本發(fā)明涉及感應(yīng)器、變壓器、天線(棒狀天線)、扼流線圈、濾波器、傳感器等電氣設(shè)備或電子設(shè)備的磁性芯部件和磁性元件、以及磁性芯部件的制造方法。
背景技術(shù)：
：近年來(lái)，在電氣、電子設(shè)備的小型化、高頻率化、大電流化的發(fā)展中，對(duì)磁性芯部件也要求有同樣的應(yīng)對(duì)。但是，現(xiàn)在主流的鐵素體材料中，材料特性自身已經(jīng)達(dá)到極限，正在探索新的磁性芯材料。例如，鐵素體材料正在逐漸被替換成鐵硅鋁磁合金(sendust)、非晶金屬等的壓縮磁性材料、非晶箔帶等。但是，上述壓縮磁性材料的成型性差，燒成后的機(jī)械強(qiáng)度也低。此外，上述非晶箔帶因?yàn)榫砭€、切割、形成間隙，所以制造成本高。因此，這些磁性材料的實(shí)用化進(jìn)展緩慢。本申請(qǐng)人以提供使用成型性差的磁性粉末、具有多樣性的形狀、特性的小型且廉價(jià)的磁性芯部件的制造方法為目的，針對(duì)通過(guò)注射成型來(lái)制造具有規(guī)定的磁特性的芯部件的方法，獲得了專利權(quán)(專利文獻(xiàn)1)，其中，用絕緣材料包覆注射成型所使用的樹脂組合物中包含的磁性粉末，在上述樹脂組合物中對(duì)壓粉成型磁性體或壓粉磁石成型體中的任一種進(jìn)行插入成型，壓粉成型磁性體或壓粉磁石成型體含有具有低于注射成型溫度的熔點(diǎn)的粘合劑。但是，在專利文獻(xiàn)1記載的方法中，在可注射成型的聚苯硫醚(PPS)等熱塑性樹脂中，應(yīng)用非晶金屬等磁性粉末時(shí)，可配合的磁性粉末的極限是88質(zhì)量％左右。如果在其以上增加磁性粉末的配合量，則存在作為產(chǎn)生開裂等的芯部件不能夠得到充分的機(jī)械強(qiáng)度的問(wèn)題。另外，由于不能夠增加磁性粉末的配合量，所以存在不能提高磁導(dǎo)率，不能實(shí)現(xiàn)芯部件的小型化的問(wèn)題。對(duì)于使用非晶磁性薄帶作為磁芯的復(fù)合磁性芯而言，作為能夠確保卷線和磁芯之間的絕緣，并且能夠防止非晶金屬磁性薄帶的由于外力所導(dǎo)致的裂紋、破損以及磁特性變化的噪聲濾波器用電磁裝置，通過(guò)在兩端具有凸緣部的帶凸緣的筒狀的鐵素體磁芯和以不超過(guò)凸緣部的高度的范圍卷繞至該鐵素體磁芯的筒部的非晶金屬磁性薄帶來(lái)構(gòu)成復(fù)合磁芯、并對(duì)該復(fù)合磁芯卷繞環(huán)形(toroidal)線圈的噪聲濾波器用電磁裝置是已知的(專利文獻(xiàn)2)。但是，專利文獻(xiàn)2中所記載的噪聲濾波器用電磁裝置的復(fù)合磁芯存在難以對(duì)在兩端具有凸緣部的帶凸緣的筒狀的鐵素體磁芯進(jìn)行壓粉成型的問(wèn)題。另外，其為在該鐵素體磁芯上卷繞有非晶金屬磁性薄帶的復(fù)合磁芯，在該復(fù)合磁芯上所卷繞的線圈，與非晶金屬磁性薄帶不接觸，常常接觸鐵素體磁芯而被卷繞成環(huán)形(toroidal)線圈，因此作為復(fù)合磁芯限制為可成為環(huán)形的面包圈形狀等特定的形狀。另外，如果想要在該復(fù)合磁芯的外周以棒狀線圈的形式進(jìn)行卷繞，則線圈會(huì)直接接觸非晶金屬磁性薄帶，因此非晶金屬磁性薄帶容易產(chǎn)生裂紋，存在難以卷線、因卷繞時(shí)的應(yīng)力而發(fā)生磁特性劣化的問(wèn)題。另外，已知包括以下構(gòu)成的軟磁性復(fù)合粉末的制造方法，其著眼于用無(wú)機(jī)絕緣性材料包覆軟磁性體粉末的表面的至少一部分，并在該無(wú)機(jī)絕緣性材料上熔融附著樹脂材料而得到復(fù)合粉末，通過(guò)使用該復(fù)合粉末，不僅能夠確保軟磁性材料粉末間的電絕緣性，而且能夠提高成型加工性。即，已知的軟磁性復(fù)合粉末是，軟磁性體粉末的表面被包含無(wú)機(jī)絕緣性材料的無(wú)機(jī)絕緣層所包覆，在該無(wú)機(jī)絕緣層的表面以部分地覆蓋該軟磁性體粉末的表面的方式使樹脂材料熔融附著而成，上述無(wú)機(jī)絕緣性材料為0.3～6重量％、上述樹脂材料為3～8重量％、而且余量包含上述軟磁性粉末(專利文獻(xiàn)3)。另外，已知如下的壓粉磁芯：其為為了得到以平均粒徑比較大的非晶質(zhì)軟磁性粉末和平均一次粒徑為1μm左右以下的微小的非晶質(zhì)軟磁性微粉末的混合粉末為材料，且具有高磁導(dǎo)率的壓粉磁芯，將相對(duì)于非晶質(zhì)軟磁性粉末混合有非晶質(zhì)軟磁性微粉末的混合粉末、以及粘合劑的混合物進(jìn)行壓縮成型而成的壓粉磁芯，上述非晶質(zhì)軟磁性粉末以非晶質(zhì)相為主，包含平均粒徑為8μm以上的粒子，上述非晶質(zhì)軟磁性微粉末以非晶質(zhì)相為主，包含平均一次粒徑為0.1μm以上且1.5μm以下的球狀粒子，上述非晶質(zhì)軟磁性微粉末相對(duì)于上述非晶質(zhì)軟磁性粉末的混合比率為2重量％以上且40重量％以下(專利文獻(xiàn)4)。對(duì)絕緣覆膜處理過(guò)的非晶粉進(jìn)行壓縮成型而得到的壓粉磁芯為與鐵素體磁芯同等優(yōu)良的低損失，且具有高飽和磁通密度。但是，由于在非晶粉表面實(shí)施了絕緣覆膜處理，所以磁導(dǎo)率變低。因此，非晶壓粉磁芯的壓粉密度越高，相對(duì)磁導(dǎo)率越顯示高結(jié)果。如果使用專利文獻(xiàn)3中記載的軟磁性復(fù)合粉末，使用平均粒徑50μm左右的具有正態(tài)分布上的粒度分布的絕緣覆膜處理非晶粉進(jìn)行壓粉成型，則即使提高成型壓力，密度有一定程度上升，但是非晶粉的塑性變形性差，因此難以得到高密度制品。