1.一種顯示裝置,其包含:
薄膜晶體管結(jié)構(gòu),且該薄膜晶體管結(jié)構(gòu)包括溝道層,其中該溝道層包括第一金屬氧化物半導(dǎo)體層,且該第一金屬氧化物半導(dǎo)體層的組成包含(1)錫與(2)鎵、鉿和鋁中的至少一種。
2.如權(quán)利要求1所述的顯示裝置,其還包含:
基板;
柵極,其位于該基板上;
柵極絕緣層,其位于該基板與該柵極上,
該溝道層位于該柵極絕緣層上并與該柵極對應(yīng);以及
源極和漏極,其分別接觸該溝道層的兩側(cè)并延伸至該柵極絕緣層上。
3.如權(quán)利要求1所述的顯示裝置,其中該第一金屬氧化物半導(dǎo)體層為銦鎵鋅錫氧化物(IGZTO)。
4.如權(quán)利要求3所述的顯示裝置,其中在銦鎵鋅錫氧化物(IGZTO)中,錫與銦的原子比例為1:1至1:1.5,錫與鎵的原子比例為1:2至1:2.5,錫與鋅的原子比例為1:3至1:4,且錫與氧的原子比例為1:7至1:10。
5.如權(quán)利要求3所述的顯示裝置,其中在銦鎵鋅錫氧化物(IGZTO)中,錫與銦的原子比例為1:1.2至1:1.4,錫與鎵的原子比例為1:2.1至1:2.3,錫與鋅的原子比例為1:3.3至1:3.6,且錫與氧的原子比例為1:8至1:9.5。
6.如權(quán)利要求1所述的顯示裝置,其中該溝道層還包括第二金屬氧化物半導(dǎo)體層,其介于該第一金屬氧化物半導(dǎo)體層與該柵極絕緣層之間。
7.如權(quán)利要求6所述的顯示裝置,其中該第二金屬氧化物半導(dǎo)體層的組成包含鎵、鉿和鋁中的至少一種。
8.如權(quán)利要求7所述的顯示裝置,其中該第二金屬氧化物半導(dǎo)體層包括銦鎵鋅氧化物(IGZO)。
9.如權(quán)利要求6所述的顯示裝置,其中該第二金屬氧化物半導(dǎo)體層的組成不含鎵、鉿、或鋁。
10.如權(quán)利要求9所述的顯示裝置,其中該第二金屬氧化物半導(dǎo)體層包括銦錫氧化物(ITO)或銦鋅氧化物(IZO)。
11.如權(quán)利要求1所述的顯示裝置,其中該源極和該漏極的組成含鋁、銅、或鈦。
12.如權(quán)利要求1所述的顯示裝置,其中該源極和該漏極為Mo/Al/Mo的三層結(jié)構(gòu)、Cu/Ti的雙層結(jié)構(gòu)、Cu/Mo的雙層結(jié)構(gòu)、Al/Ti的雙層結(jié)構(gòu)、或Cu/Ti的雙層結(jié)構(gòu)。