本發(fā)明涉及基板移送裝置，尤其，涉及平板形狀的基板能夠以維持規(guī)定間隔的方式進(jìn)行移動(dòng)的基板移送裝置。

背景技術(shù)：

為了制作半導(dǎo)體用極板、液晶顯示器、太陽(yáng)能電池等的基板，通常，需要執(zhí)行蒸鍍、蝕刻、洗滌等多種基板處理工序。

為了執(zhí)行上述工序，需要使上述基板向各個(gè)工序以維持規(guī)定間隔的方式移動(dòng)。

以往，為了使基板移動(dòng)，通常利用傳送帶類型的傳輸裝置。

但是，上述傳輸裝置僅具有使放置于上部的基板移動(dòng)的功能，從而發(fā)生向傳輸裝置的上部投入的基板的間隔并不恒定的情況。

由此，只要向其他位置移動(dòng)放置于輸送裝置上部的基板的接載裝置未按規(guī)定間隔形成，則很難移動(dòng)基板。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

技術(shù)問題

本發(fā)明用于解決上述問題，本發(fā)明的目的在于，提供可使多個(gè)基板以維持規(guī)定間隔的方式移動(dòng)的基板移送裝置。

解決問題的方案

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的基板移送裝置的特征在于，包括：匣盒，插入配置有多個(gè)基板；以及第二移送部件，用于向一方向移送插入配置于上述匣盒的基板，上述第二移送部件包括：第二傳送帶，呈履帶形狀，用于向一方向移送放置于上部面的上述基板；多個(gè)卡止突起，在上述第二傳送帶的上部面以相互隔開的方式突出而成；以及第二驅(qū)動(dòng)部，用于使上述第二傳送帶旋轉(zhuǎn)，從上述匣盒向上述第二傳送帶供給的上述基板與上述卡止突起相接觸，從而阻止上述基板對(duì)上述第二傳送帶進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。

上述第二移送部件還包括引導(dǎo)部件，上述引導(dǎo)部件配置于上述第二傳送帶的移送方向的兩側(cè)，用于引導(dǎo)借助上述第二傳送帶向一方向移送的上述基板的兩側(cè)。

上述引導(dǎo)部件可向與上述第二傳送帶的移送方向相垂直的方向移動(dòng)。

上述卡止突起的突出長(zhǎng)度大于上述基板的厚度。

上述卡止突起的上部面的寬度小于下部面的寬度。

上述匣盒向上下方向升降，從而向上述第二移送部件供給插入配置于上述匣盒內(nèi)部的上述基板。

本發(fā)明還包括第一移送部件，上述第一移送部件配置于上述匣盒與上述第二移送部件之間，用于向上述第二移送部件移送從上述匣盒供給的上述基板。

上述第一移送部件包括：第一傳送帶，呈履帶形狀，用于向上述第二傳送帶移送放置于上部面的上述基板；以及第一驅(qū)動(dòng)部，用于使上述第一傳送帶旋轉(zhuǎn)，上述匣盒向上下方向升降，從而使插入配置于上述匣盒內(nèi)部的上述基板向上述第一傳送帶的一端的上部面下降，從上述第一傳送帶向上述第二傳送帶供給的上述基板與上述卡止突起相接觸，從而阻止上述基板對(duì)上述第二傳送帶進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。

上述第一移送部件還包括用于使上述第一傳送帶向上述匣盒方向直線移動(dòng)的傳送帶移動(dòng)部。

發(fā)明的效果

根據(jù)如上所述的本發(fā)明的基板移送裝置，本發(fā)明具有如下效果。

借助形成于上述第二傳送帶的上述卡止突起，可使上述多個(gè)基板以一直維持規(guī)定間隔的方式向一方向移動(dòng)，從而具有接載裝置按規(guī)定時(shí)間間隔簡(jiǎn)單移動(dòng)基板的效果。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例的基板移送裝置的立體圖。

圖2為本發(fā)明實(shí)施例的基板移送裝置的側(cè)視圖。

圖3為本發(fā)明實(shí)施例的基板移送裝置的俯視圖。

圖4a至圖4c為在本發(fā)明實(shí)施例的基板移送裝置中匣盒和第一移送部件的運(yùn)行過程圖。

圖5a至圖5c為在本發(fā)明一實(shí)施例的基板移送裝置中第一移送部件和第二移送部件的運(yùn)行過程圖。

具體實(shí)施方式

圖1為本發(fā)明實(shí)施例的基板移送裝置的立體圖。圖2為本發(fā)明實(shí)施例的基板移送裝置的側(cè)視圖。圖3為本發(fā)明實(shí)施例的基板移送裝置的俯視圖。圖4a至圖4c為在本發(fā)明實(shí)施例的基板移送裝置中匣盒和第一移送部件的運(yùn)行過程圖。圖5a至圖5c為在本發(fā)明一實(shí)施例的基板移送裝置中第一移送部件和第二移送部件的運(yùn)行過程圖。

