本發(fā)明的實(shí)施例涉及一種裝置及方法，尤其涉及一種顯示裝置的制造裝置及顯示裝置的制造方法。

背景技術(shù)：

基于移動(dòng)性的電子設(shè)備得到廣泛的應(yīng)用。作為移動(dòng)用電子設(shè)備，除了廣泛使用移動(dòng)電話之類的小型電子設(shè)備之外，最近還廣泛使用平板電腦。

為了支持多種多樣的功能，這樣的移動(dòng)型電子設(shè)備包括顯示部以將圖片或影像之類的視覺信息提供給用戶。近來，隨著用于驅(qū)動(dòng)顯示部的其他部件的小型化，顯示部在電子設(shè)備中所占的比重表現(xiàn)出逐漸增加的趨勢(shì)，且在平整的狀態(tài)下可彎曲為具有預(yù)定角度的結(jié)構(gòu)也正在開發(fā)中。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的實(shí)施例提供一種顯示裝置的制造裝置及顯示裝置的制造方法。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例公開一種顯示裝置的制造裝置，包括：汽化器，形成為一側(cè)開口；透光部，結(jié)合于所述汽化器的開口的部分或者下部，并由透明的材料構(gòu)成；紅外線加熱器，布置于所述透光部的外部而向所述汽化器內(nèi)部照射光；有機(jī)物噴射單元，設(shè)置于所述汽化器而向所述汽化器內(nèi)部噴射有機(jī)物。

在本實(shí)施例中，所述顯示裝置的制造裝置還可以包括：冷卻塊，設(shè)置于所述有機(jī)物噴射單元與所述汽化器之間而冷卻所述有機(jī)物噴射單元。

在本實(shí)施例中，所述顯示裝置的制造裝置還可以包括：吸熱層，形成于所述透光部的內(nèi)側(cè)面。

在本實(shí)施例中，所述吸熱層可包括氧化銦錫(Indiumtinoxide；ITO)、氧化銦鋅(Indium zinc oxide；IZO)、摻鋁氧化鋅(Alumnium doped ZnO；AZO)、氧化銦鎵(Indium Gallium Oxide)以及氧化銀(AgO)中的至少一個(gè)。

在本實(shí)施例中，所述顯示裝置的制造裝置還可以包括：密封部，設(shè)置于 所述透光部與所述汽化器接觸的部分，以密封所述透光部與所述汽化器之間的縫隙。

在本實(shí)施例中，所述汽化器的內(nèi)部得到陽極化處理(Anodizing)。

在本實(shí)施例中，所述顯示裝置的制造裝置還可以包括：隔熱部，形成為包覆所述汽化器、所述透光部、以及所述紅外線加熱器。

在本實(shí)施例中，所述隔熱部可具有：散熱部，阻斷向外部釋放的熱量。

在本實(shí)施例中，所述隔熱部還可以具有：冷卻部，設(shè)置為插入于所述散熱部的內(nèi)部，或者設(shè)置于與外界氣體接觸的所述散熱部的外面。

在本實(shí)施例中，所述隔熱部還可以具有：絕熱部件，設(shè)置為包覆所述散熱部。

在本實(shí)施例中，所述顯示裝置的制造裝置還可以包括：有機(jī)物引導(dǎo)部，連接于所述汽化器而將所述有機(jī)物向外部引導(dǎo)而噴射。

在本實(shí)施例中，所述顯示裝置的制造裝置還可以包括：傳感器部，布置于所述汽化器的內(nèi)部而測定所述汽化器內(nèi)部的溫度；控制部，根據(jù)由所述傳感器部測定的溫度而控制所述紅外線加熱器。

本發(fā)明的另一實(shí)施例提供一種顯示裝置的制造方法，用于在顯示部層疊有機(jī)層以封裝形成于基板上的顯示部，包括如下步驟：通過有機(jī)物噴射單元而將有機(jī)物噴射到汽化器的內(nèi)部；利用所述汽化器的外部的紅外線加熱器而使所述汽化器的內(nèi)部的有機(jī)物被加熱升華；將升華的所述有機(jī)物蒸鍍于基板而形成所述有機(jī)層。

