陶瓷層疊體的制造裝置及其制造方法
【專利摘要】本發(fā)明制造一種在將陶瓷片從成膜支承單元經(jīng)由剝離轉(zhuǎn)印輥而轉(zhuǎn)印至層疊支承單元時(shí)，能夠在不對(duì)陶瓷片施加較大的負(fù)荷的情況下進(jìn)行搬送，從而能制造出質(zhì)量較好的陶瓷層疊體。本發(fā)明所涉及的陶瓷層疊體的制造裝置包括：在表面形成有陶瓷片(S)的成膜輥(12)；以將陶瓷片(S)夾持在中間的方式與成膜輥(12)相接觸，且從成膜輥剝離陶瓷片的剝離轉(zhuǎn)印輥(14)；以及層疊輥(16)，該層疊輥(16)以將陶瓷片(S)夾持在中間的方式與剝離轉(zhuǎn)印輥相接觸，從剝離轉(zhuǎn)印輥剝離陶瓷片并對(duì)該陶瓷片進(jìn)行層疊，從而獲得陶瓷層疊體。由相對(duì)于陶瓷片的粘接力不大于成膜輥(12)的彈性體(14b)來構(gòu)成剝離轉(zhuǎn)印輥(14)的外周部，在成膜輥(12)與剝離轉(zhuǎn)印輥(14)的接觸位置上，產(chǎn)生能利用彈性體(14b)的剪切形變來吸收的速度差。
【專利說明】陶瓷層疊體的制造裝置及其制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種層疊陶瓷電容器等層疊型電子元器件的制造工藝中使用的陶瓷 層疊體的制造裝置及其制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 在制造層疊陶瓷電容器的情況下，如專利文獻(xiàn)1所示，一般采用如下方法：在較長 的載膜上形成陶瓷生片，在其上印刷內(nèi)部電極，將陶瓷片切割成所希望的尺寸，并從載膜上 剝離，并且將切割下的陶瓷片層疊多層，從而形成層疊體模塊。作為從載膜剝離陶瓷生片的 方法，利用吸引孔將支承陶瓷生片的載膜的下表面吸附并保持于型板上，并且在型板的上 方設(shè)置具有多個(gè)吸引孔的吸附頭，通過在利用吸附頭的吸引孔吸附陶瓷生片的上表面的狀 態(tài)下使吸附頭上升，從而將陶瓷生片從載膜上剝離。
[0003] 然而，由于型板與吸附頭均為平板狀，因此剝離模式為面剝離。由于隔開規(guī)定間隔 地設(shè)置吸附頭的吸引孔，因此吸引孔間的陶瓷生片不被保持。因此，在陶瓷生片較薄、強(qiáng)度 較小的情況下，在從型板上的載膜剝離陶瓷生片的過程中，吸引孔間的陶瓷生片可能會(huì)破 裂。
[0004] 專利文獻(xiàn)2的圖3中公開了有效的陶瓷層疊體的制造裝置。該制造裝置利用成膜 裝置在實(shí)施了脫膜處理的成膜輥上將陶瓷漿料涂布成薄膜狀，利用干燥裝置將陶瓷漿料干 燥，之后，將該陶瓷片轉(zhuǎn)移至剝離轉(zhuǎn)印輥上，通過進(jìn)一步將陶瓷片從剝離轉(zhuǎn)印輥轉(zhuǎn)印至層疊 輥上，從而在層疊輥上將陶瓷片層疊成多層。層疊輥上利用電極形成裝置在各個(gè)陶瓷片上 形成電極。
[0005] 專利文獻(xiàn)2所記載的裝置中，由于能通過連續(xù)運(yùn)行來使陶瓷漿料成膜，因此與間 歇式的成膜方法相比，膜厚的穩(wěn)定區(qū)域變大，質(zhì)量及量產(chǎn)性提高，并且能在不使用載膜的情 況下進(jìn)行成膜、層疊，因此具有降低制造成本的優(yōu)點(diǎn)。另外，隨著在層疊輥上層疊陶瓷片，層 疊輥的直徑增大，而由于能與此相對(duì)應(yīng)地調(diào)整剝離轉(zhuǎn)印輥的位置、壓力，因此能使層疊體的 質(zhì)量穩(wěn)定。