光罩傳送夾具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型揭示了一種光罩傳送夾具，用于光罩的轉(zhuǎn)移，包括手柄，一對(duì)內(nèi)手臂及一對(duì)外手臂，所述外手臂包圍所述內(nèi)手臂，所述一對(duì)內(nèi)手臂與一對(duì)外手臂皆設(shè)置于所述手柄的同一端兩側(cè)。在移動(dòng)光罩時(shí)，由于具有更多的夾持點(diǎn)，能夠有效的保持光罩的穩(wěn)定性，防止光罩受到損壞。
【專利說(shuō)明】光罩傳送夾具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種光罩傳送夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]光罩(mask)是在光刻工藝中不可缺少的一部分,光罩質(zhì)量的優(yōu)劣直接影響著工廠半導(dǎo)體制造能力強(qiáng)弱，那么除了在光罩制造時(shí)提升工藝水平，如何在制造完成后防止光罩受損也是一個(gè)重要的問(wèn)題，尤其是一些復(fù)雜的光罩，通常也不具有備份，因此，對(duì)光罩在平時(shí)加以保護(hù)就顯得尤為重要。
[0003]通常,光罩自制作完成后，就面臨著各種被轉(zhuǎn)移，例如從一個(gè)光罩盒(box)移到另一個(gè)之中，或者在光罩盒與晶盒(cassette)之間轉(zhuǎn)移，以及為了去除表面顆粒雜質(zhì)(particle)或者由于在操作中的不當(dāng)所附著的指紋等，都需要將光罩利用器件取出。
[0004]如圖1所示，光罩10放置在晶盒(cassette) 20中，當(dāng)需要將其移動(dòng)時(shí)，利用夾具30，首先需要將其移出一部分。然而，如圖2所示，很容易發(fā)生光罩一端脫離支撐架的情況，從而會(huì)歪斜甚至掉落，這就很容易導(dǎo)致光罩破損。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于，提供一種光罩傳送夾具，以降低在傳送光罩時(shí)可能造成光罩破損的幾率。
[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種光罩傳送夾具，用于光罩的轉(zhuǎn)移，包括手柄，一對(duì)內(nèi)手臂及一對(duì)外手臂，所述外手臂包圍所述內(nèi)手臂，所述一對(duì)內(nèi)手臂與一對(duì)外手臂皆設(shè)置于所述手柄的同一端兩側(cè)。
[0007]可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述內(nèi)手臂和外手臂皆包括垂直所述手柄的第一部分及垂直所述第一部分的第二部分，所述第一部分的一端連接所述手柄，另一端與所述第二部分的一端相連接，所述第二部分的另一端設(shè)置有接觸端。
[0008]可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述第一部分與手柄通過(guò)鉸接件連接，所述第一部分以所述鉸接件為軸繞所述手柄具有O?20°的旋轉(zhuǎn)空間。
[0009]可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述手柄上設(shè)置有與內(nèi)手臂和外手臂相對(duì)應(yīng)的內(nèi)手臂鎖和外手臂鎖。
[0010]可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述接觸端為臺(tái)階狀結(jié)構(gòu)。
[0011]可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述內(nèi)手臂的第二部分之間的間距為160mm?180mm,所述內(nèi)手臂的第二部分的長(zhǎng)度為90mm?120mm。
[0012]可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述外手臂的第二部分之間的間距為200mm?240mm,所述外手臂的第二部分的長(zhǎng)度為130mm?160mm。
[0013]可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述內(nèi)手臂和外手臂的接觸端在遠(yuǎn)離第二部分的一端對(duì)齊。
[0014]可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述第二部分的另一端低于所述手柄所在平面。
[0015]可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述內(nèi)手臂的第二部分與所述手柄所在平面的夾角為140°?150°，所述外手臂的第二部分與所述手柄所在平面的夾角為170°?180。。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的光罩傳送夾具，設(shè)置有內(nèi)手臂與外手臂，從而在夾持光罩時(shí)，具有更多的夾持點(diǎn)，能夠很好的穩(wěn)定光罩，防止在移動(dòng)過(guò)大時(shí)光罩的掉落，防止了光罩破損的情況發(fā)生。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中光罩的一種放置示意圖；
[0018]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中光罩的一種放置不意圖；
[0019]圖3a為本實(shí)用新型一實(shí)施例中光罩傳送夾具的俯視圖；
[0020]圖3b為本實(shí)用新型一實(shí)施例中光罩傳送夾具的側(cè)視圖；
[0021]圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例中光罩傳送夾具外手臂張開(kāi)時(shí)的俯視圖；
