技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及機(jī)械控制技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種在AWC系統(tǒng)中驗(yàn)證動態(tài)晶圓中心偏差位置的方法，該方法包括如下步驟，(1)機(jī)械手移動至工位上方的示教位置，利用激光跟蹤儀記錄初始的靶球位置同時(shí)記錄當(dāng)前示教盒上的關(guān)節(jié)值；(2)機(jī)械手帶動晶圓進(jìn)行平移，記錄平移后示教盒上的關(guān)節(jié)值；(3)機(jī)械手縮回，重新將晶圓抬至工位上方的示教位置，記錄新的靶球位置；(4)利用AWC功能檢測晶圓中心的偏移量；(5)建立坐標(biāo)系；(6)根據(jù)坐標(biāo)系分別計(jì)算示教盒顯示、AWC檢測和激光跟蹤儀實(shí)測的晶圓偏差結(jié)果并進(jìn)行對比。本發(fā)明解決了驗(yàn)證測試中的晶圓的平移問題，沒有額外添加儀器、設(shè)備來操作晶圓，提高了驗(yàn)證測試的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：花鵬;徐方;鄒風(fēng)山;張鋒;褚明杰;張鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司
文檔號碼：201510824753
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.24
技術(shù)公布日：2017.05.31