此外，由于層疊輥不直接與成膜輥相接觸，因此能消除層疊輥的施加壓力損傷成 膜輥的問題。 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)1 :日本專利特開2002 - 254421號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2 :日本專利特開2011 - 258928號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】
發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0007] 專利文獻(xiàn)2中，為了可靠地將陶瓷片從成膜輥轉(zhuǎn)移至剝離轉(zhuǎn)印輥，在成膜輥上實(shí) 施脫膜處理，并在剝離轉(zhuǎn)印輥上設(shè)置粘接單元或吸附單元（吸引或靜電吸附）。
[0008] 然而，在剝離轉(zhuǎn)印輥上使用粘接單元的情況下，難以恰當(dāng)?shù)乜刂破湔辰恿Γ粽辰?力過強(qiáng)，則無法順利地將陶瓷片轉(zhuǎn)印至層疊輥，而若粘接力過弱，則無法順利地從成膜輥剝 離陶瓷片。
[0009] 另一方面，若將吸輥這樣的吸附單元用作為剝離轉(zhuǎn)印輥，則保持力的控制簡單，但 由于對(duì)不被載膜支承的陶瓷片的表面進(jìn)行真空吸引，因此在不具有吸引孔的區(qū)域陶瓷片可 能被拉長，或者陶瓷片的表面可能留下因吸引孔而產(chǎn)生的吸引痕跡，使得陶瓷層疊體的質(zhì) 量可能下降。尤其是，在使用膜厚較小且低強(qiáng)度的陶瓷片的情況下，即使稍微的負(fù)荷就會(huì)使 陶瓷片變形，因此難以采用真空吸引的吸附單元。
[0010] 因此，本發(fā)明的目的在于提供一種陶瓷層疊體的制造裝置及制造方法，在將陶瓷 片從成膜支承單元經(jīng)由剝離轉(zhuǎn)印輥而轉(zhuǎn)印至層疊支承單元時(shí)，能夠在不對(duì)陶瓷片施加較大 的負(fù)荷的情況下進(jìn)行搬送，從而能制造出質(zhì)量較好的陶瓷層疊體。 解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
[0011] 為了達(dá)成所述目的，本發(fā)明所涉及的陶瓷層疊體的制造裝置包括：在表面上形成 有陶瓷片的成膜支承單元；以將所述陶瓷片夾持在中間的方式與所述成膜支承單元相接 觸，從成膜支承單元?jiǎng)冸x所述陶瓷片的剝離轉(zhuǎn)印輥；以及層疊支承單元，該層疊支承單元 以將所述陶瓷片夾持在中間的方式與所述剝離轉(zhuǎn)印輥相接觸，從所述剝離轉(zhuǎn)印輥剝離轉(zhuǎn)印 到所述剝離轉(zhuǎn)印輥的陶瓷片并對(duì)所剝離下的陶瓷片進(jìn)行層疊，從而獲得所述陶瓷片的層疊 體，其特征在于，由相對(duì)于所述陶瓷片的粘接力不大于所述成膜支承單元的彈性體來構(gòu)成 所述剝離轉(zhuǎn)印輥的至少外周部，在所述成膜支承單元與所述剝離轉(zhuǎn)印輥的接觸位置上，產(chǎn) 生能利用所述彈性體的剪切形變來吸收的速度差。
