1.一種RC-IGBT的制作方法,其特征在于,包括:
提供一襯底,所述襯底具有漂移區(qū);
在所述襯底上表面內(nèi)形成阱區(qū);
在所述阱區(qū)內(nèi)形成源區(qū);
在所述襯底下表面內(nèi)形成集電區(qū);
形成正面電極結(jié)構(gòu)以及背面電極結(jié)構(gòu);
對所述漂移區(qū)進行載流子壽命控制,降低所述漂移區(qū)的載流子壽命。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述對所述漂移區(qū)進行載流子壽命控制為對所述襯底上表面進行電子輻照。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述電子輻照的輻照劑量大于10KGS。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,進行載流子壽命控制后的漂移區(qū)的載流子壽命時間為10ns-10000ns,包括端點值。
5.一種RC-IGBT,其特征在于,包括:
襯底,所述襯底具有漂移區(qū);
設(shè)置在所述襯底上表面內(nèi)的阱區(qū);
設(shè)置在所述阱區(qū)內(nèi)的源區(qū);
設(shè)置在所述襯底下表面內(nèi)的集電區(qū);
設(shè)置在所述襯底上表面的正面電極結(jié)構(gòu);
設(shè)置在所述襯底下表面的背面電極結(jié)構(gòu);
其中,所述漂移區(qū)為經(jīng)過電子輻照的半導(dǎo)體層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的RC-IGBT,其特征在于,所述漂移區(qū)的載流子壽命時間為10ns-10000ns,包括端點值。