加工裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種加工裝置，其能夠容易地輸入用加工裝置對被加工物實(shí)施加工所需要的信息，并且能夠減少由于作業(yè)者的錯誤輸入而使被加工物或加工裝置破損的危險。一種對被加工物實(shí)施加工的加工裝置，該加工裝置具有：保持單元，其保持被加工物；加工單元，其具有對保持單元所保持的被加工物實(shí)施加工的能夠拆裝的加工工具；控制單元，其至少控制加工單元；和讀取單元，其讀取附設(shè)在加工工具上并具有加工工具的類別信息的信息碼，控制單元根據(jù)由讀取單元讀取到的加工工具的類別信息對加工裝置的動作加以規(guī)定的限制。
【專利說明】加工裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對被加工物進(jìn)行加工的加工裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，例如，作為在半導(dǎo)體制造工序或電子部件制造工序中使用的加工裝置，公知有切削裝置、磨削裝置、研磨裝置等各種加工裝置。
[0003]并且，例如，在半導(dǎo)體晶片的切削加工中，加工工具使用切削刀具，在磨削加工中，加工工具使用磨輪(例如，參照專利文獻(xiàn)I至3)。
[0004]該切削刀具和磨輪之類的加工工具是按裝置結(jié)構(gòu)或被加工物的類別而適當(dāng)選定的，加工工具的旋轉(zhuǎn)速度需要根據(jù)所選定的加工工具的類別來設(shè)定。
[0005]另一方面，在進(jìn)行切削加工的切削裝置中，公知的是，為了管理切削刀具向?qū)щ婓w晶片的切入深度，使切削刀具的外周端和保持臺的上表面接觸來實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通，存儲保持臺的上表面和切削刀具的外周端接觸的位置處的移動軸的位置，實(shí)施構(gòu)成該切入深度方向的原點(diǎn)的所謂接觸設(shè)置(set up)作業(yè)(例如，參照專利文獻(xiàn)4)。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開2012 - 135833號公報
[0008]專利文獻(xiàn)2 ；日本特開2006 - 198737號公報
[0009]專利文獻(xiàn)3 ;日本特開2007 - 290101號公報
[0010]專利文獻(xiàn)4 ;日本特開2011 - 224720號公報
[0011]如上所述，加工工具的旋轉(zhuǎn)速度必須根據(jù)所選定的加工工具的類別來設(shè)定，但有必要采取針對作業(yè)員設(shè)定了錯誤的旋轉(zhuǎn)速度的錯誤輸入的對策。
[0012]也就是說，例如，當(dāng)由于錯誤地設(shè)定旋轉(zhuǎn)速度而使氣孔多且比較脆的陶瓷結(jié)合劑的切削刀具或磨輪高速旋轉(zhuǎn)時，很有可能導(dǎo)致切削刀具自身或磨輪自身發(fā)生破損等。
[0013]另一方面，關(guān)于上述的接觸設(shè)置作業(yè)，在切削刀具所包含的磨粒的粒徑大的切削刀具、或者如玻璃或樹脂那樣由絕緣體構(gòu)成的結(jié)合劑材料的切削刀具中，達(dá)不到或者難以達(dá)到導(dǎo)通，因而不能進(jìn)行接觸設(shè)置作業(yè)。也就是說，由于切削刀具的類別的不同，有時不能進(jìn)行接觸設(shè)置作業(yè)。
[0014]然而，當(dāng)作業(yè)者錯誤地輸入動作信息而錯誤地實(shí)施了接觸設(shè)置作業(yè)時，切削刀具會切入到保持臺中，很有可能使保持臺或切削刀具破損。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，本發(fā)明的目的是提供一種即使作業(yè)者輸入了錯誤的動作信息、也能減少使切削刀具或磨輪等加工工具或加工裝置損傷的危險的加工裝置。