[0012] 本發(fā)明所涉及的陶瓷層疊體的制造方法具備如下步驟：在成膜支承單元的表面上 形成陶瓷片的成膜形成工序；通過隔著所述陶瓷片使剝離轉(zhuǎn)印輥與所述成膜支承單元相接 觸，由此從所述成膜支承單元?jiǎng)冸x所述陶瓷片，并將剝離下的所述陶瓷片轉(zhuǎn)印至剝離轉(zhuǎn)印 輥的外周的剝離轉(zhuǎn)印工序；以及層疊體形成工序，隔著所述陶瓷片使層疊支承單元與所述 剝離轉(zhuǎn)印輥相接觸，由此從所述剝離轉(zhuǎn)印輥剝離所述陶瓷片，并將剝離下的所述陶瓷片層 疊于所述層疊支承單元上，由此形成陶瓷層疊體，其特征在于，由相對(duì)于所述陶瓷片的粘接 力不大于所述成膜支承單元的彈性體來構(gòu)成所述剝離轉(zhuǎn)印輥的至少外周部，在所述成膜支 承單元與所述剝離轉(zhuǎn)印輥的接觸位置上，產(chǎn)生能利用所述彈性體的剪切形變來吸收的速度 差。此處，"剪切變形"是指彈性體在移動(dòng)方向上的形變。在彈性體設(shè)置于例如輥的外周部 的情況下，"剪切變形"是指輥在接線方向上的形變。
[0013] 形成在成膜支承單元上的陶瓷片被傳送到成膜支承單元與剝離轉(zhuǎn)印輥的接觸位 置為止。通過將剝離轉(zhuǎn)印輥的周速度與成膜支承單元上的陶瓷片的傳送速度錯(cuò)開，并由彈 性體來構(gòu)成剝離轉(zhuǎn)印輥的至少外周部，從而能在陶瓷片與成膜支承單元的界面上使剪切力 起作用，且能夠在剪切剝離模式下從成膜支承單元?jiǎng)冸x陶瓷片。成膜支承單元與剝離轉(zhuǎn)印 輥之間的速度差大致為能利用剝離轉(zhuǎn)印輥的彈性體的剪切形變來吸收的速度差，因此陶瓷 片不會(huì)起皺、破裂。
[0014] 從成膜支承單元轉(zhuǎn)印至剝離轉(zhuǎn)印輥之后，再次從剝離轉(zhuǎn)印輥剝離陶瓷片，在此情 況下，剝離轉(zhuǎn)印輥為圓筒狀，因此剝離模式并非是面剝離而是線剝離。設(shè)置于剝離轉(zhuǎn)印輥 外周部的彈性體相對(duì)于陶瓷片的粘接力不大于成膜支承單元，因此彈性體的粘接力本身較 小，能夠易于將陶瓷片從剝離轉(zhuǎn)印輥轉(zhuǎn)印至層疊支承單元。由此，能夠?qū)⑻沾善瑥某赡ぶС?單元轉(zhuǎn)印至剝離轉(zhuǎn)印輥，并進(jìn)一步轉(zhuǎn)印至層疊支承單元，而不會(huì)對(duì)陶瓷片施加負(fù)荷，因此即 使是目前難以剝離的強(qiáng)度較低的陶瓷片（厚度較薄，陶瓷生片中的樹脂較少，陶瓷生片中 的樹脂的分子量較?。┮材苓M(jìn)行剝離、層疊。因此，能夠獲得高質(zhì)量的陶瓷層疊體。
[0015] 設(shè)置于剝離轉(zhuǎn)印輥的外周部的彈性體的表面為非粘接性，且具有比陶瓷片的厚度 要小的表面粗糙度Ra。這是由于，在彈性體具有粘接性的情況下，難以將陶瓷片從剝離轉(zhuǎn)印 輥轉(zhuǎn)印至層疊支承單元。此外，所謂的非粘接性并不僅指對(duì)于陶瓷片完全不具有粘接性的 情況，也可以是有稍許的粘接性的情況，只要具有不大于成膜支承單元的粘接性的粘接力 即可。另外，由于彈性體具有規(guī)定的表面粗糙度Ra，因此在成膜支承單元上的陶瓷片與剝離 轉(zhuǎn)印輥相接觸的部分，陶瓷片沿著彈性體的表面的凹凸來發(fā)生形變，在與陶瓷片的接觸面 積增大的狀態(tài)下與剝離轉(zhuǎn)印輥相粘接。因此，即使是彈性體的表面為非粘接性，也能可靠地 將陶瓷片從成膜支承單元轉(zhuǎn)印至剝離轉(zhuǎn)印輥上。此外，凹凸小于陶瓷片的厚度，因此能防止 陶瓷片發(fā)生過度的大變形，并防止歪斜的發(fā)生。