[0022]圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例中光罩傳送夾具內(nèi)外手臂皆張開(kāi)的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的光罩傳送夾具進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0024]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0025]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0026]本實(shí)用新型的核心思想在于，設(shè)置一光罩傳送夾具，該光罩傳送夾具包括有兩對(duì)手臂，從而能夠防止光罩在移動(dòng)中發(fā)生偏斜，防止破損?；谠撍枷耄?qǐng)參考圖3a_圖3b，本實(shí)用新型提供的一種光罩傳送夾具包括:手柄1，一對(duì)內(nèi)手臂及一對(duì)外手臂，所述外手臂包圍所述內(nèi)手臂，所述一對(duì)內(nèi)手臂與一對(duì)外手臂皆設(shè)置于所述手柄的同一端兩側(cè)。
[0027]所述內(nèi)手臂包括第一部分21、第二部分22及接觸端23，所述第一部分21的一端通過(guò)鉸接件連接與所述手柄I另一端與所述第二部分22相連接，并且優(yōu)選為固定連接，例如第一部分21與第二部分22可以是一體成型，所述第二部分22的另一端設(shè)置有接觸端23，所述接觸端23用于夾持光罩，較佳的，所述接觸端設(shè)置成臺(tái)階狀，從而起到更好的夾持效果。圖3a示出的是所述光罩傳送夾具處于夾持狀態(tài)的樣式，所述內(nèi)手臂的第二部分22之間的距離LI為160mm?180mm,例如可以是160mm、170mm、175mm等。如圖3b所示，所述內(nèi)手臂的第二部分22的長(zhǎng)度L3為90mm?120mm，例如可以是100mm、IlOmm等，且第二部分22為傾斜的，具體是遠(yuǎn)離手柄I的一端低于所述手柄I所在的平面，從而所述內(nèi)手臂的第二部分22與設(shè)備I之間具有夾角Θ 1，其范圍可以是140°?150°。所述外手臂具有與內(nèi)手臂相似的結(jié)構(gòu)，可結(jié)合圖3a、圖3b及對(duì)內(nèi)手臂的描述加以獲悉，在此不做贅述，所述外手臂與內(nèi)手臂的區(qū)別在于，所述外手臂的第二部分32之間的距離L2大于所述內(nèi)手臂的第二部分22之間的距離LI,例如可以是200_?240mm,較佳的，為200mm、215mm、220_等，所述外手臂的第二部分32的長(zhǎng)度L4大于所述內(nèi)手臂的第二部分22的長(zhǎng)度L3，例如可以是130mm?160mm,較佳的，為140mm、145mm等，所述外手臂的第二部分32與所述手柄I之間的夾角Θ 2為170°?180°。
[0028]請(qǐng)參考圖3a，為了進(jìn)一步提高所述光罩傳送夾具的可靠性，在所述手柄I上設(shè)置有與內(nèi)手臂和外手臂相對(duì)應(yīng)的內(nèi)手臂鎖11和外手臂鎖12，用于控制內(nèi)手臂與外手臂的開(kāi)合，并控制內(nèi)手臂與外手臂的狀態(tài)。
[0029]請(qǐng)參考圖4-圖5，如圖4中，外手臂通過(guò)外手臂鎖12的控制處于打開(kāi)狀態(tài)，所述外手臂的第一部分31與所述手柄I的法向呈夾角α，其范圍可以是O?20°。如圖5中，在外手臂打開(kāi)后，通過(guò)內(nèi)手臂鎖11的控制使得內(nèi)手臂處于打開(kāi)狀態(tài)，通常，內(nèi)手臂的第一部分21與外手臂的第一部分31所能夠張開(kāi)的角度相同。在內(nèi)手臂與外手臂打開(kāi)后，便可將光罩伸入，然后通過(guò)內(nèi)手臂鎖和外手臂鎖將內(nèi)手臂和外手臂與光罩夾緊，從而實(shí)現(xiàn)光罩的移動(dòng)。利用本實(shí)用新型的光罩傳送夾具，即便出現(xiàn)如圖2所示的狀況，由于具有內(nèi)手臂的接觸端與外手臂的接觸端與光罩夾持，保證了光罩不易甚至不會(huì)出現(xiàn)向下掉落的情況，改善了在移動(dòng)光罩時(shí)的風(fēng)險(xiǎn)。
[0030]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種光罩傳送夾具，用于光罩的轉(zhuǎn)移，其特征在于，包括手柄，一對(duì)內(nèi)手臂及一對(duì)外手臂，所述外手臂包圍所述內(nèi)手臂，所述一對(duì)內(nèi)手臂與一對(duì)外手臂皆設(shè)置于所述手柄的同一端兩側(cè)。
2.如權(quán)利要求1所述的光罩傳送夾具，其特征在于，所述內(nèi)手臂和外手臂皆包括垂直所述手柄的第一部分及垂直所述第一部分的第二部分，所述第一部分的一端連接所述手柄，另一端與所述第二部分的一端相連接，所述第二部分的另一端設(shè)置有接觸端。
3.如權(quán)利要求2所述的光罩傳送夾具，其特征在于，所述第一部分與手柄通過(guò)鉸接件連接，所述第一部分以所述鉸接件為軸繞所述手柄具有O?20°的旋轉(zhuǎn)空間。
4.如權(quán)利要求3所述的光罩傳送夾具，其特征在于，所述手柄上設(shè)置有與內(nèi)手臂和外手臂相對(duì)應(yīng)的內(nèi)手臂鎖和外手臂鎖。
5.如權(quán)利要求2所述的光罩傳送夾具，其特征在于，所述接觸端為臺(tái)階狀結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求2所述的光罩傳送夾具，其特征在于，所述內(nèi)手臂的第二部分之間的間距為160mm?180mm,所述內(nèi)手臂的第二部分的長(zhǎng)度為90mm?120mm。
7.如權(quán)利要求2所述的光罩傳送夾具，其特征在于，所述外手臂的第二部分之間的間距為200mm?240mm,所述外手臂的第二部分的長(zhǎng)度為130mm?160mm。
8.如權(quán)利要求2所述的光罩傳送夾具，其特征在于，所述內(nèi)手臂和外手臂的接觸端在遠(yuǎn)離第二部分的一端對(duì)齊。
9.如權(quán)利要求2所述的光罩傳送夾具，其特征在于，所述第二部分的另一端低于所述手柄所在平面。
10.如權(quán)利要求9所述的光罩傳送夾具，其特征在于，所述內(nèi)手臂的第二部分與所述手柄所在平面的夾角為140°?150°，所述外手臂的第二部分與所述手柄所在平面的夾角為 170。?180。。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK203644751SQ201320878776
【公開(kāi)日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月27日
【發(fā)明者】吳葦 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司