技術(shù)總結(jié)
一種電感結(jié)構(gòu)及其制作方法，電感結(jié)構(gòu)，包括：底部環(huán)狀金屬層，包括相連接的第一接口、第一金屬體層和第二接口；位于底部環(huán)狀金屬層層上方的中間金屬層，包括相連接的第三接口、第二金屬體層和第四接口，所述第二金屬體層從第三接口呈螺旋環(huán)狀延伸至第三接口，其中所述第三接口位于螺旋環(huán)內(nèi)，第三接口與第二接口電連接，第四接口作為電感結(jié)構(gòu)的輸出端；位于中間金屬層層上方的頂部環(huán)狀金屬層，包括相連接的第五接口、第三金屬體層和第六接口，所述第六接口與中間金屬層的第三接口電連接，所述第五接口與底部環(huán)狀金屬層的第一接口電連接一起作為電感結(jié)構(gòu)的輸入端。本發(fā)明的電感結(jié)構(gòu)在保證品質(zhì)因子，減小占據(jù)的面積，并保證電感電性的對稱性能。

技術(shù)研發(fā)人員：程仁豪;高金鳳;王西寧;鐘琳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
文檔號碼：201510907939
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.09
技術(shù)公布日：2017.06.16