本發(fā)明涉及一種太赫茲/激光疊層探測(cè)器，屬于多模、多光譜復(fù)合探測(cè)中的探測(cè)器技術(shù)。

背景技術(shù)：
采用雙?；蚨嗄Ｌ綔y(cè)技術(shù)能夠更加有效的對(duì)目標(biāo)的特性進(jìn)行探測(cè)，是未來(lái)探測(cè)技術(shù)發(fā)展的主流方向之一。由于雙?；蚨嗄?fù)合探測(cè)能夠探測(cè)同一目標(biāo)的兩種電磁譜段以上的目標(biāo)特性，因此能夠提供更多的信息量，有利于發(fā)揮各自優(yōu)勢(shì)，解決單一模式所難以解決的問(wèn)題。將天線作為光學(xué)探測(cè)器的窗口可實(shí)現(xiàn)雙模共孔徑探測(cè)，但該天線必須透光。透明電子學(xué)是近年來(lái)十分熱門(mén)的研究領(lǐng)域，納米級(jí)厚度的石墨烯既具有良好的導(dǎo)電性能，又有寬光譜的高透過(guò)率。因此，可以采用石墨烯薄膜替代以往的微帶貼片天線中的金屬貼片(薄膜)和地板，制備透激光的太赫茲(THz)天線，其與激光探測(cè)器的結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)太赫茲/激光復(fù)合的疊層探測(cè)器。激光具有高定向性、高單色性或高相干性特點(diǎn)。在激光制導(dǎo)、激光經(jīng)緯儀等光電跟蹤、定位和準(zhǔn)直儀器中常用四象限探測(cè)器作為光電傳感器。目前激光制導(dǎo)主要采用半主動(dòng)方式，即導(dǎo)引頭與激光照射器分開(kāi)放置，導(dǎo)引頭中的核心部件就是四象限探測(cè)器。而在四象限探測(cè)器中目前廣泛應(yīng)用的是采用1.06微米波段的Si四象限探測(cè)器。四象限光電探測(cè)器具有電子線路簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。太赫茲波通常指的是波長(zhǎng)在1-0.03毫米之間的電磁輻射，其波段位于微波和紅外光之間相當(dāng)寬泛圍的電磁輻射區(qū)域。物質(zhì)的THz光譜包含有豐富的物理和化學(xué)信息。研究THz不僅在科學(xué)上具有重要意義，而且在通信、醫(yī)學(xué)成像等方面也具有重要的應(yīng)用價(jià)值。將THz探測(cè)與半主動(dòng)激光探測(cè)相結(jié)合是獲取被探測(cè)目標(biāo)更為豐富信息的一種有效的技術(shù)途徑。在某些應(yīng)用系統(tǒng)中要求結(jié)構(gòu)緊湊、體積小且同軸共視場(chǎng)。為了滿足這種需求，本發(fā)明制備出一種結(jié)構(gòu)緊湊、體積小又能實(shí)現(xiàn)雙模探測(cè)的探測(cè)器，即太赫茲/激光疊層探測(cè)器。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是提供一種太赫茲/激光疊層探測(cè)器，用以解決某些應(yīng)用系統(tǒng)中對(duì)探測(cè)器既要結(jié)構(gòu)緊湊、體積小，又能實(shí)現(xiàn)雙模探測(cè)的需求的技術(shù)問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的方案包括一種太赫茲/激光疊層探測(cè)器，由微帶天線和探測(cè)器元件構(gòu)成，所述微帶天線由處于絕緣介質(zhì)基片上面的導(dǎo)電薄膜貼片和金屬饋線，以及處于絕緣介質(zhì)基片下面的導(dǎo)電薄膜接地板構(gòu)成，其特征在于，微帶天線附有導(dǎo)電薄膜接地板的一面通過(guò)粘合劑黏貼在探測(cè)器元件的表面，探測(cè)器元件通過(guò)金屬電極進(jìn)行信號(hào)輸出；所述微帶天線接收太赫茲波，所述導(dǎo)電薄膜透射激光。所述探測(cè)器元件為四象限激光探測(cè)器。所述導(dǎo)電薄膜貼片至少成2*2陣列，依據(jù)探測(cè)器的中心對(duì)稱(chēng)分布，每個(gè)陣列內(nèi)的導(dǎo)電薄膜貼片都由金屬饋線進(jìn)行饋電。所述四象限激光探測(cè)器為雪崩光電二極管(APD)或PIN型光電二極管。所述導(dǎo)電薄膜由2-8層石墨烯薄膜制成。所述絕緣介質(zhì)基片選取二氧化硅、藍(lán)寶石、氟化鎂或者尖晶石。所述金屬饋線由鉻/金(Cr/Au)或銅(Cu)制成。本發(fā)明的技術(shù)方案提供的疊層探測(cè)器中微帶天線和探測(cè)器元件通過(guò)粘合劑粘貼在一起，探測(cè)器元件通過(guò)金屬電極進(jìn)行信號(hào)輸出，這使疊層探測(cè)器結(jié)構(gòu)緊湊、體積小。另外，微帶天線的導(dǎo)電薄膜使用的石墨烯薄膜，不僅具有良好的導(dǎo)電性，還具有寬光譜的高透過(guò)率，當(dāng)包含有激光和THz的射線射入該雙模探測(cè)器時(shí)，首先經(jīng)過(guò)導(dǎo)電薄膜制備的微帶天線，對(duì)THz波進(jìn)行接收，由于該微帶天線整體對(duì)激光有良好的透過(guò)率，因此四象限激光探測(cè)器能夠接收到大部分入射的激光射線，從而實(shí)現(xiàn)了雙模疊層探測(cè)，并且結(jié)構(gòu)緊湊、體積小，簡(jiǎn)化了整體結(jié)構(gòu)，為T(mén)Hz/激光雙模復(fù)合探測(cè)的廣泛應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。附圖說(shuō)明圖1是本發(fā)明實(shí)施例1中疊層探測(cè)器的俯視圖；圖2是本發(fā)明實(shí)施例1中疊層探測(cè)器的側(cè)視圖；圖3是本發(fā)明實(shí)施例2中疊層探測(cè)器的俯視圖圖中1為絕緣介質(zhì)基片，2為導(dǎo)電薄膜貼片，3為金屬饋線，4為導(dǎo)電...