[0016] 能利用彈性體的剪切形變來吸收的、在成膜支承單元與剝離轉(zhuǎn)印輥的接觸位置上 的速度差，會(huì)因彈性體的厚度、彈性率、表面粗糙度的不同而發(fā)生變化。如下所述，能決定速 度差的上限及下限。在剝離轉(zhuǎn)印輥的速度快于成膜支承單元的情況下，速度差的上限能由 是否發(fā)生破裂來決定。具體而言，將因速度差而產(chǎn)生的剝離轉(zhuǎn)印輥的彈性體的表面上施加 的剪切力設(shè)定為不大于使片材破裂所需的力（物性值）即可。在轉(zhuǎn)印輥的速度慢于成膜支 承單元的情況下，速度差的上限能由是否因剝離轉(zhuǎn)印輥而在片材上大量地發(fā)生起皺或緊繃 來決定。在剝離轉(zhuǎn)印輥的速度慢于成膜支承單元的情況下，過剩地將片材提供給剝離轉(zhuǎn)印 輥，失去剝離轉(zhuǎn)印輥上的行進(jìn)空間，使得在剝離轉(zhuǎn)印輥上發(fā)生起皺、繃緊。上述起皺、繃緊能 利用剪切方向上的對(duì)片材的壓縮來一定一程度地進(jìn)行吸收，但如果超過該程度，則難以吸 收。因此，若設(shè)定速度差以使得片材的壓縮率為1?3%的范圍，則能容許片材起皺、繃緊。 速度差的下限能由是否能正常地將片材從成膜支承單元?jiǎng)冸x來決定。具體而言，若設(shè)定為 使得施加于剝離轉(zhuǎn)印輥的彈性體的表面上的剪切力大于成膜支承單元上的片材的剝離力 (剝離角度為〇°時(shí)的值），則能剝離片材。
[0017] 作為一個(gè)示例，可以將成膜支承單元與剝離轉(zhuǎn)印輥之間的接觸位置上的速度差設(shè) 定為成膜支承單元的接觸位置上的速度的±1?3%的范圍。若增大彈性體的厚度，則因彈 性體的剪切形變而使得速度差的吸收范圍相對(duì)應(yīng)地變大，但若過度增大彈性體的厚度，則 成膜支承單元與剝離轉(zhuǎn)印輥的接觸位置上的彈性體的變形量變大，陶瓷片與彈性體表面的 接觸面積增大，使得陶瓷片與剝離轉(zhuǎn)印輥的粘接力過大。因此，可能無法良好地將陶瓷片轉(zhuǎn) 印至層疊支承單元。因此，為了將彈性體的厚度設(shè)定為適當(dāng)?shù)暮穸?，?yōu)選將成膜支承單元與 剝離轉(zhuǎn)印輥的速度差設(shè)為±1?3%。
[0018] 成膜支承單元可以是利用成膜裝置在其外周面上直接涂布陶瓷漿料，并使陶瓷漿 料干燥從而形成陶瓷片的成膜輥。在此情況下，成膜輥與剝離轉(zhuǎn)印輥均為圓筒形，因此剝離 模式變?yōu)榫€剝離，能以較小的力來進(jìn)行剝離。并且，無需使用載膜就能連續(xù)地對(duì)陶瓷片進(jìn)行 成膜，因此具有不會(huì)受到載膜的拉伸的影響，并能降低制造成本的優(yōu)點(diǎn)。
[0019] 成膜支承單元可以包含連續(xù)狀的載膜、以及支承該載膜的內(nèi)周面的導(dǎo)輥，陶瓷片 形成于載膜的外周面上，導(dǎo)輥與剝離轉(zhuǎn)印輥以將載膜夾持在中間的方式相接觸，使導(dǎo)輥的 周速與剝離轉(zhuǎn)印輥的周速中產(chǎn)生能利用彈性體的剪切形變來吸收的速度差。該情況下，能 夠預(yù)先在載膜上形成陶瓷片，因此無需在導(dǎo)管的周圍配置成膜裝置或干燥裝置，能簡化裝 置。此外，在載膜上不僅能預(yù)先形成陶瓷片，還能預(yù)先在該陶瓷片上形成電極圖案。在此情 況下，無需在層疊支承單元的周圍設(shè)置電極形成裝置、干燥裝置。
[0020] 層疊支承單元可以是層疊輥，也可以是平板狀的層疊支承板。在使用層疊輥的情 況下，能在其外周面連續(xù)地形成陶瓷層疊體，因此與間歇性的層疊方法相比，具有質(zhì)量及量 產(chǎn)性提高的優(yōu)點(diǎn)。 發(fā)明效果