在本實(shí)施例中，所述汽化器的內(nèi)表面可得到陽極化處理。

在本實(shí)施例中，所述汽化器的下面可由透明材料的透光部形成，以使所述紅外線加熱器所釋放的熱能通過。

在本實(shí)施例中，可將散熱部設(shè)置為包覆所述汽化器的外表面。

在本實(shí)施例中，所述顯示裝置的制造方法還可以包括如下步驟：測定所述汽化器的內(nèi)部溫度，并根據(jù)所述汽化器的內(nèi)部溫度而控制所述紅外線加熱器的運(yùn)行。

在本實(shí)施例中，當(dāng)所述汽化器的內(nèi)部的溫度為已設(shè)定的溫度以上時(shí)，可中斷所述紅外線加熱器的運(yùn)行，或者減少由所述紅外線加熱器產(chǎn)生的熱能。

在本實(shí)施例中，當(dāng)所述汽化器的內(nèi)部的溫度小于已設(shè)定的溫度時(shí)，運(yùn)行所述紅外線加熱器，或者增加由所述紅外線加熱器產(chǎn)生的熱能。

除了前述的內(nèi)容以外的本發(fā)明的其他側(cè)面、特征、優(yōu)點(diǎn)可從附圖、權(quán)利要求書以及發(fā)明的詳細(xì)說明中明確了解。

這樣的普遍而具體的方面可通過應(yīng)用系統(tǒng)、方法、計(jì)算機(jī)程序或者某些系統(tǒng)、方法、計(jì)算機(jī)程序的組合而實(shí)施。

關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施例的顯示裝置的制造裝置及顯示裝置的制造方法可確保作業(yè)的可連續(xù)性。

附圖說明

圖1為表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的顯示裝置的制造裝置的概念圖。

圖2為表示圖1所示顯示裝置的制造裝置的控制流程的模塊圖。

圖3為表示利用圖1所示顯示裝置的制造裝置而制造的顯示裝置的剖面圖。

符號(hào)說明：

100：顯示裝置的制造裝置 111：有機(jī)物噴射單元

112：冷卻塊 120：有機(jī)物引導(dǎo)部

121：有機(jī)物引導(dǎo)配管 122：有機(jī)物噴嘴部

130：汽化器 140a：吸熱層

140：透光部 150：紅外線加熱器

160：密封部 170：傳感器部

180：隔熱部 181：散熱部

182：冷卻部 183：絕熱部件

190：控制部 200：顯示裝置

210：基板

具體實(shí)施方式

本發(fā)明可施加多樣的變換，并可具有多種實(shí)施例，旨在將特定實(shí)施例舉例示于附圖，并在具體說明中詳細(xì)說明。參照結(jié)合附圖而詳細(xì)后述的實(shí)施例就會(huì)明白本發(fā)明的效果、特征以及達(dá)到目的的方法。然而本發(fā)明并不局限于以下披露的實(shí)施例，而是可以實(shí)現(xiàn)為多樣的形態(tài)。

以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施例，在參照附圖而說明時(shí)，對(duì)于相同或?qū)?yīng)的構(gòu)成要素賦予相同的附圖標(biāo)記，并省略與之相關(guān)的重復(fù)說明。

在以下的實(shí)施例中，第一、第二等術(shù)語并不是限定性含義，而是為了將一個(gè)構(gòu)成要素與其他構(gòu)成要素區(qū)分而使用。

在以下的實(shí)施例中，只要不是上下文中表示明確不同的含義，則單數(shù)的表述包括復(fù)數(shù)的表述。

在以下的實(shí)施例中，“包括”或“具有”等術(shù)語表示說明書中記載的特征或構(gòu)成要素的存在，其并非預(yù)先排除一個(gè)以上的其他特征或構(gòu)成要素附加的可能性。

在以下的實(shí)施例中，記載為所謂的膜、區(qū)域、構(gòu)成要素等部分位于其他部分上方或者上面時(shí)，不僅包括緊鄰其他部分而位于上方的情形，而且還包括其間夾設(shè)有其他膜、區(qū)域、構(gòu)成要素等的情形。

在附圖中，為了便于說明，構(gòu)成要素的大小可被夸張或縮小。例如，為了便于說明而將圖中所示的各個(gè)構(gòu)造的大小和厚度任意表示，本發(fā)明并非一定要局限于圖示情形。

在某個(gè)實(shí)施例可不同地實(shí)現(xiàn)的情況下，特定的工序順序也可以與所記載的順序不同地執(zhí)行。例如，連續(xù)說明的兩個(gè)工序可實(shí)質(zhì)上同時(shí)執(zhí)行，且還可以按相反于所記載的順序的順序進(jìn)行。

圖1為表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的顯示裝置的制造裝置的概念圖。圖2為表示圖1所示顯示裝置的制造裝置的控制流程的模塊圖。

參照?qǐng)D1和圖2，顯示裝置的制造裝置100可包括汽化器130、透光部140、紅外線加熱器150、有機(jī)物噴射單元111、冷卻塊112、吸熱層140a、密封部件160、隔熱部180、有機(jī)物引導(dǎo)部120、傳感器部170以及控制部190。

汽化器130可形成為一側(cè)開口。在此，汽化器130可由金屬材料形成。尤其，汽化器130可由鋁形成。

如上所述的汽化器130的內(nèi)部可被陽極化處理(Anodizing)。例如，作為一個(gè)實(shí)施例，汽化器130的內(nèi)表面本身可被陽極化處理。作為另一實(shí)施例，還可在汽化器130內(nèi)部設(shè)置表面被陽極化處理的專門的貼附部件(未圖示)。以下，為了便于說明，以汽化器130的內(nèi)表面本身被陽極化處理的情形為中心而詳細(xì)說明。

如上所述地將汽化器130的內(nèi)表面本身進(jìn)行陽極化處理的情況下，汽化器130的內(nèi)表面可被陽極化處理為鋁合金。例如，所述鋁合金可包括如下鋁合金中的至少一種：包含鋁和銅的鋁合金；包含鋁、鎂以及硅的鋁合金；包 含鋁、鎂、鋅以及銅的鋁合金。

將如上所述的鋁合金在汽化器130的內(nèi)表面進(jìn)行陽極化處理的方法可使用多種多樣的方法。作為一個(gè)實(shí)施例可使用硫酸法，通過硫酸法得到陽極化處理的鋁合金可變質(zhì)為黑色或褐色之類的顏色。于是，可有效地吸收由紅外線加熱器150發(fā)射的熱能。

透光部140可由透明的材料形成。例如，透光部140可包括鋼化玻璃、石英(Quartz)等。于是，透光部140可以使作為由紅外線加熱器150產(chǎn)生的熱能的光透過。

透光部140可設(shè)置于汽化器130的開口部。在此，透光部140與汽化器130之間可設(shè)置密封部160，從而防止汽化器130內(nèi)部的高壓氣體向外部流出。尤其，密封部160可以以環(huán)狀形成，并可設(shè)置于透光部140與汽化器130之間。

透光部140可形成有吸熱層140a。吸熱層140a可吸收由紅外線加熱器150產(chǎn)生并透過透光部140的熱能的一部分。在此，吸熱層140a可包括氧化銦錫(Indiumtinoxide；ITO)、氧化銦鋅(Indium zinc oxide；IZO)、摻鋁氧化鋅(Alumnium doped ZnO；AZO)、氧化銦鎵(Indium Gallium Oxide)以及氧化銀(AgO)中的至少一個(gè)。吸熱層140a并不局限于上述物質(zhì)，其可包括在顯示裝置技術(shù)領(lǐng)域中可用為透明電極的所有物質(zhì)。

