技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種功率器件及其制造方法，所述功率器件包括外延層，所述外延層具有截止環(huán)區(qū)域，在所述外延層的截止環(huán)區(qū)域形成有多個相間隔的截止環(huán)。通過設(shè)置多個截止環(huán)，當(dāng)耗盡層電場過強(qiáng)時，如果有一個截止環(huán)被擊穿，其他截止環(huán)還可以起到終止電場的作用，這樣即使截止環(huán)與分壓區(qū)域的距離較小，也能滿足要求；能夠使得功率器件的面積大大減小，提高了功率器件的利用率，而且生產(chǎn)過程中受生產(chǎn)條件影響較小。

技術(shù)研發(fā)人員：李理;馬萬里;趙圣哲
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北大方正集團(tuán)有限公司;深圳方正微電子有限公司
文檔號碼：201510363168
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.26
技術(shù)公布日：2017.01.11