[0021] 如上所述，根據(jù)本發(fā)明，以彈性體來構(gòu)成剝離轉(zhuǎn)印輥的至少外周部，在成膜支承單 元與剝離轉(zhuǎn)印輥的接觸部之間設(shè)定規(guī)定的速度差，因此能夠從成膜支承單元?jiǎng)冸x陶瓷片而 不會(huì)在陶瓷片上發(fā)生起皺或破裂，并能良好地從剝離轉(zhuǎn)印輥向?qū)盈B支承單元進(jìn)行轉(zhuǎn)印。其 結(jié)果是，能夠獲得高質(zhì)量的陶瓷層疊體。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022] 圖1是本發(fā)明所涉及的陶瓷層疊體的制造裝置的實(shí)施例1的簡要俯視圖。 圖2是圖1所示的制造裝置的俯視圖。 圖3是本發(fā)明所涉及的陶瓷層疊體的制造裝置的實(shí)施例2的簡要俯視圖。 圖4是本發(fā)明所涉及的陶瓷層疊體的制造裝置的實(shí)施例3的局部示意圖。 圖5是本發(fā)明所涉及的陶瓷層疊體的制造裝置的實(shí)施例4的局部示意圖。 圖6是本發(fā)明所涉及的陶瓷層疊體的制造裝置的實(shí)施例5的局部示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0023] 以下，參照附圖具體說明本發(fā)明所涉及的陶瓷層疊體的制造裝置的多個(gè)實(shí)施例。 此外，作為本發(fā)明對(duì)象的陶瓷層疊體，包含用于制造層疊陶瓷電容器、層疊陶瓷電感等層疊 型電子元器件的層疊體模塊等。
[0024] (實(shí)施例1) 圖1所示的制造裝置10包含：成膜輥12、剝離轉(zhuǎn)印輥14、層疊輥16。成膜輥12是用 于在其外周面形成陶瓷片S的金屬等的剛體輥（圓柱狀或圓筒狀），且在其外周面實(shí)施了例 如氟類樹脂涂布等的脫膜處理。
[0025] 成膜輥12的周圍配置有成膜裝置20及干燥裝置21，所述成膜裝置20用于在成 膜輥12的外周面涂布成為陶瓷片（陶瓷生片）S的材料的陶瓷漿料，所述干燥裝置21用于 使成膜輥12上的陶瓷漿料干燥。成膜裝置20能適當(dāng)?shù)厥褂美缒＞呤酵坎紮C(jī)、刮刀、輥涂 機(jī)、噴墨型涂布機(jī)等。通過連續(xù)地從成膜裝置20將陶瓷漿料涂布到成膜輥12上，能夠形成 薄膜（例如厚度在10 以下）的陶瓷片S。陶瓷漿料是在陶瓷粉末中添加了樹脂成分、且 溶解分散在有機(jī)溶劑（水類溶劑也可）中的漿料。干燥裝置21采用如下方法：利用熱風(fēng)的 干燥方法、對(duì)成膜輥12的外周面進(jìn)行加熱的方法、真空干燥法等，但只要是根據(jù)溶劑的性 質(zhì)來使?jié){料干燥的方法即可，可以任意選擇。
[0026] 剝離轉(zhuǎn)印輥14是在金屬輥14a的整個(gè)外周部固定有規(guī)定厚度的彈性體14b的輥， 其直徑（彈性體14b的外徑）小于成膜輥12的直徑。彈性體14b的外周面14bi是非粘接 性的，具有比陶瓷片S的厚度要小的表面粗糙度Ra。表面粗糙度Ra優(yōu)選為0. 03?3 y m。 彈性體14b的厚度大于陶瓷片S的厚度，例如優(yōu)選為30?100 y m。彈性體14b優(yōu)選由例如 硬度為20?80° (肖氏硬度：JIS K 6253 :2006)的彈性材料來形成。剝離轉(zhuǎn)印輥14利用 未圖示的壓力施加機(jī)構(gòu)，以規(guī)定的壓力按壓成膜輥12和層疊輥16。此外，由于隨著在層疊 輥16上層疊陶瓷片S，層疊輥16的直徑增大，因此優(yōu)選構(gòu)成為能與此相對(duì)應(yīng)地調(diào)整剝離轉(zhuǎn) 印輥14的位置、壓力。