紅外線加熱器150可通過透光部140而向汽化器130內(nèi)部供應(yīng)紅外線。在此，紅外線加熱器150可具有鹵素?zé)?未標(biāo)出)。尤其，紅外線加熱器150可供應(yīng)紅外線形態(tài)的光，從而可以迅速加熱汽化器130內(nèi)部的溫度。

另外，有機(jī)物噴射單元111通過超聲波而振動(dòng)，從而可將從外部供應(yīng)的有機(jī)物噴灑到汽化器130內(nèi)部。在此，有機(jī)物噴射單元111與普通的超聲波噴嘴(USN；Ultra sonic nozzle)相同或類似，因此省略其詳細(xì)說明。

冷卻塊112設(shè)置于有機(jī)物噴射單元111與汽化器130之間而可以防止有機(jī)物噴射單元111的溫度上升。具體而言，在由有機(jī)物噴射單元111通過超聲波而噴灑有機(jī)物的情況下，由于振動(dòng)或共振等而可能在有機(jī)物噴射單元111中產(chǎn)生熱量。此時(shí)，如上所述的熱量不僅降低有機(jī)物噴射單元111的性能，而且還可能縮短有機(jī)物噴射單元111的壽命。因此，為了解決如上所述的問題，冷卻塊112使冷卻水從外部循環(huán)，從而可將有機(jī)物噴射單元111中產(chǎn)生的熱量以熱交換方式除去。

隔熱部180可設(shè)置為包覆汽化器130、透光部140以及紅外線加熱器150。此時(shí)，隔熱部180可防止紅外線加熱器150和汽化器130內(nèi)部的熱量釋放到外部。

隔熱部180可具有散熱部181、冷卻部182以及絕熱部件183。此時(shí)，散熱部181可以由金屬材料形成。并且，散熱部181的內(nèi)部可鏡面處理為如同鏡面。于是，散熱部181不讓紅外線加熱器150所產(chǎn)生的光泄漏到外部，即散熱部181的鏡面處理的內(nèi)表面將汽化器130內(nèi)部的光予以反射而截留汽化器130內(nèi)部的熱量中的一部分，由此可以阻斷汽化器130內(nèi)部的熱量中的一部分釋放到外部。

作為一個(gè)實(shí)施例，冷卻部182可布置于散熱部181的內(nèi)部。此時(shí)，冷卻部182可以是插入到散熱部181的內(nèi)部的冷卻水流動(dòng)配管(未圖示)形態(tài)。于是，從外部流入的冷卻水進(jìn)行循環(huán)，從而可通過與散熱部181之間的熱交換而向外部釋放熱量。

作為另一實(shí)施例，可將冷卻部182設(shè)置為包覆散熱部181的外面。此時(shí)，冷卻部182使冷卻水循環(huán)于冷卻板(未圖示)以仿效冷卻塊，從而可吸收散熱部181的熱量而排出到外部。具體而言，散熱部181的內(nèi)表面由于被鏡面處理而能夠?qū)⑵?30內(nèi)部的熱量中的一部分進(jìn)行反射，由此阻止汽化器130內(nèi)部的熱量中的一部分的排出。此時(shí)，由于散熱部181由金屬材料形成，因此可能會(huì)吸收一部分熱量而引起散熱部181的溫度上升。因此，為了解決這一問題，在散熱部181的外表面設(shè)置冷卻部182而防止散熱部181的溫度上升。以下，為了便于說明，以冷卻部182設(shè)置為包覆散熱部181的外面的情形為中心進(jìn)行詳細(xì)說明。

絕熱部件183可設(shè)置為包覆散熱部181的外面或包覆冷卻部182的外面。此時(shí)，絕熱部件183可阻斷散熱部181的熱量傳遞到外部。

有機(jī)物引導(dǎo)部120連接于汽化器130，從而可將在汽化器130內(nèi)部升華的有機(jī)物引導(dǎo)向外部。有機(jī)物引導(dǎo)部120可具有：有機(jī)物引導(dǎo)配管121，與汽化器130連接；有機(jī)物噴嘴部122，連接于有機(jī)物引導(dǎo)配管121而噴射有機(jī)物。此時(shí)，有機(jī)物噴嘴部122可將有機(jī)物噴射到蒸鍍有機(jī)物的腔室(未圖示)內(nèi)部。