因此，盡管非晶粉本身的相對(duì)磁導(dǎo)率非常高，高達(dá)數(shù)十萬(wàn)左右，然而在壓粉磁芯中存在相對(duì)磁導(dǎo)率會(huì)止于50左右的問(wèn)題。如果混合專利文獻(xiàn)4中記載的粒徑不同的兩種軟磁性粉末，則可以發(fā)現(xiàn)壓粉密度的一定程度的提高，但是基于以下的理由提高的效果不是充分的。如果存在非晶粉的微粒子，則在壓粉成型時(shí)會(huì)侵入至成型模具的間隙(clearance)，由此成為引起模具破損等成型故障的原因。另外，如果是平均粒徑不同的粉體的混合粉的情況，則難以在粉的流動(dòng)時(shí)保持粒度分布狀態(tài)而直接運(yùn)送，因此從加料斗開始至投入模具之前，存在粒度分布變化大的問(wèn)題，不能夠得到可提高壓粉密度且提高磁導(dǎo)率的非晶壓粉磁芯?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特許第4763609號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2：日本特開平5-55061號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3：日本特許第4452240號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4：日本特開2012-129384號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明所要解決的課題本發(fā)明是針對(duì)這樣的問(wèn)題而完成的，目的在于提供一種即使是包含非晶金屬粉末90質(zhì)量％以上的磁性芯部件，成型體也不會(huì)產(chǎn)生開裂等不良情況，能夠得到充分的機(jī)械強(qiáng)度的磁性芯部件和磁性元件、以及磁性芯部件的制造方法。另外，目的在于提供一種能夠得到高密度、高磁導(dǎo)率的磁性芯部件(非晶壓粉磁芯)及其制造方法。用于解決課題的方案本發(fā)明的磁性芯部件的特征在于，其為將磁性粉末與熱固性粘結(jié)樹脂進(jìn)行熱固化成型而成的磁性芯部件，上述磁性粉末為選自非晶金屬粉末單一成分和由絕緣材料包覆的非晶金屬粉末的至少一種，相對(duì)于上述磁性粉末與上述熱固性粘結(jié)樹脂的合計(jì)量，包含所述磁性粉末90質(zhì)量％以上且99質(zhì)量％以下。另外，其特征在于，上述熱固性粘結(jié)樹脂為通過(guò)潛伏性固化劑而固化的環(huán)氧樹脂。另外，其特征在于，壓粉成型磁性體和壓粉磁石成型體的任一種在上述磁性粉末與上述熱固性粘結(jié)樹脂的復(fù)合磁性粉末中被插入成型。本發(fā)明的磁性元件為包含上述本發(fā)明的磁性芯部件以及在該磁性芯部件的周圍卷繞的線圈且裝入電子設(shè)備回路中的磁性元件。本發(fā)明的磁性芯部件的制造方法的特征在于，包含：將上述磁性體粉末與上述熱固性粘結(jié)樹脂在該粘結(jié)樹脂的軟化溫度以上且不到熱固化起始溫度的溫度下進(jìn)行干式混合的混合工序；將由上述混合工序而生成的凝集餅在室溫下進(jìn)行粉碎而得到復(fù)合磁性粉末的粉碎工序；將上述復(fù)合磁性粉末用模具制成壓縮成型體的壓縮成型工序；以及在上述粘結(jié)樹脂的熱固化起始溫度以上的溫度下使上述壓縮成型體熱固化的固化工序。另外，其特征在于，上述壓縮成型工序?yàn)椋簩悍鄢尚痛判泽w和壓粉磁石成型體的任一種插入至所述復(fù)合磁性粉末而進(jìn)行壓縮成型的工序。另外，其特征在于，在上述制造方法中，上述被絕緣材料包覆的非晶金屬粉末為包含具有不同的平均粒徑和粒度分布的至少兩種非晶金屬粉末的二次粒子，該二次粒子以平均粒徑大的非晶金屬粉末為中心粒子，平均粒徑比該中心粒子小的非晶金屬粉末附著在上述中心粒子的表面。另外，其特征在于，成為上述中心粒子的非晶金屬粉末的粒度分布、以及附著在上述中心粒子的表面的非晶金屬粉末的粒度分布，在以存在比率為縱軸、以粒徑為橫軸的粒度分布圖中，兩者互相重合的部分至少為10％以下。本發(fā)明的磁性芯部件(非晶壓粉磁芯)的特征在于，其為將表面被絕緣層包覆的非晶金屬粉末進(jìn)行壓縮成型而成的非晶壓粉磁芯，上述非晶金屬粉末為包含具有不同的平均粒徑和粒度分布的至少兩種非晶金屬粉末的二次粒子，該二次粒子以平均粒徑大的非晶金屬粉末為中心粒子，平均粒徑比該中心粒子小的非晶金屬粉末附著在上述中心粒子的表面。另外，其特征在于，上述非晶壓粉磁芯的密度為5.6以上，相對(duì)磁導(dǎo)率為60以上。其特征在于，在上述非晶壓粉磁芯中，成為上述中心粒子的非晶金屬粉末的粒度分布、以及附著在上述中心粒子的表面的非晶金屬粉末的粒度分布，在以存在比率為縱軸、以粒徑為橫軸的粒度分布圖中，兩者互相重合的部分至少為10％以下。另外，其特征在于，非晶金屬粉末的絕緣層包括：至少包含無(wú)機(jī)絕緣性材料的無(wú)機(jī)絕緣層。上述非晶壓粉磁芯的制造方法的特征在于，具有以下所述的工序(1)～(3)。(1)制造在具有不同的平均粒徑和粒度分布的至少兩種非晶金屬粉末的表面分別形成有上述無(wú)機(jī)絕緣層的非晶金屬粉末的工序；(2)將成為中心粒子的平均粒徑大的非晶金屬粉末以及平均粒徑比上述中心粒子小的非晶金屬粉末混合后，進(jìn)行造粒而形成二次粒子的工序；以及(3)將上述二次粒子進(jìn)行壓縮成型的壓縮成型工序。