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半導(dǎo)體裝置的制作方法

文檔序號(hào):12274952閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述半導(dǎo)體裝置具有電極配線,所述電極配線構(gòu)成為金屬材料和半導(dǎo)體材料在電流的流通方向上相互平行連接;

其中,通過(guò)將在溫度上升時(shí)的所述金屬材料的電阻值上升量和所述半導(dǎo)體材料的電阻值下降量相加,所述電極配線在溫度上升時(shí)的電阻值變化被減少。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,在所述半導(dǎo)體材料和所述金屬材料相接的部分形成有金屬間化合物層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述金屬間化合物層的厚度在3μm以下。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料是硅單晶。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料是多晶硅。

6.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述半導(dǎo)體裝置具有電極配線,所述電極配線構(gòu)成為金屬材料和半導(dǎo)體材料在電流的流通方向上相互平行連接;

其中,通過(guò)將在溫度上升時(shí)的所述金屬材料的電阻值上升量和所述半導(dǎo)體材料的電阻值下降量相加,所述電極配線在溫度上升時(shí)的電阻值變化被減少;

并且所述金屬材料包覆所述半導(dǎo)體材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電極配線,其特征在于,在所述半導(dǎo)體材料和所述金屬材料相接的部分形成有金屬間化合物層。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電極配線,其特征在于,所述金屬間化合物層的厚度在3μm以下。

9.根據(jù)權(quán)利要求6至8任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料是硅單晶。

10.根據(jù)權(quán)利要求6至8任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料是多晶硅。

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