第二傳送帶進(jìn)行相對移動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置,其特征在于,上述第二移送部件還包括引導(dǎo)部件,上述引導(dǎo)部件配置于上述第二傳送帶的移送方向的兩側(cè),用于引導(dǎo)借助上述第二傳送帶向一方向移送的上述基板的兩側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板移送裝置,其特征在于,上述引導(dǎo)部件能夠向與上述第二傳送帶的移送方向相垂直的方向移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置,其特征在于,上述卡止突起的突出長度大于上述基板的厚度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的基板移送裝置,其特征在于,上述卡止突起的上部面的寬度小于下部面的寬度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置,其特征在于,上述匣盒向上下方向升降,從而向上述第二移送部件供給插入配置于上述匣盒內(nèi)部的上述基板。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的基板移送裝置,其特征在于,

還包括第一移送部件,上述第一移送部件配置于上述匣盒與上述第二移送部件之間,用于向上述第二移送部件移送從上述匣盒供給的上述基板,

上述第一移送部件包括:

第一傳送帶,呈履帶形狀,用于向上述第二傳送帶移送放置于上部面的上述基板;以及

第一驅(qū)動部,用于使上述第一傳送帶旋轉(zhuǎn),

上述匣盒向上下方向升降,從而使插入配置于上述匣盒內(nèi)部的上述基板向上述第一傳送帶的一端的上部面下降,

從上述第一傳送帶向上述第二傳送帶供給的上述基板與上述卡止突起相接觸,從而阻止上述基板對上述第二傳送帶進(jìn)行相對移動。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板移送裝置,其特征在于,上述第一移送部件還包括用于使上述第一傳送帶向上述匣盒方向直線移動的傳送帶移動部。

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