發(fā)明的效果本發(fā)明的磁性芯部件通過(guò)熱固性粘結(jié)樹脂將非晶金屬粉末進(jìn)行熱固化成型而得到，包含磁性粉末90質(zhì)量％以上且99質(zhì)量％以下，因此能夠?qū)⒋艑?dǎo)率形成為與磁性粉末單一成分的燒結(jié)體大致同等。另外，即使在大電流、數(shù)千kHz以上的高頻率中也能夠賦予高電感值，所以能夠?qū)崿F(xiàn)磁性芯部件、磁性元件的小型化。本發(fā)明的磁性芯部件的制造方法具有用模具制成壓縮成型體的壓縮成型工序，因此比注射成型廉價(jià)且能夠使用耐久壽命長(zhǎng)的模具。本發(fā)明的磁性芯部件(非晶壓粉磁芯)將粒徑不同的至少兩種非晶金屬粉末造粒成規(guī)定的結(jié)構(gòu)而得到二次粒子，對(duì)該二次粒子進(jìn)行壓縮成型，因此能夠提高非晶壓粉磁芯的密度和相對(duì)磁導(dǎo)率。尤其是能夠使該密度為5.6以上、使相對(duì)磁導(dǎo)率為60以上。附圖說(shuō)明圖1為磁性芯部件的制造工序圖。圖2為插入成型時(shí)的工序圖。圖3為表示磁特性測(cè)定試樣的圖。圖4為表示磁性芯部件的相對(duì)磁導(dǎo)率的頻率依賴性的圖。圖5為表示磁性芯部件的直流疊加特性的圖。圖6為表示磁性芯部件的壓環(huán)強(qiáng)度的圖。圖7為表示插入成型了的磁性芯部件的圖。圖8為表示磁性芯部件的電感(インダクタンス)的頻率依賴性的圖。圖9為表示磁性芯部件的電感的頻率依賴性的圖。圖10為絕緣了的非晶金屬粉末的粒度分布圖。圖11為表示造粒后的二次粒子的狀態(tài)的圖。具體實(shí)施方式為了實(shí)現(xiàn)電氣、電子設(shè)備的小型化、高頻率化、大電流化，如果想要通過(guò)燒結(jié)非晶金屬粉末單一成分來(lái)制造磁性芯部件，則在壓縮成型時(shí)需要約15t/cm2左右的成型壓力。但是，通過(guò)配合熱固性粘結(jié)樹脂，雖然磁性芯部件的磁性特性與非晶金屬粉末單一成分大致相同，但是能夠?qū)峁袒尚蜁r(shí)的成型壓力降低至2t/cm2左右。另外，即使在使非晶金屬等磁性粉末為90質(zhì)量％以上的情況下，也能夠在不產(chǎn)生開裂等不良情況的前提下，得到充分的機(jī)械強(qiáng)度。本發(fā)明是基于這樣的認(rèn)知。形成磁性芯部件的磁性粉末為添加有鐵、鈷、鎳、釓等強(qiáng)磁性元素的非晶金屬粉末。作為非晶金屬粉末，可以列舉：鐵合金系、鈷合金系、鎳合金系、它們的混合合金系非晶金屬粉末等。磁性粉末無(wú)論是非晶金屬粉末單一成分，還是被絕緣材料(絕緣層)包覆的非晶金屬粉末，均可使用。作為絕緣材料，可以使用Al2O3、Y2O3、MgO、ZrO2等金屬氧化物、玻璃或它們的混合物。作為絕緣包覆的形成方法，可以使用機(jī)械融合(Mechanofusion)等粉末涂覆法、非電解鍍、溶膠-凝膠法等濕式薄膜制作法、或者濺射等干式薄膜制作法等。就磁性粉末而言，以作為原料而使用的成型前的粒徑表示，其優(yōu)選為300μm以下，更優(yōu)選為包含大量微粒的多個(gè)粒徑的混合磁性粉末。形成磁性芯部件的熱固性粘結(jié)樹脂例如可以列舉：環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、尿素樹脂、不飽和聚酯樹脂等。其中優(yōu)選使用環(huán)氧樹脂。粘結(jié)性樹脂用作絕緣用且粘結(jié)用?？捎糜诒景l(fā)明的環(huán)氧樹脂為可用作粘接用環(huán)氧樹脂的樹脂，優(yōu)選軟化溫度為100～120℃的樹脂。例如只要為雖然在室溫下為固體，但在50～60℃下成為膏狀，在130～140℃下成為流動(dòng)性，進(jìn)而，若繼續(xù)加熱則開始固化反應(yīng)的環(huán)氧樹脂就可使用。該固化反應(yīng)雖然在120℃附近也開始，但作為在實(shí)用性的固化時(shí)間、例如2小時(shí)以內(nèi)結(jié)束固化反應(yīng)的溫度優(yōu)選為170～190℃。如果為該溫度范圍，則固化時(shí)間為45～80分鐘。作為環(huán)氧樹脂的樹脂成分，例如可以列舉：雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、雙酚S型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚F型環(huán)氧樹脂、均二苯乙烯型環(huán)氧樹脂、含三嗪骨架環(huán)氧樹脂、含芴骨架環(huán)氧樹脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、丙烯酸類環(huán)氧樹脂、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂、三苯酚苯酚甲烷型環(huán)氧樹脂、烷基改性三苯酚甲烷型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、含雙環(huán)戊二烯骨架環(huán)氧樹脂、含萘骨架環(huán)氧樹脂、芳基亞烷基型環(huán)氧樹脂等。環(huán)氧樹脂的固化劑成分為潛伏性環(huán)氧固化劑。可通過(guò)使用潛伏性環(huán)氧固化劑將軟化溫度設(shè)定在100～120℃，另外，可將固化溫度設(shè)定在170～190℃，可以進(jìn)行在鐵粉粉末上形成絕緣性涂膜、和之后的壓縮成型以及熱固化。作為潛伏性環(huán)氧固化劑，可以列舉：雙氰胺、三氟化硼-胺絡(luò)合物、有機(jī)酸酰肼等。