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一種逆導(dǎo)型絕緣柵雙極晶體管及其制作方法與流程

文檔序號:12180146閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種RC-IGBT的制作方法,其特征在于,包括:

提供一襯底,所述襯底具有漂移區(qū);

在所述襯底上表面內(nèi)形成阱區(qū);

在所述阱區(qū)內(nèi)形成源區(qū);

在所述襯底下表面內(nèi)形成集電區(qū);

形成正面電極結(jié)構(gòu)以及背面電極結(jié)構(gòu);

對所述漂移區(qū)進行載流子壽命控制,降低所述漂移區(qū)的載流子壽命。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述對所述漂移區(qū)進行載流子壽命控制為對所述襯底上表面進行電子輻照。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述電子輻照的輻照劑量大于10KGS。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,進行載流子壽命控制后的漂移區(qū)的載流子壽命時間為10ns-10000ns,包括端點值。

5.一種RC-IGBT,其特征在于,包括:

襯底,所述襯底具有漂移區(qū);

設(shè)置在所述襯底上表面內(nèi)的阱區(qū);

設(shè)置在所述阱區(qū)內(nèi)的源區(qū);

設(shè)置在所述襯底下表面內(nèi)的集電區(qū);

設(shè)置在所述襯底上表面的正面電極結(jié)構(gòu);

設(shè)置在所述襯底下表面的背面電極結(jié)構(gòu);

其中,所述漂移區(qū)為經(jīng)過電子輻照的半導(dǎo)體層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的RC-IGBT,其特征在于,所述漂移區(qū)的載流子壽命時間為10ns-10000ns,包括端點值。

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