如圖1至圖5所示，本發(fā)明的基板移送裝置包括匣盒10、第一移送部件20及第二移送部件30。

多個(gè)基板40(硅片、硅基板等)插入配置于上述匣盒10的內(nèi)部，并向上下方向?qū)盈B。

在上述匣盒10的中心內(nèi)側(cè)形成有向上下方向及前方開放的排出孔11，因此，上述匣盒10支撐上述基板40的邊緣部分。

上述匣盒10可向上下方向升降。

為此，在框架17的內(nèi)側(cè)配置上述匣盒10，利用位于上部的升降氣缸15等來(lái)使上述匣盒10向杭霞方向移動(dòng)。

上述第一移送部件20配置于上述匣盒10和上述第二移送部件30之間，上述第一移送部件20用于向上述第二移送部件30移送從上述匣盒10供給的上述件40。

上述第一移送部件20包括第一傳送帶21、第一驅(qū)動(dòng)部22及傳送帶移動(dòng)部23。

上述第一傳送帶21呈履帶形狀，在上述第一傳送帶21的上部面向上述第二移送部件30移送從上述匣盒10排出的基板40。

上述第一傳送帶21的一端靠近上述匣盒10，另一端靠近上述第二移送部件30。

更具體地，上述第一傳送帶21的一端插入于上述匣盒10的排出孔11，并與插入配置于上述匣盒10的上述基板40的下部面接觸，從而從上述匣盒10移送極板40。

上述第一驅(qū)動(dòng)部22由馬達(dá)等形成，從而使上述第一傳送帶21旋轉(zhuǎn)。

上述傳送帶移動(dòng)部23用于使上述第一傳送帶21沿著上述匣盒10方向直線移動(dòng)。

此時(shí)，優(yōu)選地，上述傳送帶移動(dòng)部23僅使上述第一傳送帶21的一端沿著上述匣盒10的方向直線移動(dòng)，而并非使上述第一傳送帶21的整體移動(dòng)。

為此，如氣缸，上述傳送帶移動(dòng)部23呈沿著上述匣盒10方向伸縮的結(jié)構(gòu)。

而且，為了防止因上述傳送帶移動(dòng)部23的移動(dòng)，上述第一傳送帶21的張力發(fā)生變更的情況，上述第一移動(dòng)部件20還可包括張力調(diào)節(jié)部件(未圖示)。

隨著具有規(guī)定長(zhǎng)度的上述第一傳送帶21沿著上述匣盒10方向移動(dòng)，上述張力調(diào)節(jié)部件變更上述第一傳送帶21的移動(dòng)路徑，由此可使上述第一傳送帶21一直維持相同張力，上述張力調(diào)節(jié)部件僅使用以往的公知部件即可，將省略對(duì)其的詳細(xì)說(shuō)明。

另一方面，如上所述，上述匣盒10向上下方向升降，由此使插入配置于上述匣盒10內(nèi)部的上述基板40向上述第一傳送帶21的一端的上部面下降，并使放置于上述第一傳送帶21的上部面的上述基板40向上述第二移送部件30的方向移動(dòng)。

上述第二移送部件30用于使插入配置于上述匣盒10的基板40向一方向移送。

更具體地，上述第二移送部件30從上述第一移送部件20接收從上述匣盒10向上述第一移送部件20移送的基板40并使其向一方向移送。

上述第二移送部件30包括第二傳送帶31、卡止突起32、第二驅(qū)動(dòng)部33和引導(dǎo)部件34等。

上述第二傳送帶31呈履帶形狀，使放置于上部面的上述基板40向一方向，即，向上述匣盒10的相反方向移動(dòng)。

具有多個(gè)上述卡止突起32，上述多個(gè)卡止突起32以相互隔開的方式在上述第二傳送帶31的上部面突出。

此時(shí)，相互隔開的多個(gè)上述卡止突起32按規(guī)定間隔隔開。

從上述第一傳送帶21向第二傳送帶31供給的上述基板41與上述卡止突起32相接觸，由此阻止上述基板40對(duì)于上述第二傳送帶31的相對(duì)移動(dòng)，使得放置于上述第二傳送帶31的上述基板40的間隔一直恒定維持。