其中，優(yōu)選適合上述固化條件的雙氰胺。另外，可以與潛伏性環(huán)氧固化劑一同，含有叔胺、咪唑、芳香族胺等固化促進(jìn)劑。本發(fā)明中可使用的含有上述潛伏性固化劑的環(huán)氧樹脂以成為在160℃下2小時(shí)、在170℃下80分鐘、在180℃下55分鐘、在190℃下45分鐘、在200℃下30分鐘的固化條件的方式配合潛伏性固化劑。磁性體粉末和環(huán)氧樹脂的配合比例相對(duì)于這些的合計(jì)量磁性體粉末為90質(zhì)量％以上且99質(zhì)量％以下，環(huán)氧樹脂為1質(zhì)量％以上且10質(zhì)量％以下。這是因?yàn)槿绻h(huán)氧樹脂不到1質(zhì)量％，則難以形成絕緣覆膜，如果超過(guò)10質(zhì)量％，則產(chǎn)生磁特性的降低和富樹脂的粗大的凝集體。磁性芯部件可通過(guò)將上述磁性體粉末與環(huán)氧樹脂的混合物進(jìn)行熱固化成型而制造。另外，通過(guò)將壓粉成型磁性體或壓粉磁石成型體配置在模具內(nèi)，使用磁性體粉末與環(huán)氧樹脂的混合物進(jìn)行插入成型，能夠制造在內(nèi)部具有壓粉成型磁性體或壓粉磁石成型體，使外周部為非晶金屬磁性體的磁性芯部件。壓粉成型磁性體為在磁性粉末中根據(jù)需要配合粘結(jié)性樹脂并進(jìn)行成型而得到的磁性體。作為磁性粉末，可以列舉：金屬粉、氮化鐵粉等純鐵系軟磁性材料、Fe-Si-Al合金(Sendust，鐵硅鋁磁合金)粉末、超鐵硅鋁磁合金(Supersendust)粉末、Ni-Fe合金(Permalloy，坡莫合金)粉末、Co-Fe合金粉末、純鐵系軟磁性材料、Fe-Si-B系合金粉末等鐵基合金系軟磁性材料、鐵素體系磁性材料、非晶材料、微晶材料等。非晶材料可以與上述非晶金屬磁性體相同也可以不同。另外，磁性粉末表面的絕緣材料可使用在上述非晶金屬粉末中所使用的絕緣材料。在壓粉成型磁性體中還可根據(jù)需要添加作為粘合劑成分的粘結(jié)性樹脂。作為所使用的粘結(jié)性樹脂，可以列舉：聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴、聚乙烯醇、聚環(huán)氧乙烷、聚苯硫醚(PPS)、液晶聚合物、聚醚醚酮(PEEK)、聚酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚縮醛、聚醚砜、聚砜、聚碳酸酯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯、聚苯醚、聚鄰苯二甲酰胺、聚酰胺、它們的混合物等熱塑性樹脂。另外，可使用上述的熱固性樹脂。壓粉磁石成型體是，將磁性粉末的填充密度提高了的成型體，使用硬磁性材料粉末，與壓粉成型磁性體使用軟磁性材料粉末相對(duì)。作為硬磁性材料粉末，可以列舉：鐵素體系磁石粉末、Fe-Nd-B系、Sm-Co系等稀土類系磁石粉末、Al-Ni-Co系的鋁鎳鈷合金(alnico)磁石粉末等。作為粘結(jié)性樹脂，可使用在上述壓粉成型磁性體中所使用的樹脂類。另外，硬磁性材料粉末表面的絕緣材料可使用在上述非晶金屬粉末中所使用的絕緣材料。進(jìn)一步地，壓粉磁石成型體可以進(jìn)行磁化而使用。通過(guò)圖1說(shuō)明磁性芯部件的制造方法。圖1為制造工序圖。分別準(zhǔn)備作為上述的磁性體的非晶金屬粉末、以及已經(jīng)配合有上述的潛伏性固化劑的環(huán)氧樹脂。非晶金屬粉末預(yù)先利用分級(jí)機(jī)調(diào)節(jié)為通過(guò)80目的篩但不通過(guò)325目的篩的粒子。利用混合工序，將非晶金屬粉末與環(huán)氧樹脂在該環(huán)氧樹脂的軟化溫度以上、不到熱固化起始溫度的溫度下進(jìn)行干式混合。在該混合工序中，最初將非晶金屬粉末與環(huán)氧樹脂在室溫下使用共混器(blender)進(jìn)行充分混合。接著，將被混合的混合物投入至捏合機(jī)(kneader)等混合機(jī)中在環(huán)氧樹脂的軟化溫度(100～120℃)下進(jìn)行加熱混合。通過(guò)該加熱混合的工序，在非晶金屬粉末的表面形成環(huán)氧樹脂的絕緣覆膜。在該階段環(huán)氧樹脂未固化。使用捏合機(jī)等混合機(jī)進(jìn)行加熱混合而得到的內(nèi)容物成為凝集的餅狀。粉碎工序是，通過(guò)將該凝集餅在室溫下粉碎并篩分，得到在表面形成有環(huán)氧樹脂的絕緣膜的復(fù)合磁性粉末的工序。粉碎優(yōu)選亨舍爾混合器，篩分優(yōu)選設(shè)定為通過(guò)60目部分的粒度。壓縮成型工序中所使用的模具只要為能夠冷成型或溫成型的模具即可。此處，冷成型是指，在不施加溫度的情況下進(jìn)行壓縮成型，溫成型是指，在環(huán)氧樹脂的軟化溫度(100～120℃)左右的溫度下進(jìn)行壓縮成型數(shù)分鐘時(shí)間。通過(guò)使用溫成型，提高樹脂成型體的密度。作為磁性芯部件在內(nèi)部具有壓粉成型磁性體和壓粉磁石成型體的任一種(以下，稱為壓粉成型磁性體等)的情況下，在壓縮成型工序中在上述模具內(nèi)保持壓粉成型磁性體等，以在該壓粉成型磁性體等的周圍配置復(fù)合磁性粉末，進(jìn)行壓縮成型。將壓縮成型工序的一例示于圖2。圖2為插入成型壓粉成型磁性體等時(shí)的工序圖，圖2左側(cè)表示圖2右側(cè)的A-A截面圖。準(zhǔn)備壓粉成型磁性體等3(圖2(a))。