另外，傳感器部170可設(shè)置于汽化器130內(nèi)部。此時(shí)，傳感器部170可以是熱電偶(Thermocoupler)形態(tài)。傳感器部170可通過測定汽化器130內(nèi) 部的溫度而向控制部190傳遞汽化器130內(nèi)部的溫度。

控制部190可控制顯示裝置的制造裝置100。此時(shí)，控制部190可具有設(shè)置于顯示裝置的制造裝置100內(nèi)部的電路基板或者設(shè)置于外部的個(gè)人電腦、筆記本電腦、便攜式終端、手機(jī)等。

控制部190可將由傳感器部170測定的汽化器130內(nèi)部的溫度作為根據(jù)而控制紅外線加熱器150。于是，控制部190可將汽化器130內(nèi)部的溫度維持為預(yù)定值或設(shè)定值。

另外，當(dāng)觀察如上所述的顯示裝置的制造裝置100的操作時(shí)，首先可通過外部的有機(jī)物供應(yīng)裝置(未圖示)而將有機(jī)物供應(yīng)到有機(jī)物噴射單元111。

控制部190可通過運(yùn)行有機(jī)物噴射單元111而將有機(jī)物噴灑到汽化器130內(nèi)部。然后，控制部190可通過運(yùn)行紅外線加熱器150而將汽化器130內(nèi)部的溫度加熱至已設(shè)定的溫度。

此時(shí)，傳感器部170可感測汽化器130內(nèi)部的溫度而反饋給控制部190?？刂撇?90可根據(jù)由傳感器部170測定的汽化器130內(nèi)部的溫度而控制紅外線加熱器150的運(yùn)行。例如，當(dāng)傳感器部170所測定的汽化器130內(nèi)部的溫度為已設(shè)定的溫度以上時(shí)，控制部190可將紅外線加熱器150控制為中斷紅外線加熱器150的運(yùn)行或者減少紅外線加熱器150所釋放的熱能。相反，當(dāng)傳感器部170所測定的汽化器130內(nèi)部的溫度小于已設(shè)定的溫度時(shí)，控制部190可將紅外線加熱器150控制為運(yùn)行紅外線加熱器150或者增加紅外線加熱器150所釋放的熱量。然后，控制部190持續(xù)比較由傳感器部170測定的汽化器130內(nèi)部的溫度與已設(shè)定的溫度，從而可繼續(xù)控制紅外線加熱器150以使汽化器130內(nèi)部的溫度維持為與已設(shè)定的溫度相同。

作為另一實(shí)施例，在紅外線加熱器150為多個(gè)的情況下，控制部190可將多個(gè)紅外線加熱器150中的至少一個(gè)用如上所述的方法控制，從而使汽化器130內(nèi)部的溫度維持為與已設(shè)定的溫度相同。

當(dāng)紅外線加熱器150如上所述地運(yùn)行時(shí)，由紅外線加熱器150釋放的作為熱能的光可通過透光部140而發(fā)射到汽化器130內(nèi)部。此時(shí)，吸熱層140a可吸收由紅外線加熱器150發(fā)射的光的一部分而得到加熱。并且，汽化器130的內(nèi)表面被陽極化處理，從而反射由紅外線加熱器150發(fā)射的光，從而可以均勻加熱汽化器130內(nèi)部。因此，對(duì)于上述情形而言，汽化器130內(nèi)部的溫度可迅速上升。

在汽化器130內(nèi)部的溫度如上所述地上升的情況下，汽化器130內(nèi)部的有機(jī)物升華而可沿著有機(jī)物引導(dǎo)部120而移動(dòng)到所述腔室。尤其，有機(jī)物可沿著有機(jī)物引導(dǎo)配管121而通過有機(jī)物噴嘴部122噴射到所述腔室內(nèi)部。此時(shí)，所述腔室可維持為真空狀態(tài)，且噴射到所述腔室的有機(jī)物可蒸鍍于基板210而形成薄膜T。