[0027] 層疊輥16是對(duì)從剝離轉(zhuǎn)印輥14剝離下的陶瓷片S進(jìn)行卷繞、來形成陶瓷層疊體 的輥。層疊輥16的直徑大于剝離轉(zhuǎn)印輥14的直徑。層疊輥16具備能相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸拆卸 的金屬制的圓筒夾具16a，并能將陶瓷片S卷繞于該圓筒夾具16a的外周面上。經(jīng)層疊輥 16卷繞的陶瓷片S中的相重疊的片層之間彼此壓接，且互相保持。由于將該保持力設(shè)定為 大于剝離轉(zhuǎn)印輥14保持陶瓷片S的力，因此陶瓷片S從剝離轉(zhuǎn)印輥剝離，轉(zhuǎn)印至層疊輥16。 此外，層疊輥16可以使用吸輥或粘接輥。
[0028] 層疊輥的周圍設(shè)有用于在卷繞于層疊輥16的表面的陶瓷片S上形成電極圖案的 電極印刷裝置22、以及用于使電極圖案干燥的干燥裝置23。電極印刷裝置22例如能使用 凹版（gravure offset)印刷機(jī)、噴射印刷機(jī)這樣的印刷裝置。干燥裝置23能使用與干燥 裝置21相同的裝置。
[0029] 在層疊輥16上層疊規(guī)定片數(shù)的陶瓷片S之后，停止對(duì)層疊輥16的卷繞，將陶瓷層 疊體與圓筒夾具16a-起從旋轉(zhuǎn)軸取下。然后，在保持圓筒形狀的狀態(tài)下進(jìn)行加壓沖壓、或 從圓筒夾具分離后進(jìn)行加壓沖壓，利用切割機(jī)將陶瓷層疊體切割成規(guī)定大小。之后，經(jīng)過燒 成工序、外部電極形成工序，完成層疊型電子元器件。
[0030] 如圖2所示，成膜輥12、剝離轉(zhuǎn)印輥14、以及層疊輥16分別利用各自的驅(qū)動(dòng)裝置 30、31、32在箭頭標(biāo)記方向上旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。驅(qū)動(dòng)裝置30?32中分別內(nèi)置有旋轉(zhuǎn)速度傳感器 30a?32a，能夠檢測出各個(gè)輥的轉(zhuǎn)速（輥的周速度），并能調(diào)整成所希望的轉(zhuǎn)速。此外，圖 2中，僅示出了成膜輥12、剝離轉(zhuǎn)印輥14、層疊輥16,其他裝置省略。圖2中，示出了所有輥 12、14、16均具備各自的驅(qū)動(dòng)裝置30、31、32的示例，但也可以使用公用的驅(qū)動(dòng)裝置，通過齒 輪、皮帶等傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以規(guī)定的轉(zhuǎn)速比來使輥12、14、16同步旋轉(zhuǎn)。
[0031] 在本實(shí)施例中，為了可靠地將陶瓷片S從成膜輥12轉(zhuǎn)印至剝離轉(zhuǎn)印輥14,對(duì)成膜 輥12實(shí)施脫模處理，即盡量減小成膜輥12與陶瓷片S的粘接力，并且在剝離轉(zhuǎn)印輥14的 外周部設(shè)置非粘接性且具有規(guī)定的表面粗糙度Ra的彈性體14b，調(diào)整驅(qū)動(dòng)裝置30、31的速 度，以使得在成膜輥12與剝離轉(zhuǎn)印輥14的接觸位置上產(chǎn)生能利用彈性體14b的剪切變形 來吸收的速度差。剪切變形是指彈性體14b在移動(dòng)方向上的彈性形變、即接線方向上的彈 性形變。此外，對(duì)驅(qū)動(dòng)裝置31、32的速度進(jìn)行設(shè)定，以使得剝離轉(zhuǎn)印輥14與層疊輥16之間 不存在周速差。