將該壓粉成型磁性體等3配置于內(nèi)部，在其周圍投入復(fù)合磁性粉末1a在模具(省略圖示)內(nèi)進(jìn)行壓縮(圖2(b))。接著以覆蓋壓粉成型磁性體等3全體的方式投入復(fù)合磁性粉末1a在模具內(nèi)進(jìn)行壓縮(圖2(c))。復(fù)合磁性粉末1a的對(duì)接面1b在壓縮成型工序和接下來(lái)的工序的固化工序中被一體化。從模具取出的成型品在170～190℃的溫度下加熱固化45～80分鐘。這是因?yàn)?，在不?70℃的情況下，需要長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)行固化，如果190℃則開始劣化。加熱固化優(yōu)選在氮?dú)猸h(huán)境中進(jìn)行。加熱固化后，根據(jù)需要進(jìn)行切削加工、筒加工、防銹處理等，得到磁性芯部件1。本發(fā)明的磁性元件是，將卷線卷繞在上述磁性芯部件的周圍，形成線圈，具有電感功能。該磁性元件可裝入電子設(shè)備回路中。作為卷線，可使用漆包銅線，作為其種類可使用：氨基甲酸酯線(UEW)、甲縮醛線(PVF)、聚酯線(PEW)、聚酯酰亞胺線(EIW)、聚酰胺酰亞胺線(AIW)、聚酰亞胺線(PIW)、將它們組合的二重包覆線、或本身熔融附著線、利茲線等。作為漆包銅線的截面形狀可使用圓線、方線。作為線圈的卷繞方式，可以采用螺旋卷繞、環(huán)形卷繞。在超小型的磁性芯部件的情況中，可使用不是環(huán)形線圈的芯中使用的面包圈型芯的、圓柱狀的芯、角注(角注)狀、板狀的芯。如上所述的本發(fā)明的磁性芯部件和/或磁性元件可用作包含兩輪車的汽車、產(chǎn)業(yè)用設(shè)備和醫(yī)療用設(shè)備的電源回路、濾波器回路、開關(guān)回路等中所使用的軟質(zhì)磁性材料的芯部件、例如感應(yīng)器、變壓器、天線、扼流線圈、濾波器等的芯部件、磁性元件。另外，可用作表面安裝用部件的磁性芯、磁性元件。實(shí)施例1將粒徑為150μm以下且中值徑D50為50μm的非晶金屬磁性粉末(Fe-Si-B系非晶金屬)1940g、以及包含作為固化劑的雙氰胺的環(huán)氧樹脂粉末60g，用共混器在室溫下混合10分鐘時(shí)間。將該混合物投入至捏合機(jī)并在110℃下加熱混煉12分鐘時(shí)間。非晶金屬磁性粉末的配合比例為97質(zhì)量％。將由捏合機(jī)凝集的餅取出并冷卻后，用粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎，得到通過(guò)60目篩部分的粉末。接著在室溫下用模具在2t/cm2的成型壓力下進(jìn)行壓縮成型。將壓縮成型品從模具中取出，在180℃的溫度下在1小時(shí)空氣中的條件下進(jìn)行熱固化，從而制造內(nèi)徑20mm、外徑30mm、高度5mm的平的圓筒狀磁性芯部件。該磁性芯部件的密度為4.91g/cm3。作為得到的磁性芯部件的磁特性。測(cè)定相對(duì)磁導(dǎo)率的頻率依賴性和直流疊加特性。另外，作為機(jī)械特性，測(cè)定壓環(huán)強(qiáng)度。將磁特性測(cè)定試樣示于圖3。磁特性測(cè)定試樣為，在平的圓筒狀的磁性芯部件1上以電感值成為10μH的方式將0.80mmφ聚酯絕緣漆包銅線2進(jìn)行30～35匝卷繞，制成作為磁性元件的感應(yīng)器。使用該感應(yīng)器測(cè)定相對(duì)磁導(dǎo)率的頻率依賴性，另外，使用LCR儀器在測(cè)定頻率1KHz下測(cè)定使直流電流疊加至線圈時(shí)的電感值。需要說(shuō)明的是，將電流值為0時(shí)的電感值設(shè)定為100，用此時(shí)的變化率(％)表示直流疊加特性。將結(jié)果示于圖4和圖5。另外，壓環(huán)強(qiáng)度使用平的圓筒狀磁性芯部件單體利用拉伸壓縮試驗(yàn)，在荷重負(fù)荷速度1mm/min下進(jìn)行測(cè)定。將結(jié)果示于圖6。實(shí)施例2使用在實(shí)施例1中使用的由非晶金屬磁性粉末和環(huán)氧樹脂粉末而得到的通過(guò)60目篩部分的粉末，將磁性芯部件制成壓縮成型品時(shí)，除了將成型條件設(shè)定為溫度110℃、時(shí)間5分鐘以外，以與實(shí)施例1同樣的方式，在180℃的溫度下在1小時(shí)空氣氣氛中的條件下進(jìn)行熱固化，從而制造內(nèi)徑20mm、外徑30mm、高度5mm的平的圓筒狀的磁性芯部件。該磁性芯部件的密度為5.17g/cm3。將得到的磁性芯部件以與實(shí)施例1同樣的方法來(lái)測(cè)定磁特性和機(jī)械特性。將結(jié)果示于圖4～圖6。實(shí)施例3將作為非晶金屬磁性粉末的添加有微粉末的具有粒度分布的粒徑為300μm以下的非晶金屬磁性粉末1940g、以及包含作為固化劑的雙氰胺的環(huán)氧樹脂粉末60g，利用共混器在室溫下混合10分鐘時(shí)間。將該混合物投入至捏合機(jī)中在110℃下加熱混煉12分鐘時(shí)間。將由捏合機(jī)凝集而得到的餅取出并冷卻后，用粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎，得到通過(guò)28目篩部分的粉末。接著在室溫下用模具在2t/cm2的成型壓力下進(jìn)行壓縮成型。將壓縮成型品從模具取出，在180℃的溫度下在1小時(shí)空氣氣氛中的條件下進(jìn)行熱固化，從而制造內(nèi)徑20mm、外徑30mm、高度5mm的平的圓筒狀磁性芯部件。該磁性芯部件的密度為5.12g/cm3。