[0016]根據(jù)技術(shù)方案I記載的發(fā)明，提供了一種加工裝置，其對被加工物實(shí)施加工，所述加工裝置具有:保持單元，其保持該被加工物；加工單元，其具有對保持單元所保持的被加工物實(shí)施加工的能夠拆裝的加工工具；控制單元，其至少控制加工單元；和讀取單元，其讀取附設(shè)在加工工具上并具有該加工工具的類別信息的信息碼，控制單元根據(jù)由讀取單元讀取到的加工工具的類別信息對加工裝置的動作加以規(guī)定的限制。
[0017]根據(jù)技術(shù)方案2記載的發(fā)明，提供一種基于技術(shù)方案I的記載的加工裝置，其特征在于，加工單元具有主軸，相對于該主軸裝卸加工工具，該主軸使加工工具旋轉(zhuǎn)，控制單元根據(jù)由讀取單元讀取到的加工工具的類別信息對主軸的旋轉(zhuǎn)速度的上限加以限制。
[0018]根據(jù)本發(fā)明，提供一種即使作業(yè)者輸入了錯誤的動作信息也能減少使切削刀具或磨輪等加工工具或加工裝置損傷的危險的加工裝置。
[0019]具體地說，在本發(fā)明的加工裝置中，具有讀取單元，讀取單元讀取附設(shè)在加工工具上的具有類別信息的信息碼，根據(jù)由讀取單元讀取到的加工工具的類別信息對加工裝置的動作加以規(guī)定的限制，因而即使作業(yè)者輸入了錯誤的動作信息，也能減少使加工工具或加工裝置損傷的危險。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1是適合于本發(fā)明的實(shí)施的加工裝置(切削裝置)的立體圖。
[0021]圖2是示出讀取裝置的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0022]圖3中，(A)是示出在切削刀具上附設(shè)信息碼的例子的圖，(B)是示出在刀具盒上附設(shè)信息碼的例子的圖。
[0023]圖4是示出控制裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0024]圖5是示出類別信息X動作限制信息表的一例的圖。
[0025]圖6是適合于本發(fā)明的實(shí)施的加工裝置(磨削裝置)的立體圖。
[0026]圖7是示出磨削機(jī)構(gòu)的下端部的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0027]標(biāo)號說明
[0028]2:切削裝置；10:切削機(jī)構(gòu)；12:卡盤臺；22:晶片；24:盒；26:切削刀具；27:信息碼；28:刀具盒；30:控制裝置；50:讀取裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0029]以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。作為加工裝置的一例，圖1示出半導(dǎo)體晶片的切削裝置2的外觀立體圖。切削裝置2構(gòu)成為具有:加工裝置主體4，其在外殼8內(nèi)收容有具有切削刀具的切削機(jī)構(gòu)10等加工單元；和安裝在加工裝置主體4的外殼8上的顯示監(jiān)視器6等。
[0030]切削機(jī)構(gòu)10具有主軸，圖3的(A)所示的切削刀具26能夠拆裝地安裝于該主軸，通過使該主軸高速旋轉(zhuǎn)，使得切削刀具26高速旋轉(zhuǎn)，從而對作為被加工物的晶片22進(jìn)行切削加工。切削機(jī)構(gòu)10構(gòu)成為能夠沿Y軸方向和Z軸方向移動。