而且，上述卡止突起32的突出長(zhǎng)度大于上述基板40的厚度。

并且，上述卡止突起32的上部面的寬度大于下部面的寬度，由此，用于向其他位置移動(dòng)放置于上述第二移送部件30的基板40的接載裝置通過吸附上述基板40并容易向垂直方向抬起上述第二傳送帶31。

上述卡止突起32可以與上述第二傳送帶31想成為一體，或者上述卡止突起32單獨(dú)形成，從而可通過激光或焊接與上述第二傳送帶31相結(jié)合。

上述第二驅(qū)動(dòng)部33由馬達(dá)形成，從而使上述第二傳送帶31進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

上述引導(dǎo)部件34配置于上述第二傳送帶31的移送方向的兩側(cè)，上述引導(dǎo)部件34用于引導(dǎo)借助上述第二傳送帶31向一方向移送的上述基板40的兩側(cè)。

上述引導(dǎo)部件34可向與上述第二傳送帶31的移送方向相垂直的方向移動(dòng)，從而可使被移送的多個(gè)基板40沿著相同管線移動(dòng)。

根據(jù)情況，本發(fā)明即使沒有上述第一移送部件20，也可直接向上述第二移送部件30供給插入于上述匣盒10的上述基板40。

此時(shí)，上述第二移動(dòng)部件30的一端靠近上述匣盒10配置。

以下，觀察以上述結(jié)構(gòu)形成的本發(fā)明的運(yùn)行過程。

如圖4a所示，使上述匣盒10向水平方向移動(dòng)，使得上述匣盒10靠近上述第一傳送帶21的一端。

此時(shí)，為使上述匣盒10容易向水平方向移動(dòng)，上述第一傳送帶21的一端向上述第二移送部件30方向移動(dòng)。

因此，上述第一傳送帶21的一端并非處于插入于上述匣盒10的排出孔11的狀態(tài)。

之后，如圖4b所示，利用上述傳送帶移動(dòng)部23，使上述第一傳送帶21的一端配置于上述匣盒10的排出孔11的下部。

在上述狀態(tài)下，如圖4c所示，隨著上述匣盒10的下降，插入配置于上述匣盒10的上述基板40與上述第一傳送帶21的上部面相接觸。

此時(shí)，因上述第一傳送帶21進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此，上述基板40與進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的上述第一傳送帶21的上部面相接觸并向上述匣盒10的相反方向移送。

如圖5所示，從上述匣盒10向上述第一移送部件20移動(dòng)的上述基板40向上述第二移送部件30移動(dòng)。

如圖5a所示，在上述第一傳送帶21向一方向移動(dòng)的基板40向上述第二傳送帶31移動(dòng)。

此時(shí)，上述第一傳送帶21和第二傳送帶31可存在速度差，尤其，在上述第一傳送帶21的移動(dòng)速度大于上述第二傳送帶31的移動(dòng)速度的情況下，放置于上述第一傳送帶21的上述基板40以大于上述第二傳送帶31的移動(dòng)速度的速度快速向一方向移動(dòng)。

在此情況下，如圖5b所示，上述件40與上述卡止突起32相接觸，由此阻止上述基板40對(duì)于上述第二傳送帶31的相對(duì)移動(dòng)，在上述卡止突起32之間，上述基板40放置于上述第二傳送帶31的狀態(tài)下進(jìn)行移動(dòng)。

并且，在上述第一傳送帶21及第二傳送帶31的速度相同，或者在上述第一傳送帶21的移動(dòng)速度小于上述第二傳送帶31的移動(dòng)速度的情況下，上述基板40也可在上述第二傳送帶31的上部面發(fā)生滑移，此時(shí)，如圖5c所示，可防止上述基板40被上述卡止突起32所推開的情況。

如上所述，借助形成于上述第二傳送帶31的上述卡止突起32，多個(gè)上述基板40一直維持規(guī)定間隔并向一方向移動(dòng)。

放置于上述第二傳送帶31的上部的上述基板40借助額外的接載裝置向其他位置移動(dòng)。

作為本發(fā)明的基板移送裝置并不局限于上述實(shí)施例，可在本發(fā)明的技術(shù)思想所允許的范圍內(nèi)進(jìn)行多種變形。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

本發(fā)明可適用于移送半導(dǎo)體用極板、液晶顯示器、太陽(yáng)能電池等的基板的裝置。