對(duì)得到的磁性芯部件以與實(shí)施例1同樣的方法測(cè)定磁特性和機(jī)械特性。將結(jié)果示于圖4～圖6。實(shí)施例4使用在實(shí)施例3中使用的由非晶金屬磁性粉末和環(huán)氧樹脂粉末而得到的通過(guò)28目篩部分的粉末，將磁性芯部件制成壓縮成型品時(shí)，除了將成型條件設(shè)定為溫度110℃、時(shí)間5分鐘以外，以與實(shí)施例3同樣的方式，在180℃的溫度下在1小時(shí)空氣氣氛中的條件下進(jìn)行熱固化，從而制造內(nèi)徑20mm、外徑30mm、高度5mm的平的圓筒狀的磁性芯部件。該磁性芯部件的密度為5.33g/cm3。將得到的磁性芯部件以與實(shí)施例1同樣的方法來(lái)測(cè)定磁特性和機(jī)械特性。將結(jié)果示于圖4～圖6。實(shí)施例5將粒徑為150μm以下且中值徑D50為50μm的非晶金屬磁性粉末(Fe-Si-B系非晶金屬)1960g、以及包含作為固化劑的雙氰胺的環(huán)氧樹脂粉末40g，用共混器在室溫下混合10分鐘時(shí)間。將該混合物投入至捏合機(jī)并在110℃下加熱混煉12分鐘時(shí)間。非晶金屬磁性粉末的配合比例為98質(zhì)量％。將由捏合機(jī)(kneader)凝集而得到的餅取出并冷卻后，用粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎，得到通過(guò)60目篩部分的粉末。接著在溫度110℃、時(shí)間5分鐘的條件下用模具在2t/cm2的成型壓力下進(jìn)行壓縮成型。將壓縮成型品從模具取出，在180℃的溫度下在1小時(shí)空氣氣氛中的條件下進(jìn)行熱固化，從而制造內(nèi)徑20mm、外徑30mm、高度5mm的平的圓筒狀磁性芯部件。該磁性芯部件可無(wú)破損地使用。實(shí)施例6將粒徑為150μm以下且中值徑D50為50μm的非晶金屬磁性粉末(Fe-Si-B系非晶金屬)1980g、以及包含作為固化劑的雙氰胺的環(huán)氧樹脂粉末20g，用共混器在室溫下混合10分鐘時(shí)間。將該混合物投入至捏合機(jī)并在110℃下加熱混煉12分鐘時(shí)間。非晶金屬磁性粉末的配合比例為99質(zhì)量％。將由捏合機(jī)凝集的餅取出并冷卻后，用粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎，得到通過(guò)60目篩部分的粉末。接著在溫度110℃、時(shí)間5分鐘的條件下用模具在2t/cm2的成型壓力下進(jìn)行壓縮成型。將壓縮成型品從模具取出，在180℃的溫度下在1小時(shí)空氣氣氛中的條件下進(jìn)行熱固化，得到內(nèi)徑20mm、外徑30mm、高度5mm的平的圓筒狀磁性芯部件。該磁性芯部件可無(wú)破損地使用。實(shí)施例7將對(duì)鐵素體芯進(jìn)行了插入成型的磁性芯部件的一例示于圖7。圖7(a)為平面圖，圖7(b)為正視圖，圖7(c)表示A-A截面圖。磁性芯部件1將鐵素體芯(省略圖示)在內(nèi)部插入成型。將在實(shí)施例3中使用的由非晶金屬磁性粉末和環(huán)氧樹脂粉末而得到的通過(guò)28目篩部分的粉末，投入至模具內(nèi)，接著以露出上部分的方式將鐵素體芯進(jìn)行配置，在溫度110℃、時(shí)間5分鐘、成型壓力2t/cm2的條件下進(jìn)行壓縮成型。然后，以覆蓋鐵素體芯全體的方式將在實(shí)施例3中使用的粉末投入至模具內(nèi)，在溫度110℃、時(shí)間5分鐘、成型壓力2t/cm2的條件下進(jìn)行壓縮成型。在180℃的溫度下在1小時(shí)空氣氣氛中的條件下進(jìn)行熱固化，從而制造插入成型有鐵素體芯的長(zhǎng)徑(t1)4.6mm、短徑(t2)3.06mm、高度(t3)2.36mm的片式感應(yīng)器用磁性芯部件1。在得到的片式感應(yīng)器用磁性芯部件1上卷繞27匝0.80mmφ聚酯絕緣漆包銅線，從而制造片式感應(yīng)器。使用該感應(yīng)器測(cè)定電感的頻率依賴性。將結(jié)果示于圖8。比較例1用鐵素體單品制造具有與實(shí)施例7相同形狀的磁性芯部件的片式感應(yīng)器。在與實(shí)施例7相同條件下測(cè)定電感的頻率依賴性。將結(jié)果示于圖8。比較例2通過(guò)注射成型制造與實(shí)施例7相同形狀、材料的片式感應(yīng)器。將聚苯硫醚14質(zhì)量份混合到在實(shí)施例1中使用的非晶金屬粉末100質(zhì)量份中得到注射成型用粒料，使用該粒料進(jìn)行注射成型。在與實(shí)施例7相同條件下測(cè)定電感的頻率依賴性。將結(jié)果示于圖8。實(shí)施例8除了不插入成型鐵素體芯以外，以與實(shí)施例1相同材料、方法制造與實(shí)施例7相同形狀的片式感應(yīng)器。在與實(shí)施例7相同條件下，測(cè)定電感的頻率依賴性。將結(jié)果示于圖9。實(shí)施例9除了將片式感應(yīng)器的形狀設(shè)定為與實(shí)施例7相同形狀的片式感應(yīng)器以外，以與實(shí)施例8相同材料、方法再次制造插入成型有鐵素體芯的片式感應(yīng)器用磁性芯部件。在與實(shí)施例7相同條件下測(cè)定電感的頻率依賴性。將結(jié)果示于圖9。實(shí)施例10再次制造與實(shí)施例7相同形狀、材料的片式感應(yīng)器。在與實(shí)施例7相同條件下測(cè)定電感的頻率依賴性。將結(jié)果示于圖9。