清洗裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種清洗裝置，在邊緣夾緊式的清洗裝置中，實(shí)現(xiàn)進(jìn)行板狀工件的保持和保持的釋放的保持動(dòng)作機(jī)構(gòu)和使防止清洗過程中的清洗液飛散的飛散防止罩上下運(yùn)動(dòng)的上下動(dòng)作機(jī)構(gòu)的控制容易化。關(guān)于清洗裝置（1），在開始清洗板狀工件（W）時(shí)，當(dāng)使飛散防止罩（5）上升后，夾緊臂（27）通過彈簧部（28）的施力使保持部（271）夾緊并保持臨時(shí)放置于臨時(shí)放置部的板狀工件（W）的外周，在清洗結(jié)束后，當(dāng)使飛散防止罩下降后，按壓部（52）按壓作用部（272），由此，保持部向板狀工件的外周側(cè)移動(dòng)而釋放板狀工件。因此，不需要分別設(shè)置用于夾緊板狀工件的機(jī)構(gòu)和用于使飛散防止罩上下運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)并使它們各自動(dòng)作，能夠減少動(dòng)作機(jī)構(gòu)部。
【專利說明】/目/7t衣直
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體晶片等板狀工件進(jìn)行清洗的清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)對半導(dǎo)體晶片等板狀工件實(shí)施研磨加工時(shí)，由于研磨屑等附著在板狀工件上，因此在研磨后，需要使用清洗裝置向板狀工件噴出清洗液來進(jìn)行清洗。
[0003]在清洗板狀工件的清洗裝置中，需要有保持作為清洗對象的板狀工件的保持構(gòu)件，但是作為這樣的保持構(gòu)件具有:抽吸保持板狀工件下表面的保持工作臺；以及保持板狀工件的外周的邊緣夾緊裝置。當(dāng)對確保了某種程度的厚度的板狀工件的兩面進(jìn)行清洗時(shí)，保持板狀工件的外周部的邊緣夾緊裝置被使用(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開平11-031643號公報(bào)
[0006]但是，邊緣夾緊裝置具有:保持動(dòng)作機(jī)構(gòu)，其用于進(jìn)行板狀工件的保持和保持的釋放；以及上下動(dòng)作機(jī)構(gòu)，其用于使防止清洗過程中的清洗液飛散的飛散防止罩上下運(yùn)動(dòng)，需要對這兩個(gè)動(dòng)作機(jī)構(gòu)分別進(jìn)行控制。

【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]本發(fā)明是鑒于這樣的問題而完成的發(fā)明，本發(fā)明的課題在于，在邊緣夾緊式的清洗裝置中，使保持動(dòng)作機(jī)構(gòu)和上下動(dòng)作機(jī)構(gòu)的控制容易化，其中所述保持動(dòng)作機(jī)構(gòu)用于進(jìn)行板狀工件的保持和保持的釋放，所述上下動(dòng)作機(jī)構(gòu)用于使防止清洗過程中的清洗液飛散的飛散防止罩上下運(yùn)動(dòng)。
[0008]本發(fā)明涉及的清洗裝置至少由以下部分構(gòu)成:夾緊構(gòu)件，其用于夾緊并保持圓盤狀的板狀工件的外周；旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，其使由上述夾緊構(gòu)件保持的板狀工件以通過上述板狀工件的中心的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)；清洗構(gòu)件，其用于向旋轉(zhuǎn)的上述板狀工件噴射清洗液來對上述板狀工件進(jìn)行清洗；飛散防止罩，在通過上述清洗構(gòu)件來清洗上述板狀工件時(shí)，上述飛散防止罩防止上述清洗液的飛散；以及上下動(dòng)作構(gòu)件，其用于使上述飛散防止罩上下移動(dòng)，上述清洗裝置的特征在于，上述夾緊構(gòu)件由以下部分構(gòu)成:夾緊基座，其與上述旋轉(zhuǎn)軸連接；夾緊臂，其以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心以均等的角度在上述夾緊基座上至少配置有3個(gè)，并且具有支點(diǎn)、力點(diǎn)以及作用點(diǎn)；臨時(shí)放置部，其配置于上述夾緊基座，用于支撐板狀工件的外周下表面以臨時(shí)放置該板狀工件，上述夾緊臂被支撐為能夠以中央部為支點(diǎn)旋轉(zhuǎn)，上述夾緊臂由以下部分構(gòu)成:保持部，其位于上述夾緊臂的比上述支點(diǎn)靠上方的一端并成為作用點(diǎn)，用于夾緊板狀工件的外周；作用部，其位于上述夾緊臂的比上述支點(diǎn)靠下方的另一端，并成為承受外力的力點(diǎn)，用于使上述保持部開閉；以及彈簧部，其通過施加于上述夾緊臂的彈力使上述保持部夾緊板狀工件的外周，上述飛散防止罩具有:環(huán)狀的飛散防止部，其圍繞上述夾緊構(gòu)件；以及按壓部，其在通過上述上下動(dòng)作構(gòu)件而下降時(shí)下壓上述夾緊臂的上述作用部，開始清洗板狀工件時(shí)，使上述飛散防止罩上升，上述夾緊臂通過上述彈簧部的施力而使上述保持部夾緊并保持在上述臨時(shí)放置部臨時(shí)放置的板狀工件的外周，在清洗結(jié)束后，使上述飛散防止罩下降，上述按壓部下壓上述作用部，由此，上述保持部向板狀工件的外周側(cè)移動(dòng)而釋放板狀工件，并且將上述板狀工件臨時(shí)放置于上述臨時(shí)放置部。
[0009]在上述清洗裝置中，優(yōu)選的是，構(gòu)成夾緊構(gòu)件的所有部件由導(dǎo)電性部件形成。另夕卜，優(yōu)選的是，清洗構(gòu)件包括:第一清洗噴嘴，其向由夾緊構(gòu)件保持的板狀工件的上表面噴射清洗液；以及第二清洗噴嘴，其向板狀工件的下表面噴射清洗液。
[0010]發(fā)明效果
[0011]在本發(fā)明的清洗裝置中，飛散防止罩具有:環(huán)狀的飛散防止部，其圍繞夾緊構(gòu)件；以及按壓部，其在通過上下動(dòng)作構(gòu)件而下降時(shí)下壓夾緊臂的作用部，在開始清洗板狀工件時(shí)，當(dāng)使飛散防止罩上升后，夾緊臂通過彈簧部的施力而使保持部夾緊并保持臨時(shí)放置于臨時(shí)放置部的板狀工件的外周，在清洗結(jié)束后，當(dāng)使飛散防止罩下降后，按壓部下壓作用部，由此，保持部向板狀工件的外周側(cè)移動(dòng)從而釋放板狀工件。因此，不需要分別設(shè)置用于夾緊板狀工件的機(jī)構(gòu)和用于使飛散防止罩上下運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)并使它們各自動(dòng)作，能夠減少動(dòng)作機(jī)構(gòu)部，并且能夠防止產(chǎn)生動(dòng)作錯(cuò)誤。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是表示清洗裝置的一個(gè)示例的縱剖視圖。
[0013]圖2是表示清洗裝置的夾緊構(gòu)件以及飛散防止罩的俯視圖。
[0014]圖3是示意性地放大表示沒有保持板狀工件的狀態(tài)下的夾緊構(gòu)件以及飛散防止罩的一部分的剖視圖。
[0015]圖4是表示在夾緊構(gòu)件夾緊了板狀工件的狀態(tài)下的清洗裝置的縱剖視圖。
[0016]圖5是示意性地放大表示保持了板狀工件的狀態(tài)下的夾緊構(gòu)件以及飛散防止罩的一部分的剖視圖。
[0017]標(biāo)號說明
[0018]1:清洗裝置
[0019]2:夾緊構(gòu)件
[0020]20:夾緊基座200:第二清洗噴嘴
[0021]21:邊緣固定部22:臨時(shí)放置部
[0022]22A:升降部件23:升降板
[0023]26:基底部260:軸部(支點(diǎn))
[0024]27:夾緊臂
[0025]270:凹部271:保持部(作用點(diǎn))272:作用部(力點(diǎn))273:桿
[0026]28:彈簧部
[0027]29:支撐部件290:內(nèi)周壁291:外周壁292:底板293:凹部
[0028]3:旋轉(zhuǎn)構(gòu)件
[0029]30:旋轉(zhuǎn)軸300:液路
[0030]31:馬達(dá)310:電源311:編碼器
[0031]4:清洗構(gòu)件
[0032]40:容器41:第一清洗噴嘴[0033]5:飛散防止罩
[0034]50:飛散防止部51:被固定部52:按壓部
[0035]6:上下動(dòng)作構(gòu)件60:桿61:汽缸
[0036]7:傳感器
【具體實(shí)施方式】