[0031]與切削機(jī)構(gòu)10相鄰地配設(shè)有卡盤臺12，該卡盤臺12能夠在X軸方向上移動。14是用于載置在內(nèi)部能夠收容多個晶片22的盒24的盒載置臺(升降器)，盒載置臺構(gòu)成為能夠沿上下方向移動。另外，作為在加工時保持晶片22的保持單元，除了如卡盤臺12那樣以工作臺來構(gòu)成以外，還可以考慮使用基于邊緣夾緊(夾持端部的方式)的保持單元。
[0032]在以上結(jié)構(gòu)中，使晶片22保持在卡盤臺12上，并使卡盤臺12在X軸方向上進(jìn)行加工進(jìn)給，從而利用定位在規(guī)定的高度位置并進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)的切切削刀具26 (圖3)，沿著規(guī)定的分割線對晶片22進(jìn)行切削加工。
[0033]如圖2所示，圖1所示的50是用于讀取條形碼、二維條形碼等信息碼的讀取裝置。作業(yè)者使用該讀取裝置50讀取圖3的(A)所示的附在切削刀具26上的信息碼27，從而能夠使控制裝置30識別切削刀具26的類別信息。
[0034]如圖4的概略圖所示，在切削裝置2上設(shè)置有用于自動控制切削裝置2的控制裝置30?？刂蒲b置30例如由微型計算機(jī)構(gòu)成，控制裝置30構(gòu)成為具有:根據(jù)控制程序進(jìn)行運(yùn)算處理的CPU (中央處理裝置)31 ;存儲控制程序和各種數(shù)據(jù)庫等的ROM (只讀存儲器)32 ；存儲運(yùn)算結(jié)果等的可讀寫的RAM (隨機(jī)存取存儲器)33 ;和輸入輸出接口 34。
[0035]在R0M32內(nèi)存儲有用于自動控制切削機(jī)構(gòu)10等的控制程序、假定由控制程序讀出的各種數(shù)據(jù)庫。
[0036]作為在R0M32內(nèi)存儲的數(shù)據(jù)庫之一，在本實(shí)施方式中，如圖5所示，包含有類別信息X動作限制信息表35。在該類別信息X動作限制信息表35中，作為類別信息35A，存儲有001 - A、001 - B等關(guān)鍵字，作為與各類別信息35A的關(guān)鍵字對應(yīng)的動作限制信息35B，一對一地存儲有D - OOUD - 002等。另外，優(yōu)選的是，類別信息35A和動作限制信息35B的對應(yīng)可以進(jìn)行改寫。
[0037]RAM33進(jìn)行控制程序和各種數(shù)據(jù)的讀入、由讀取裝置50讀取的切削刀具26的類別信息、加工條件等的臨時存儲等。
[0038]顯示監(jiān)視器6 (參照圖1)與輸入輸出接口 34連接，顯示監(jiān)視器6作為輸入加工條件和操作裝置的操作指令的輸入單元發(fā)揮功能，并作為顯示各種信息的顯示單元發(fā)揮功能。另外，也可以采用這樣的結(jié)構(gòu):通過具有兩個顯示監(jiān)視器等，分別單獨(dú)設(shè)置輸入單元和顯示單元。
[0039]用于讀取附在作為加工工具的切削刀具26上的信息碼27 (參照圖3的(A))的讀取裝置50與輸入輸出接口 34連接。
[0040]使切削機(jī)構(gòu)10旋轉(zhuǎn)的電動機(jī)、使卡盤臺12移動的電動機(jī)等各種驅(qū)動裝置與輸入輸出接口 34連接，根據(jù)控制程序執(zhí)行的運(yùn)算結(jié)果，按照加工條件驅(qū)動各種驅(qū)動裝置。
[0041]如圖1和圖2所示，本實(shí)施方式的讀取裝置50拆裝自如地設(shè)置在切削裝置2的壁面，并且經(jīng)由連接線51而與切削裝置2側(cè)連接，從而構(gòu)成為能夠由作業(yè)者用手抓住自由移動的手持型讀取裝置。在讀取裝置50中形成有用于識別信息碼27的讀取部50a，構(gòu)成為通過將該讀取部50a舉到信息碼27上方而以非接觸方式識別信息碼27。
