技術(shù)總結(jié)
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例,提供了一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)。該半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括:襯底;第一納米線,位于襯底上方;以及第二納米線,位于襯底上方并與第一納米線基本對稱。根據(jù)本發(fā)明的實施例,還提供了一種形成納米線的方法。
技術(shù)研發(fā)人員:黃玉蓮;李泳達;陳孟谷
受保護的技術(shù)使用者:臺灣積體電路制造股份有限公司
文檔號碼:201510256037
技術(shù)研發(fā)日:2015.05.19
技術(shù)公布日:2016.12.07