于是，顯示裝置的制造裝置100可以使汽化器130內(nèi)部的溫度迅速上升。

具體而言，對(duì)于通常的用于形成有機(jī)層的顯示裝置的制造裝置而言，可使用加熱式加熱器對(duì)汽化器進(jìn)行加熱，從而使有機(jī)物升華。此時(shí)，加熱式加熱器被設(shè)置于汽化器的外面，并局部設(shè)置，于是汽化器內(nèi)部的溫度可能不夠均勻并可能產(chǎn)生溫度差。尤其，布置有加熱器的部分的汽化器表面容易被加熱而其他部分卻遲緩地加熱，于是在布置有加熱器的部分的汽化器表面可能會(huì)發(fā)生有機(jī)物的熱損傷，或者在未布置加熱器的部分出現(xiàn)有機(jī)物的冷凝。不僅如此，可能在冷卻塊與汽化器之間使有機(jī)物冷凝，從而可能產(chǎn)生殘留物或雜質(zhì)。此時(shí)，普通的顯示裝置的制造裝置將會(huì)導(dǎo)致運(yùn)轉(zhuǎn)率降低或壽命縮短，并可能產(chǎn)生顆粒而使性能下降。

然而，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的顯示裝置的制造裝置100和顯示裝置的制造方法卻通過紅外線加熱器150而直接加熱汽化器130內(nèi)部，并可均勻地維持汽化器130內(nèi)部的溫度。不僅如此，顯示裝置的制造裝置100和顯示裝置的制造方法可通過紅外線加熱器150而迅速加熱汽化器130內(nèi)部。

因此，顯示裝置的制造裝置100和顯示裝置的制造方法不僅可消除汽化器130內(nèi)部的污染，而且還可以增加汽化器130的連續(xù)運(yùn)行時(shí)間，從而可以提高生產(chǎn)性。

不僅如此，顯示裝置的制造裝置100和顯示裝置的制造方法還可以均勻地維持汽化器130內(nèi)部的溫度，從而可以防止汽化器130內(nèi)部出現(xiàn)的有機(jī)物的冷凝現(xiàn)象以及有機(jī)物的熱損傷，由此可以減少汽化器130內(nèi)部的顆粒的出現(xiàn)。

圖3為表示利用圖1所示的顯示裝置的制造裝置制造的顯示裝置的剖面圖。

參考圖3，顯示裝置200可包括基板210和顯示部(未標(biāo)出)。并且，顯示裝置200可包括形成于所述顯示部上部的薄膜封裝層E或封裝基板(未圖示)。此時(shí)，所述封裝基板可以與普通的顯示裝置所使用的封裝基板相同或者 相似，因此省略詳細(xì)說明。而且，為了便于說明，以下以顯示裝置200包括薄膜封裝層E的情形為中心進(jìn)行詳細(xì)說明。

基板210上可形成所述顯示部。此時(shí)，所述顯示部具有薄膜晶體管(TFT)，并形成鈍化膜270以將其覆蓋，且在該鈍化膜270上可形成有機(jī)發(fā)光元件280。

此時(shí)，基板210可使用玻璃材料，然而并不局限于此，也可以使用塑料材質(zhì)，且還可以使用SUS、Ti之類的金屬材料。并且，基板210可使用聚酰亞胺(PI；Polyimide)。以下，為了便于說明，以基板210由玻璃材料形成的情形為例進(jìn)行詳細(xì)說明。

基板210的上面還形成由有機(jī)化合物和/或無機(jī)化合物構(gòu)成的緩沖層220，其可由SiO_x(x≥1)或SiN_x(x≥1)形成。

該緩沖層220上形成按預(yù)定的圖案排列的活性層230，然后活性層230被柵絕緣層240所埋設(shè)。活性層230具有源極區(qū)域231和漏極區(qū)域233，并在其間還包括溝道區(qū)域232。

