技術(shù)編號(hào):11955540
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,更具體地,涉及全環(huán)柵(GAA)晶體管。背景技術(shù)諸如全環(huán)柵(GAA)晶體管的半導(dǎo)體器件是半導(dǎo)體工業(yè)的新興研究領(lǐng)域。然而,由于技術(shù)的限制,在器件大小方面存在挑戰(zhàn)。因此,需要改善上述缺點(diǎn)。發(fā)明內(nèi)容根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,提供了一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),包括:襯底;第一納米線,位于襯底上方;以及第二納米線,位于襯底上方并且與第一納米線基本對(duì)稱。優(yōu)選地,第一納米線和第二納米線均具有相同的尺寸。優(yōu)選地,第一納米線和第二納米線均具有相同的截面形狀,截面形狀為正方形、矩形和三角形中的至少一種。優(yōu)選...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。