以下，關(guān)于能夠得到高密度、高磁導(dǎo)率的本發(fā)明的磁性芯部件(非晶壓粉磁芯)進(jìn)行說(shuō)明。在將平均粒徑約50μm的粒徑具有正態(tài)分布狀的粒度分布的非晶金屬粉末進(jìn)行壓縮成型的情況下，即使提高壓縮成型壓力，非晶壓粉磁芯的密度極限為5.60，相對(duì)磁導(dǎo)率極限為50。另外，如果提高壓縮成型壓力，則因?yàn)榉蔷Ы饘俜勰┑牧６确植?，所以存在非常小的粒徑的粉，該小的粒徑的粉在壓縮成型時(shí)會(huì)侵入至成型模具的間隙(clearance)，從而成為引起模具破損等成型故障的原因。因?yàn)椋蔷Ы饘俜勰┚哂信c模具材料同等以上的高硬度。進(jìn)一步地，為了提高密度，如果以最密填充為目的而使用粒徑不同的非晶金屬粉末的混合粉，則難以在粉的流動(dòng)時(shí)保持粒度分布狀態(tài)而進(jìn)行運(yùn)送，存在從加料斗開始至投入模具之前粒度分布會(huì)變化很大的問(wèn)題。但是，將具有不同的平均粒徑和粒度分布的至少兩種非晶金屬粉末進(jìn)行造粒而制成二次粒子，將該二次粒子進(jìn)行壓縮成型，從而在不改變粒度分布的前提下，還可以得到以往認(rèn)為是極限的非晶壓粉磁芯的密度為5.6以上、相對(duì)磁導(dǎo)率為60以上的非晶壓粉磁芯。以下所說(shuō)明的磁性芯部件是基于這樣的認(rèn)知。另外，該認(rèn)知在將包含上述熱固性粘結(jié)樹脂的磁性芯部件中的非晶金屬粉末進(jìn)行壓縮成型時(shí)也是有效的。本發(fā)明中可使用的非晶金屬粉末為軟磁性體，如上所述，可使用鐵合金系、鈷合金系、鎳合金系、它們的混合合金系非晶金屬粉末等。作為在非晶金屬粉末的粒子表面形成絕緣包覆的氧化物，如上所述，可以列舉：Al2O3、Y2O3、MgO、ZrO2等絕緣性金屬或半金屬的氧化物、玻璃、它們的混合物。其中優(yōu)選玻璃材料。玻璃材料中，優(yōu)選低熔點(diǎn)玻璃。這是因?yàn)?，其具有低軟化溫度，熔融附著于軟磁性非晶質(zhì)合金，而能夠包覆該表面。低熔點(diǎn)玻璃只要不與非晶金屬粉末反應(yīng)，在比非晶金屬的結(jié)晶化起始溫度低的低溫、優(yōu)選約550℃以下軟化，就沒(méi)有特別的限定。舉例的話，則可使用PbO-B2O3系玻璃等鉛系玻璃、P2O5系玻璃、ZnO-BaO系玻璃、以及ZnO-B2O3-SiO2系玻璃等公知的低熔點(diǎn)玻璃。優(yōu)選作為無(wú)鉛玻璃且賦予低軟化點(diǎn)的P2O5系玻璃。舉出其一例的話，則可以使用：P2O5為60～80質(zhì)量％、Al2O3為10質(zhì)量％以下，ZnO為10～20質(zhì)量％、Li2O為10質(zhì)量％以下，Na2O為10質(zhì)量％以下的組成的玻璃。以下對(duì)于非晶金屬粉末的絕緣層制作方法的一例進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，根據(jù)需要為了提高壓縮成型體的強(qiáng)度、提高絕緣性還可以添加樹脂材料。作為用無(wú)機(jī)絕緣性材料包覆非晶金屬粉末而形成無(wú)機(jī)絕緣層的方法，如上所述，可以使用機(jī)械融合(Mechanofusion)等粉末涂覆法、非電解鍍、溶膠-凝膠法等濕式薄膜制作法、或者濺射等干式薄膜制作法等。其中，粉末涂覆法例如可以使用日本特開2001-73062號(hào)公報(bào)中記載的粉末涂覆裝置進(jìn)行。根據(jù)該方法，非晶金屬粉末與低熔點(diǎn)玻璃粉末受到強(qiáng)力的壓縮摩擦力，通過(guò)非晶金屬粉末與低熔點(diǎn)玻璃粉末的融合和玻璃粉末彼此的熔融粘接，可得到非晶金屬粉末的表面被包含低熔點(diǎn)玻璃的無(wú)機(jī)絕緣層所包覆的非晶金屬粉末。另外，絕緣了的非晶金屬粉末的組成需要設(shè)定為，無(wú)機(jī)絕緣性材料成為0.3～6重量％、余量成為非晶金屬粉末，更優(yōu)選無(wú)機(jī)絕緣性材料成為0.4～3重量％、余量成為非晶金屬粉末，進(jìn)一步優(yōu)選無(wú)機(jī)絕緣性材料成為0.4～1重量％、余量成為非晶金屬粉末。需要說(shuō)明的是，根據(jù)需要還可以添加0.1～0.5重量％的硬脂酸鋅、硬脂酸鈣等的硬脂酸鹽的潤(rùn)滑劑。另外，根據(jù)需要還可以利用溫成型、模具潤(rùn)滑成型、將它們組合的成型方法。就絕緣了的非晶金屬粉末而言，準(zhǔn)備具有不同的平均粒徑和粒度分布的至少兩種非晶金屬粉末。作為非晶金屬粉末可使用相同種類或不同種類的非晶金屬粉末。優(yōu)選為相同種類的非晶金屬粉末。將絕緣了的兩種的非晶金屬粉末的分布狀況示于圖10。圖10為分別成為正態(tài)分布的絕緣了的非晶金屬粉末的粒度分布圖。平均粒徑以峰表示。如圖10所示，優(yōu)選準(zhǔn)備在以存在比率為縱軸、以粒徑為橫軸的粒度分布圖中，具有明確不同的峰的絕緣了的非晶金屬粉末11和12。優(yōu)選準(zhǔn)備兩者互相重合的部分13至少為10％以下的兩種大小的絕緣了的非晶金屬粉末11和12。此處，10％是，在將平均粒徑大的粉末11與平均粒徑小的粉末12合計(jì)的情況下，相對(duì)于包含互相重合部分而明確不同的峰全體的面積，分布的重合范圍的面積。本發(fā)明中的平均粒徑大的非晶金屬粉末11的優(yōu)選的平均粒徑為40μm～100μm，平均粒徑小的非晶金屬粉末2的優(yōu)選的平均粒徑為1μm～10μm。