這樣的活性層230可形成為含有多種多樣的物質(zhì)。例如，活性層230可含有非晶態(tài)硅或結(jié)晶態(tài)硅之類的無機(jī)半導(dǎo)體物質(zhì)。作為另一例，活性層230可含有氧化物半導(dǎo)體。作為又一例，活性層230可包含有機(jī)半導(dǎo)體物質(zhì)。然而，以下只是為了便于說明而以活性層230由非晶態(tài)硅形成的情形為中心進(jìn)行詳細(xì)說明。

可在緩沖層220上形成非晶態(tài)硅膜之后將其結(jié)晶化而形成多晶態(tài)硅膜，并對(duì)該多晶態(tài)硅膜進(jìn)行圖案化而形成這樣的活性層230。根據(jù)驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管(未圖示)、切換薄膜晶體管(未圖示)等薄膜晶體管種類，所述活性層230的源極區(qū)域231和漏極區(qū)域233被雜質(zhì)所摻雜。

柵絕緣層240的上面形成有與活性層230對(duì)應(yīng)的柵極250以及用于將其埋設(shè)的層間絕緣層260。

另外，在層間絕緣層260和柵絕緣層240形成接觸孔H1，然后在層間絕緣層260上將源極271和漏極272形成為分別接觸于源極區(qū)域231和漏極區(qū)域233。

這樣形成的薄膜晶體管的上部形成鈍化膜270，且該鈍化膜270上部形成有機(jī)發(fā)光元件(OLED)280的像素電極281。該像素電極281通過形成于鈍化膜270的通孔H2而接觸于薄膜晶體管的漏極272。所述鈍化膜270可由無機(jī)物和/或有機(jī)物形成，并可形成為單層或雙層以上，其上表面可由平整化 膜形成以與下部膜的彎曲無關(guān)地呈現(xiàn)平整，相反地，也可以根據(jù)位于下部的膜的彎曲而形成為呈現(xiàn)彎曲。另外，為了達(dá)到共振效果，該鈍化膜270優(yōu)選由透明絕緣材料形成。

在鈍化膜270上形成像素電極281之后，利用有機(jī)物和/或無機(jī)物形成像素定義膜290以覆蓋該像素電極281和鈍化膜270，并形成開口以暴露像素電極281。

另外，至少在所述像素電極281上形成中間層282和對(duì)向電極283。

像素電極281起到陽極的功能而對(duì)向電極283起到陰極的功能，當(dāng)然，這些像素電極281與對(duì)向電極283的極性也可以相反。

像素電極281與對(duì)向電極283被所述中間層282所絕緣，通過將不同極性的電壓施加于中間層282而在有機(jī)發(fā)光層中實(shí)現(xiàn)發(fā)光。

中間層282可具備有機(jī)發(fā)光層。作為選擇性的其他示例，中間層282具備有機(jī)發(fā)光層(organic emission layer)，此外還可以具備空穴注入層(HIL；hole injection layer)、空穴輸送層(hole transport layer)、電子輸送層(electron transport layer)以及電子注入層(electron injection layer)中的至少一個(gè)。

另外，一個(gè)單位像素P由多個(gè)子像素R、G、B構(gòu)成，多個(gè)子像素R、G、B可發(fā)射多種顏色的光。例如，多個(gè)子像素R、G、B可具有分別發(fā)射紅色、綠色和藍(lán)色的光的子像素R、G、B，并可具有發(fā)射紅色、綠色、藍(lán)色和白色的光的子像素(未標(biāo)出)。

另外，如上所述的薄膜封裝層E可包括多個(gè)無機(jī)層，或者包括無機(jī)層和有機(jī)層。

薄膜封裝層E的所述有機(jī)層由高分子形成，優(yōu)選地，可以是由聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(Polyethylene terephthalate)、聚酰亞胺、聚碳酸酯、環(huán)氧樹脂、聚乙烯以及聚丙烯酸酯中的任意一個(gè)形成的單層膜或?qū)盈B膜。更加優(yōu)選地，所述有機(jī)層可由聚丙烯酸酯形成，具體而言，可包括：包含二丙烯酸酯系單體或三丙烯酸酯系單體的單體組合物被高分子化而成的物質(zhì)。所述單體組合物中還可以包括單丙烯酸酯系單體。并且，所述單體組合物中還可以包括TPO之類的公知的光引發(fā)劑，然而并不局限于此。

