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半導(dǎo)體裝置及其制造方法與流程

文檔序號(hào):12160336閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種存儲(chǔ)器裝置,包括:

一基板;

多個(gè)交互疊層的半導(dǎo)體層與氧化層,設(shè)置于該基板上;

至少一貫孔,穿過(guò)這些交互疊層的半體體層與氧化層;以及

一電極層,設(shè)置于該貫孔中,

其中每個(gè)該半導(dǎo)體層包括一第一區(qū)域與一第二區(qū)域,該第一區(qū)域具有一第一導(dǎo)電型,該第二區(qū)域具有一第二導(dǎo)電型,該第二導(dǎo)電型與該第一導(dǎo)電型相反。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器裝置,更包括:

一隔離層,沿著該貫孔的周圍形成,

其中該第二區(qū)域相鄰于該隔離層,該第一區(qū)域相鄰于該第二區(qū)域且該第二區(qū)域靠近該隔離層的濃度,大于該第二區(qū)域遠(yuǎn)離該隔離層的濃度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的存儲(chǔ)器裝置,其中該隔離層包括金屬氧化物或相變化材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器裝置,更包括:

一導(dǎo)電插塞,設(shè)置于該基板;

一硬掩模,設(shè)置于這些交互疊層的半導(dǎo)體層與氧化層上,

其中該導(dǎo)電插塞電性連接該電極層,且該硬掩模包括氮化硅。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器裝置,其中該貫孔為圓形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器裝置,其中該第二區(qū)域的寬度介于20至200nm。

7.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括:

提供一基板;

交互疊層多個(gè)半導(dǎo)體層與氧化層于該基板上,其中該半導(dǎo)體層具有一第一導(dǎo)電型;

沿著垂直這些疊層的半導(dǎo)體層與氧化層表面的方向,刻蝕這些疊層的半導(dǎo)體層與氧化層,以形成至少一貫孔;

沿著平行這些疊層的半導(dǎo)體層與氧化層表面的方向,刻蝕部分這些半 導(dǎo)體層,以形成多個(gè)空間;

沉積具有第二導(dǎo)電型的半導(dǎo)體材料于這些空間內(nèi),使這些半導(dǎo)體層被區(qū)分為一第一區(qū)域與一第二區(qū)域;以及

沉積一導(dǎo)電層于該貫孔內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法,更包括:

沿著該貫孔的周圍形成一隔離層,

其中該第二區(qū)域相鄰于該隔離層,該第一區(qū)域相鄰于該第二區(qū)域且該第二區(qū)域靠近該隔離層的濃度,大于該第二區(qū)域遠(yuǎn)離該隔離層的濃度。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法,更包括:

形成一導(dǎo)電插塞于該基板,

其中該導(dǎo)電插塞電性連接該電極層。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法,更包括:

形成一硬掩模于這些交互疊層的半導(dǎo)體層與氧化層上,

其中該硬掩模包括氮化硅。

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