[0032] 例如，若將接觸位置上的成膜輥12的周速度設(shè)為VI，將剝離轉(zhuǎn)印輥14的周速度設(shè) 為V2,將能利用因彈性體14b而產(chǎn)生的剪切形變來吸收的最大速度差設(shè)為a，則設(shè)定為： VI 關(guān) V2、且 |V1 - V2| 蘭 a。
[0033] 優(yōu)選為a的值為： a = (〇? 01 ?〇? 03) XVI。
[0034] 此處，對(duì)將陶瓷片S從成膜輥12轉(zhuǎn)印至剝離轉(zhuǎn)印輥14的轉(zhuǎn)印機(jī)器進(jìn)行說明。成 膜輥12上經(jīng)過干燥的陶瓷片S被運(yùn)送至成膜輥12與剝離轉(zhuǎn)印輥14的接觸位置，此處陶瓷 片S夾持在兩個(gè)輥之間。由于成膜輥12的周速度（陶瓷片S的傳送速度）與剝離轉(zhuǎn)印輥 14的周速度不同，因此陶瓷片S與成膜輥12的界面上產(chǎn)生剪切力，在剪切剝離模式下將陶 瓷片S從成膜輥12剝離。成膜輥12與剝離轉(zhuǎn)印輥14的周速差是能利用彈性體14b的剪 切形變來吸收的速度差，因此陶瓷片S不會(huì)起皺或破裂。此外，本實(shí)施例中，在成膜輥12上 的陶瓷片S與剝離轉(zhuǎn)印輥14相接觸的部分，陶瓷片S沿著剝離轉(zhuǎn)印輥14的彈性體14b的 表面上的凹凸而發(fā)生形變，因此在與陶瓷片S的接觸面積增大的狀態(tài)下粘接于剝離轉(zhuǎn)印輥 14。因此，即使單位面積上的陶瓷片S與彈性體14b的粘接力很微?。词箯椥泽w14b不 具有粘接性），也能可靠地保持于剝離轉(zhuǎn)印輥14上。
[0035] 再次將陶瓷片S從剝離轉(zhuǎn)印輥14剝離，從而轉(zhuǎn)印至層疊輥16,在此情況下，剝離轉(zhuǎn) 印輥14與層疊輥16均為圓筒狀，因此剝離模式不是面剝離而是線剝離，而且進(jìn)行設(shè)定以使 得剝離轉(zhuǎn)印輥14與層疊輥16的周速差為0。由于彈性體14b不具有粘接性，因此單位面積 的陶瓷片S與彈性體14b的粘接力較小，由于與層疊在層疊輥16上的陶瓷片S的粘接力相 對(duì)足夠大，因此能可靠地將陶瓷片S從剝離轉(zhuǎn)印輥14轉(zhuǎn)印至層疊輥16。在轉(zhuǎn)印至層疊輥 16時(shí)，為了提高陶瓷片S之間的粘接力，可以進(jìn)行溫度調(diào)整以使層疊輥16的外周面為規(guī)定 的溫度。
[0036] 表1示出了在圖1的結(jié)構(gòu)下、使成膜輥12與剝離轉(zhuǎn)印輥14的周速度差改變時(shí)從 成膜輥12剝離陶瓷片S的剝離狀態(tài)。其中，以下面條件進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)。 成膜棍：200mm的金屬棍 剝離轉(zhuǎn)印棍：表面安裝有彈性體的150mm的金屬棍 彈性體的表面粗糙度：Ra = 1 y m 彈性體的厚度：1〇〇 iim 彈性體的硬度：55° (肖氏硬度）
[0037] 【表1】_

【權(quán)利要求】