薄膜封裝層E的所述無機(jī)層可以是包含金屬氧化物或金屬氮化物的單層膜或?qū)盈B膜。具體而言，所述無機(jī)層可包括SiN_x、Al₂O₃、SiO₂、TiO₂中的一個(gè)。

為了防止對(duì)有機(jī)發(fā)光元件的透濕，薄膜封裝層E中向外部暴露的最上層可由無機(jī)層形成。

薄膜封裝層E可包括如下的至少一個(gè)夾層結(jié)構(gòu)，即，所述夾層結(jié)構(gòu)在至少兩個(gè)無機(jī)層之間插入有至少一個(gè)有機(jī)層。作為另一例，薄膜封裝層E還可以包括如下的至少一個(gè)夾層結(jié)構(gòu)，即，所述夾層結(jié)構(gòu)在至少兩個(gè)有機(jī)層之間插入有至少一個(gè)無機(jī)層。作為又一例，薄膜封裝層E還可以包括：在至少兩個(gè)無機(jī)層之間插入有至少一個(gè)有機(jī)層的夾層結(jié)構(gòu)；以及在至少兩個(gè)有機(jī)層之間插入有至少一個(gè)無機(jī)層的夾層結(jié)構(gòu)。

薄膜封裝層E可從有機(jī)發(fā)光元件(OLED)的上部依次包括第一無機(jī)層、第一有機(jī)層、第二無機(jī)層。

作為另一例，薄膜封裝層E可從有機(jī)發(fā)光元件(OLED)的上部依次包括第一無機(jī)層、第一有機(jī)層、第二無機(jī)層、第二有機(jī)層、第三無機(jī)層。

作為又一例，薄膜封裝層E可從所述有機(jī)發(fā)光元件(OLED)的上部依次包括第一無機(jī)層、第一有機(jī)層、第二無機(jī)層、所述第二有機(jī)層、第三無機(jī)層、第三有機(jī)層、第四無機(jī)層。

有機(jī)發(fā)光元件(OLED)與第一無機(jī)層之間可額外包括含有LiF的鹵化金屬層。所述鹵化金屬層可在通過濺鍍方式形成第一無機(jī)層時(shí)防止所述有機(jī)發(fā)光元件(OLED)損壞。

第一有機(jī)層可以形成為面積比第二無機(jī)層更小，且所述第二有機(jī)層也可以形成為面積比第三無機(jī)層更小。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的顯示裝置的制造裝置100以及顯示裝置的制造方法可用于形成所述有機(jī)層。此時(shí)，顯示裝置的制造裝置100以及顯示裝置的制造方法可均勻而迅速地提供用于形成有機(jī)層的有機(jī)物，從而可以縮短顯示裝置200的制造時(shí)間并提高制造效率。

不僅如此，通過根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的顯示裝置的制造裝置100以及顯示裝置的制造方法制造的顯示裝置200具有均勻的有機(jī)層，從而可以有效地封裝顯示部。

而且，通過根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的顯示裝置的制造裝置100以及顯示裝置的制造方法制造的顯示裝置200的顯示部可從外部的水分和氧氣等來有效地保護(hù)顯示部，從而可以增加顯示裝置200的壽命。

如此，已參考圖中所示的一個(gè)實(shí)施例而說明了本發(fā)明，然而這只不過是 示例，如果是本領(lǐng)域技術(shù)人員就會(huì)理解可由此實(shí)現(xiàn)多種多樣的變形以及實(shí)施例的變更。因此，本發(fā)明真正的技術(shù)保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)由權(quán)利要求書的技術(shù)思想確定。