[0042]根據(jù)以上的方式，能夠只有在需要時才從切削裝置2上取下讀取裝置50來進(jìn)行信息碼27的識別，不會對讀取裝置50的設(shè)置部位感到為難。并且，采用能夠進(jìn)行基于非接觸方式進(jìn)行識別的結(jié)構(gòu)的話，只需由讀取部50a刷取切削裝置26的信息碼27，就能夠容易地識別信息碼27，能夠?qū)崿F(xiàn)作業(yè)性優(yōu)異的結(jié)構(gòu)。另外，對讀取裝置50的具體結(jié)構(gòu)沒有特別限定，除了手持型以外還可以考慮固定型等。
[0043]并且，在以上結(jié)構(gòu)中，在將圖3的(A)所示的切削刀具26安裝在切削機(jī)構(gòu)10上之前，通過讀取裝置50讀取切削刀具26的信息碼27。
[0044]在該信息碼27內(nèi)包含有切削刀具26的類別信息，控制裝置30識別該類別信息，并從圖5所示的控制裝置X動作限制信息表35中確定與該識別信息對應(yīng)的動作限制信息。例如，在所識別的類別信息35A是類別信息OOl — A的情況下，動作限制信息35B被確定為D - 001。
[0045]這里，動作限制信息35B例如是主軸轉(zhuǎn)速上限值(切削刀具26的轉(zhuǎn)速上限值)、不可執(zhí)行接觸設(shè)置、供給水量之類的信息，是用于對加工裝置的動作加以規(guī)定的限制的信息。另外，不可執(zhí)行接觸設(shè)置的條件是特別在切削刀具不導(dǎo)通的情況下設(shè)定的條件，是針對不能進(jìn)行接觸設(shè)置的切削刀具的用于可靠避免接觸設(shè)置的實(shí)施的條件。
[0046]并且，在控制裝置30中，按照這里確定的動作限制信息35B控制加工裝置的動作。也就是說，例如，在有默認(rèn)的動作條件的情況下，使該默認(rèn)的動作條件的一部分或者全部置換為由動作限制信息35B定義的動作條件，來控制加工裝置的動作。
[0047]如以上那樣，可以限制不遵守由動作限制信息35B定義的動作條件的動作。例如，將切削刀具26的轉(zhuǎn)速限制為2萬rpm以內(nèi)，限制接觸設(shè)置的實(shí)施等，可以對動作加以規(guī)定的限制，可防止在不施加該限制的情況下有可能產(chǎn)生的加工工具和加工裝置的損傷發(fā)生。
[0048]并且，動作限制信息35B是通過使用讀取裝置50讀取信息碼27而自動確定的，因而不會針對動作限制信息35B發(fā)生作業(yè)者的誤輸入。而且，例如，在讀取裝置50的讀取后，即使在作業(yè)者進(jìn)行了誤輸入的情況下，也可以通過使該誤輸入的動作條件無效，將由動作限制信息35B定義的動作條件維持為有效的動作條件，而可靠地排除作業(yè)者的誤輸入。
[0049]另外，如圖3的(A)所示，針對信息碼27，除了在切削刀具26上通過印刷、刻印、膠帶等直接附設(shè)以外，例如，如圖3的(B)所示，還可以在收容切削刀具的刀具盒28上顯示信息碼27。
[0050]可以按以上那樣實(shí)施本發(fā)明。
[0051]S卩，如圖1所示，采用一種對作為被加工物的晶片22實(shí)施加工的切削裝置(加工裝置)2，所述切削裝置2具有:卡盤臺12，其為保持晶片22的保持單元；切削機(jī)構(gòu)(加工單元)10，其具有對卡盤臺12所保持的晶片22實(shí)施加工的能夠裝卸的加工工具即切削刀具26 ；控制裝置(控制單元)30，其至少控制切削機(jī)構(gòu)10 ;和讀取裝置(讀取單元)50，其讀取附設(shè)在切削刀具26上并具有切削刀具26的類別信息的信息碼27，控制裝置30根據(jù)由讀取裝置50讀取到的切削刀具26的類別信息對切削裝置2的動作加以規(guī)定的限制。
[0052]并且，作為實(shí)施方式之一，切削機(jī)構(gòu)10具有主軸，相對于該主軸裝卸切削刀具26，該主軸使切削刀具26旋轉(zhuǎn)，控制裝置30根據(jù)由讀取裝置50讀取到的切削刀具26的類別信息對主軸的旋轉(zhuǎn)速度的上限施加限制。