[0037]圖1所示的清洗裝置I是保持并清洗形成為圓盤狀的板狀工件W的裝置，該清洗裝置I具有:夾緊構(gòu)件2，其用于夾緊并保持圓盤狀的板狀工件W的外周；旋轉(zhuǎn)構(gòu)件3，其用于使被夾緊構(gòu)件2保持的板狀工件W旋轉(zhuǎn)；清洗構(gòu)件4，其用于對旋轉(zhuǎn)的板狀工件W噴出清洗液；飛散防止罩5，在通過清洗構(gòu)件4對板狀工件進(jìn)行清洗時(shí)該飛散防止罩5防止清洗液的飛散；以及上下動(dòng)作構(gòu)件6，其用于使飛散防止罩5上下移動(dòng)。
[0038]夾緊構(gòu)件2具有如圖2所示形成為圓形的夾緊基座20。在夾緊基座20的外周側(cè)配設(shè)有固定板狀工件W的邊緣的邊緣固定部21。如圖2所示，邊緣固定部21沿夾緊基座20的周向等間隔地至少配設(shè)有三個(gè)。
[0039]如圖1所示，在夾緊基座20的外周端部上方配設(shè)有臨時(shí)放置部22，該臨時(shí)放置部22從下方支撐板狀工件W的外周下表面。如圖2所示，臨時(shí)放置部22沿夾緊基座20的周向等間隔地至少配設(shè)有三個(gè)，且配設(shè)于邊緣固定部21的中間。
[0040]如圖1所示，清洗構(gòu)件4配設(shè)于被夾緊構(gòu)件2夾緊的板狀工件W的上方，該清洗構(gòu)件4具有貯存清洗液的容器40和向下方噴出清洗液的第一清洗噴嘴41。
[0041]夾緊基座20的中心下部與構(gòu)成旋轉(zhuǎn)構(gòu)件3的旋轉(zhuǎn)軸30連接。旋轉(zhuǎn)軸30與馬達(dá)31連接，馬達(dá)31旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸30以及夾緊基座20。另外，馬達(dá)31與電源310以及編碼器311連接。旋轉(zhuǎn)軸30的中心與被夾緊構(gòu)件2保持的板狀工件W的中心一致。
[0042]在旋轉(zhuǎn)軸30的內(nèi)部形成有用于供清洗液通過的液路300。能夠?qū)⒁后w從液體導(dǎo)入口 301導(dǎo)入到液路300。該液路300通過夾緊基座20的中心并與位于其上方的第二清洗噴嘴200連通，從液體導(dǎo)入口 301導(dǎo)入的液體被從第二清洗噴嘴200向上方噴射。
[0043]在旋轉(zhuǎn)軸的周圍配設(shè)有支撐部件29，該支撐部件29從下方將夾緊基座20支撐為能夠旋轉(zhuǎn)。支撐部件29具有立起設(shè)置為圓形的內(nèi)周壁290和外周壁291，該支撐部件29形成為內(nèi)周壁290的下端和外周壁291的下端通過環(huán)狀的底板292而連接的形狀。由內(nèi)周壁290、外周壁291、底板292包圍的空間形成凹部293，凹部293中能夠積存使用過的清洗液。
[0044]升降部件22A貫穿底板292，飛散防止罩5通過螺絲固定被固定在升降部件22A的上端。另一方面，升降部件22A的下端與升降板23連接，升降板23被上下動(dòng)作構(gòu)件6驅(qū)動(dòng)而能夠升降。上下動(dòng)作構(gòu)件6由以下部分構(gòu)成:桿60，其與升降板23連接；以及汽缸61，其使桿60升降。
[0045]如圖1所示，飛散防止罩5具有:罩部件即飛散防止部50，其形成為從外周側(cè)圍繞夾緊構(gòu)件2的環(huán)狀且朝向內(nèi)周側(cè)上升傾斜；以及被固定部51，其固定于升降部件22A。飛散防止罩5被上下動(dòng)作構(gòu)件6驅(qū)動(dòng)而能夠升降。
[0046]如圖3所示，邊緣固定部21具有:基底部26，其固定于夾緊基座20 ;以及夾緊臂27，其中央部通過基底部26被支撐為能夠以軸部260為中心旋轉(zhuǎn)。
[0047]夾緊臂27沿以旋轉(zhuǎn)軸30為中心的夾緊基座20的周向以均等的角度至少配置三個(gè)，夾緊臂27分別形成為在大致鉛直方向較長即縱向長，在軸部260的下方在夾緊臂27的夾緊基座20側(cè)的面形成有凹部270。在夾緊臂27的上端部形成有凹陷形狀的保持部271，該保持部271具有隨著從夾緊基座20側(cè)離開而上升的斜面。保持部271形成于夾緊臂27的比支點(diǎn)即軸部260靠上方的一端，該保持部271成為通過以軸部260為中心的旋轉(zhuǎn)而夾緊板狀工件的外周的作用點(diǎn)。另外，在夾緊臂27的位于下方的另一端形成有:作用部272，其向外周側(cè)突出，并成為承受外力的力點(diǎn)，使夾緊臂27旋轉(zhuǎn)從而使保持部271開閉；以及桿273，其向下方突出。