另外，就非晶金屬粉末1與非晶金屬粉末12的配合比例而言，在以非晶金屬粉末1為100質(zhì)量份時(shí)，非晶金屬粉末2優(yōu)選為18質(zhì)量份～55質(zhì)量份。通過(guò)混合上述兩種粉末并造粒以制成二次粒子。作為造粒的方法，使用滾動(dòng)流動(dòng)造粒等自足造粒法、噴霧干燥等強(qiáng)制造粒法等，優(yōu)選使用滾動(dòng)流動(dòng)造粒方法進(jìn)行。將造粒后的二次粒子的狀態(tài)示于圖12。得到了在平均粒徑大的非晶金屬粉末11的周圍附著有粒徑小的非晶金屬粉末12的二次粒子。需要說(shuō)明的是，在造粒中，根據(jù)需要可以添加粘合劑而使用。粘合劑優(yōu)選使用聚乙烯醇、聚乙烯醇縮丁醛、羥丙基纖維素、羥丙基甲基纖維素。也可以為對(duì)上述各成分進(jìn)行改性后的物質(zhì)。本發(fā)明將該二次粒子填充至規(guī)定的模具而進(jìn)行壓縮成型。例如可將二次粒子粉末填充至模具內(nèi)，在規(guī)定的加壓壓力下進(jìn)行加壓成型，將成型的壓粉體進(jìn)行燒成，使樹脂燒掉而得到燒成體。需要說(shuō)明的是，需要將燒成溫度設(shè)定為比非晶金屬粉末的結(jié)晶化起始溫度低的溫度。得到的非晶壓粉磁芯成為密度為5.6，1kHz中的相對(duì)磁導(dǎo)率為60以上，優(yōu)選65以上、更優(yōu)選70以上的非晶壓粉磁芯。實(shí)施例11使用在(Fe0.97Cr0.03)76(Si0.5B0.2)22C2的非晶金屬粉末上用粉末涂覆法涂覆低熔點(diǎn)玻璃粉末(P2O5為60～80質(zhì)量％、Al2O3為10質(zhì)量％以下，ZnO為10～20質(zhì)量％、Li2O為10質(zhì)量％以下，Na2O為10質(zhì)量％以下，粒徑40μm以下)而得到的粉末。使用硬脂酸鋅作為潤(rùn)滑劑。需要說(shuō)明的是，對(duì)于Fe-Cr-Si-B-C系非晶金屬合金粉末，準(zhǔn)備通過(guò)篩將平均粒徑調(diào)節(jié)至40μm～100μm的粉末。準(zhǔn)備以同樣方式制造的粒徑不同的將Fe-Cr-Si-B-C系非晶金屬合金粉末的平均粒徑調(diào)節(jié)至1μm～10μm的粉末。相對(duì)于上述準(zhǔn)備的粒徑大的非晶金屬合金粉末100質(zhì)量份，配合粒徑小的非晶金屬合金粉末18質(zhì)量份，通過(guò)滾動(dòng)流動(dòng)造粒法造粒二次粒子。在上述二次粒子粉末100質(zhì)量份中添加硬脂酸鋅0.6質(zhì)量份，使用球磨機(jī)在溫度112℃下進(jìn)行混合，得到復(fù)合粉末。將復(fù)合粉末填充至模具后，在規(guī)定的壓力下進(jìn)行加壓成型而得到壓粉體，接著將該壓粉體在480℃下在大氣氣氛下燒成15分鐘時(shí)間，燒掉樹脂而得到燒成體(直徑10mm、內(nèi)徑5mm、厚度5mm)。由根據(jù)幾何學(xué)而測(cè)定的尺寸和重量，算出得到的非晶壓粉磁芯的密度。另外，對(duì)于磁導(dǎo)率根據(jù)JISC2561作為1kHz的磁導(dǎo)率進(jìn)行測(cè)定。將結(jié)果示于表1。實(shí)施例12相對(duì)于粒徑大的非晶金屬合金粉末100質(zhì)量份，配合粒徑小的非晶金屬合金粉末25質(zhì)量份，利用滾動(dòng)流動(dòng)造粒法，造粒二次粒子，除此以外，與實(shí)施例11同樣的得到非晶壓粉磁芯。與實(shí)施例11同樣的測(cè)定密度和磁導(dǎo)率。將結(jié)果示于表1。實(shí)施例13相對(duì)于粒徑大的非晶金屬合金粉末100質(zhì)量份，配合粒徑小的非晶金屬合金粉末45質(zhì)量份，利用滾動(dòng)流動(dòng)造粒法造粒二次粒子，除此以外，與實(shí)施例11同樣的得到非晶壓粉磁芯。與實(shí)施例11同樣的測(cè)定密度和磁導(dǎo)率。將結(jié)果示于表1。實(shí)施例14相對(duì)于粒徑大的非晶金屬合金粉末100質(zhì)量份，配合粒徑小的非晶金屬合金粉末55質(zhì)量份，利用滾動(dòng)流動(dòng)造粒法造粒二次粒子，除此以外，與實(shí)施例11同樣的得到非晶壓粉磁芯。與實(shí)施例11同樣的測(cè)定密度和磁導(dǎo)率。將結(jié)果示于表1。比較例3僅使用調(diào)節(jié)至粒徑50μm的非晶金屬合金粉末，與實(shí)施例11同樣的得到非晶壓粉磁芯。與實(shí)施例11同樣的測(cè)定密度和磁導(dǎo)率。將結(jié)果示于表1。[表1]實(shí)施例11實(shí)施例12實(shí)施例13實(shí)施例14比較例3相對(duì)磁導(dǎo)率μs.1KHz6580706552密度(g/cm3)5.675.785.765.675.40產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的磁性芯部件通過(guò)使用非晶金屬粉末能夠?qū)崿F(xiàn)磁性芯部件的小型化，因此能夠用于今后小型輕量化的電子設(shè)備中。另外，本發(fā)明的磁性芯部件(非晶壓粉磁芯)能夠提高密度和磁導(dǎo)率，因此能夠用于今后各種的電氣·電子設(shè)備。符號(hào)說(shuō)明1磁性芯部件2漆包銅線3壓粉成型磁性體和/或壓粉磁石成型體11平均粒徑大的粉末的分布12平均粒徑小的粉末的分布13重合的部分當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3