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半導(dǎo)體裝置的制作方法

文檔序號:12288884閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置(1),其具有晶體管單元區(qū)域(37),該晶體管單元區(qū)域(37)是在半導(dǎo)體襯底(9)之上配置有多個晶體管的單元的區(qū)域,

該半導(dǎo)體裝置的特征在于,

具有電極焊盤(2),該電極焊盤(2)避開所述晶體管單元區(qū)域(37)而配置在所述半導(dǎo)體襯底(9)之上,且與各所述單元的一個電流電極電連接,

所述晶體管單元區(qū)域(37)由電流驅(qū)動能力依賴于與所述電極焊盤(2)相距的距離而不同的多個區(qū)域(6、7、8)構(gòu)成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

所述電極焊盤(2)的形狀為圓形、橢圓形、或者具有至少大于或等于5個頂點的多邊形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

至少一部分的所述單元除了所述一個電流電極以外,還具有面積比該一個電流電極小的電流檢測電極。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

還具有對所述半導(dǎo)體裝置的溫度進行檢測的溫度檢測用二極管(24)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

所述溫度檢測用二極管(24)的正極與所述電極焊盤(2)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

還具有對所述半導(dǎo)體裝置的溫度進行檢測的溫度檢測用二極管(24)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

所述半導(dǎo)體襯底(9)為碳化硅襯底。

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