技術(shù)編號:12613930
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種功率器件及其制造方法。背景技術(shù)功率器件的最重要性能就是阻斷高壓,在功率器的MOS界面的耗盡層上承受高壓,隨著外加電壓的增大,耗盡層的電場強(qiáng)度也會增大,最終超過功率器件極限出現(xiàn)雪崩擊穿。在器件邊緣耗盡區(qū)電場曲率增大,會導(dǎo)致電場強(qiáng)度比管芯內(nèi)部大。在電壓升高的過程中管芯邊緣會早于管芯內(nèi)部出現(xiàn)雪崩擊穿,為了最大化器件的性能,需要在器件邊緣設(shè)計(jì)分壓結(jié)構(gòu),減少有源區(qū)邊緣PN結(jié)的曲率,使耗盡層橫向延伸,以增強(qiáng)器件水平方向的耐壓能力,使器件的邊緣和內(nèi)部同時(shí)發(fā)生擊穿。截止環(huán)在分壓區(qū)域和劃片槽區(qū)域之間...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。