1. 一種陶瓷層疊體的制造裝置，包括： 成膜支承單元，在其表面上形成有陶瓷片； 剝離轉(zhuǎn)印輥，該剝離轉(zhuǎn)印輥以將所述陶瓷片夾持在中間的方式與所述成膜支承單元相 接觸，且從成膜支承單元?jiǎng)冸x所述陶瓷片；以及 層疊支承單元，該層疊支承單元以將所述陶瓷片夾持在中間的方式與所述剝離轉(zhuǎn)印輥 相接觸，從所述剝離轉(zhuǎn)印輥剝離轉(zhuǎn)印到所述剝離轉(zhuǎn)印輥的陶瓷片，并對(duì)所剝離下的陶瓷片 進(jìn)行層疊，從而獲得所述陶瓷片的層疊體， 該陶瓷層疊體的制造裝置的特征在于， 由相對(duì)于所述陶瓷片的粘接力不大于所述成膜支承單元的彈性體來構(gòu)成所述剝離轉(zhuǎn) 印輥的至少外周部， 在所述成膜支承單元與所述剝離轉(zhuǎn)印輥的接觸位置上，產(chǎn)生能利用所述彈性體的剪切 形變來吸收的速度差。
2. 如權(quán)利要求1所述的陶瓷層疊體的制造裝置，其特征在于， 所述彈性體的表面為非粘接性，且具有比所述陶瓷片的厚度要小的表面粗糙度Ra。
3. 如權(quán)利要求1所述的陶瓷層疊體的制造裝置，其特征在于， 將所述成膜支承單元與所述剝離轉(zhuǎn)印輥的接觸位置上的速度差設(shè)為所述成膜支承單 元的接觸位置上的速度的1?3%的范圍。
4. 如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的陶瓷層疊體的制造裝置，其特征在于， 所述成膜支承單元包含利用成膜裝置在其外周面上直接涂布陶瓷漿料、并使陶瓷漿料 干燥從而形成了陶瓷片的成膜輥。
5. 如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的陶瓷層疊體的制造裝置，其特征在于， 所述成膜支承單元包含連續(xù)狀的載膜、以及支承該載膜的內(nèi)周面的導(dǎo)輥，所述陶瓷片 形成于所述載膜的外周面上，所述導(dǎo)輥與所述剝離轉(zhuǎn)印輥以將所述載膜夾持在中間的方式 相接觸，使所述導(dǎo)輥的周速與所述剝離轉(zhuǎn)印輥的周速中產(chǎn)生能利用所述彈性體的剪切形變 來吸收的速度差。
6. -種陶瓷層疊體的制造方法，其特征在于，具備如下工序： 在成膜支承單元的表面上形成陶瓷片的成膜形成工序； 剝離轉(zhuǎn)印工序，通過隔著所述陶瓷片使剝離轉(zhuǎn)印輥與所述成膜支承單元相接觸，由此 從所述成膜支承單元?jiǎng)冸x所述陶瓷片，并將剝離下的所述陶瓷片轉(zhuǎn)印至剝離轉(zhuǎn)印輥的外 周；以及 層疊體形成工序，隔著所述陶瓷片使層疊支承單元與所述剝離轉(zhuǎn)印輥相接觸，從而從 所述剝離轉(zhuǎn)印輥剝離所述陶瓷片，并將剝離下的所述陶瓷片層疊于所述層疊支承單元上， 由此形成陶瓷層疊體， 該陶瓷層疊體的制造方法的特征在于， 由相對(duì)于所述陶瓷片的粘接力不大于所述成膜支承單元的彈性體來構(gòu)成所述剝離轉(zhuǎn) 印輥的至少外周部， 在所述成膜支承單元與所述剝離轉(zhuǎn)印輥的接觸位置上，產(chǎn)生能利用所述彈性體的剪切 形變來吸收的速度差。
【文檔編號(hào)】H01G13/00GK104377045SQ201410401272
【公開日】2015年2月25日 申請(qǐng)日期:2014年8月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月14日
【發(fā)明者】中川剛, 朝川知朗, 早川和久 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所