[0053]如以上所述，即使作業(yè)者輸入了錯誤的動作信息，也能減少使加工工具或加工裝置損傷的危險。例如，具體地說，在誤輸入了超過由所讀取的信息碼27定義的旋轉(zhuǎn)速度的上限的旋轉(zhuǎn)速度的情況下，進(jìn)行使誤輸入的動作信息無效、并自動設(shè)定為該上限的旋轉(zhuǎn)速度、或者顯示出錯消息等之類的控制，從而防止使加工工具或加工裝置損傷。
[0054]而且，本發(fā)明還可以應(yīng)用于圖6所示的磨削裝置70。
[0055]如圖6所示，磨削裝置70構(gòu)成為具有:收容加工前的晶片的第一盒71、對中心裝置72、旋轉(zhuǎn)臂73、具有卡盤臺74a、74b、74c的轉(zhuǎn)臺74、磨削機(jī)構(gòu)(磨削單元)75a、75b、卸料臂76、清洗裝置77、收容加工后的晶片的第二盒78、搬入搬出裝置79、顯示監(jiān)視器80、控制各種動作機(jī)構(gòu)的控制裝置92等。
[0056]圖7是示出磨削機(jī)構(gòu)75a的下端部的結(jié)構(gòu)的立體圖，在由未圖示的驅(qū)動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的主軸84的末端部固定有安裝器88，磨輪82被螺紋固定在該安裝器88上。磨輪82通過在磨輪基座82a的下側(cè)的自由端部緊固多個磨具82b而構(gòu)成，所述多個磨具82b通過用樹脂結(jié)合劑、陶瓷結(jié)合劑等適當(dāng)?shù)慕Y(jié)合劑將金剛石磨粒等固結(jié)而得到的。
[0057]卡盤臺74b以晶片W的背面Wb為上側(cè)的方式經(jīng)由保護(hù)帶Wc來保持晶片W，在使主軸84向箭頭b方向旋轉(zhuǎn)、使卡盤臺74b向箭頭a方向旋轉(zhuǎn),并同時使磨輪82以規(guī)定的速度向下方移動，從而通過磨輪82磨削晶片W的背面Wb而使晶片W薄化。
[0058]并且，在以上結(jié)構(gòu)中，采用這樣的結(jié)構(gòu):針對相對于主軸84能夠裝卸的磨輪82，在其表面附設(shè)具有該磨輪82的類別信息的信息碼87，通過讀取裝置90 (圖6)讀取該信息碼87。
[0059]這樣，在圖6所示的結(jié)構(gòu)中，也可以采用這樣的結(jié)構(gòu):根據(jù)磨輪82的類別信息對主軸84的旋轉(zhuǎn)速度的上限等加以限制。
[0060]另外，在以上的實(shí)施方式中，作為加工裝置使用切削裝置和磨削裝置進(jìn)行了說明，然而除此以外，還能夠在清洗裝置等各種加工裝置中實(shí)施本發(fā)明。
【權(quán)利要求】
1.一種加工裝置，其對被加工物實(shí)施加工，所述加工裝置具有: 保持單元，其保持該被加工物； 加工單元，其具有對該保持單元所保持的該被加工物實(shí)施加工的能夠裝卸的加工工亙.N 9 控制單元，其至少控制該加工單元；和 讀取單元，其讀取附設(shè)在該加工工具上并具有該加工工具的類別信息的信息碼，該控制單元根據(jù)由該讀取單元讀取到的該加工工具的類別信息對該加工裝置的動作加以規(guī)定的限制。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其特征在于， 所述加工單元具有主軸，相對于該主軸裝卸所述加工工具，該主軸使該加工工具旋轉(zhuǎn)，所述控制單元根據(jù)由所述讀取單元讀取到的該加工工具的類別信息對該主軸的旋轉(zhuǎn)速度的上限加以限制。
【文檔編號】H01L21/304GK103962958SQ201410026176
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2014年1月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月24日
【發(fā)明者】酒井敏行 申請人:株式會社迪思科