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非對稱源極/漏極深度的制作方法

文檔序號:11836634閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體器件,包括:

松弛的半導(dǎo)體層,位于襯底上,所述襯底包括n型區(qū)和p型區(qū);

拉伸應(yīng)變的半導(dǎo)體層,位于所述松弛的半導(dǎo)體層上;

壓縮應(yīng)變的半導(dǎo)體層,位于所述p型區(qū)中的所述拉伸應(yīng)變的半導(dǎo)體層上;

第一柵極和第二柵極,所述第一柵極位于所述n型區(qū)中并且所述第二柵極位于所述p型區(qū)中;以及

第一組源極/漏極部件和第二組源極/漏極部件,所述第一組源極/漏極部件鄰近所述第一柵極并且所述第二組源極/漏極部件鄰近所述第二柵極,所述第二組源極/漏極部件比所述第一組源極/漏極部件更深。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,還包括:隔離結(jié)構(gòu),位于所述p型區(qū)和所述n型區(qū)之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,所述第一組源極/漏極部件之間的溝道長度大于所述第二組源極/漏極部件之間的溝道長度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,所述第一組源極/漏極部件在面向所述第一組源極/漏極部件之間的溝道的側(cè)部上具有圓形輪廓。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,所述第二組源極/漏極部件包括上部和下部,所述上部包括尖端形輪廓并且所述下部包括筆直輪廓。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,所述拉伸應(yīng)變的半導(dǎo)體層的晶格常數(shù)小于所述松弛的半導(dǎo)體層的晶格常數(shù)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,所述壓縮應(yīng)變的半導(dǎo)體層的晶格常數(shù)大于所述松弛的半導(dǎo)體層的晶格常數(shù)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,所述第一組源極/漏極部件的晶格常數(shù)小于所述拉伸應(yīng)變的半導(dǎo)體層的晶格常數(shù)。

9.一種半導(dǎo)體器件,包括:

襯底,具有第一區(qū)和第二區(qū);

n型晶體管,位于所述第一區(qū)中,所述n型晶體管包括第一組源極/漏極部件;以及

p型晶體管,位于所述第二區(qū)中,所述p型晶體管包括第二組源極/漏極部件;

其中,所述第二組源極/漏極部件比所述第一組源極/漏極部件延伸得更深。

10.一種制造半導(dǎo)體器件的方法,所述方法包括:

在襯底上形成松弛的半導(dǎo)體層,所述襯底包括n型區(qū)和p型區(qū);

在所述松弛的半導(dǎo)體層上形成拉伸應(yīng)變的半導(dǎo)體層;

蝕刻位于所述p型區(qū)中的所述拉伸應(yīng)變的半導(dǎo)體層的部分;

在所述p型區(qū)中的所述拉伸應(yīng)變的半導(dǎo)體層上形成壓縮應(yīng)變的半導(dǎo)體層;

形成位于所述n型區(qū)中的第一柵極和位于所述p型區(qū)中的第二柵極;以及

形成鄰近所述第一柵極的第一組源極/漏極部件和鄰近所述第二柵極的第二組源極/漏極部件,所述第二組源極/漏極部件比所述第一組源極/漏極部件更深。

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