[0048]在基底部26收納有彈簧部28的一端側(cè)，在夾緊臂27的凹部270收納有彈簧部28的另一端側(cè)，夾緊臂27的下部通過彈簧部28而被朝向夾緊基座20的外周側(cè)施力。彈簧部28對夾緊臂27施力并通過彈力使保持部271夾緊板狀工件的外周。
[0049]在夾緊臂27的下方配設(shè)有檢測夾緊臂27的狀態(tài)的傳感器7。如圖3所示，傳感器7例如是光學(xué)式的傳感器，該傳感器7能夠根據(jù)桿273是否存在于傳感器7的正上方，對夾緊臂27是否夾緊了板狀工件W的邊緣進(jìn)行判斷。
[0050]構(gòu)成夾緊構(gòu)件2的所有部件，即至少是夾緊基座20、邊緣固定部21以及臨時(shí)放置部22由導(dǎo)電性部件形成，當(dāng)在清洗時(shí)板狀工件W產(chǎn)生有靜電的情況下，能夠放掉該靜電。
[0051]在飛散防止部50的末端形成有按壓部52，該按壓部52在飛散防止罩5下降了時(shí)下壓夾緊臂27的作用部272。
[0052]在板狀工件W的清洗時(shí)，如圖4所示，首先，通過將板狀工件W裝載到臨時(shí)放置部22上，將板狀工件W臨時(shí)放置于夾緊基座20上。
[0053]在開始清洗臨時(shí)放置于夾緊基座20上的板狀工件W時(shí)，上下動(dòng)作構(gòu)件6使飛散防止罩5上升，使飛散防止部50移動(dòng)到能夠防止清洗液向外周側(cè)飛散的位置。
[0054]當(dāng)飛散防止罩5上升后，如圖5所示，由于夾緊臂27的下部通過彈簧部28的作用力而被按壓，因此夾緊臂27以軸部260為中心旋轉(zhuǎn)，夾緊臂27的一端的保持部271夾緊并保持板狀工件W的外周。當(dāng)保持部271夾緊板狀工件W的外周時(shí)，板狀工件W通過沿著保持部271的斜面略微上升而從臨時(shí)放置部22離開，板狀工件W裝載于臨時(shí)放置部22的狀態(tài)被解除。這樣，通過飛散防止罩5上升，夾緊臂27聯(lián)動(dòng)，從而通過夾緊構(gòu)件2自動(dòng)地夾緊板狀工件W，因此，不需要分別設(shè)置用于夾緊板狀工件的機(jī)構(gòu)和用于使飛散防止罩上下運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)并使它們各自動(dòng)作。另外，通過不需要分別控制，能夠防止產(chǎn)生裝置的動(dòng)作錯(cuò)誤。
[0055]當(dāng)夾緊臂27的保持部271夾緊板狀工件W的外周時(shí)，如圖5所示桿273位于傳感器7的正上方。當(dāng)傳感器7檢測出桿273存在于傳感器7的正上方時(shí)，判定為夾緊臂27夾緊了板狀工件W的邊緣。另一方面，當(dāng)傳感器7不能檢測到桿273時(shí)，判定為由于某種原因夾緊臂27沒有進(jìn)行所希望的旋轉(zhuǎn)而沒有夾緊板狀工件W，從而不開始板狀工件W的清洗。這樣，通過利用傳感器7來檢測夾緊臂27的狀態(tài)，能夠可靠地防止在沒有保持板狀工件W的狀態(tài)下開始清洗。
[0056]當(dāng)板狀工件W被夾緊構(gòu)件2保持時(shí)，圖4所示的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件3使夾緊基座20旋轉(zhuǎn)，并且從構(gòu)成清洗構(gòu)件4的第一清洗噴嘴41噴射清洗液，從而清洗板狀工件W的上表面。另夕卜，液體被從液體導(dǎo)入口 301導(dǎo)入到形成于旋轉(zhuǎn)軸30的內(nèi)部的液路300，該液體從第二清洗噴嘴200向上方噴出，從而清洗板狀工件W的下表面。
[0057]在清洗結(jié)束后，如圖1所示，上下動(dòng)作構(gòu)件6使飛散防止罩5下降。然后，通過由按壓部52來下壓作用部272，保持部271向板狀工件W的外周側(cè)移動(dòng)從而釋放板狀工件W的夾緊狀態(tài)。此時(shí)，板狀工件W沿著保持部271的斜面略微下降，從而返回到被臨時(shí)放置于臨時(shí)放置部22上的狀態(tài)。
【權(quán)利要求】
1.一種清洗裝置，上述清洗裝置至少由以下部分構(gòu)成:夾緊構(gòu)件，其用于夾緊并保持圓盤狀的板狀工件的外周；旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，其使由上述夾緊構(gòu)件保持的板狀工件以通過上述板狀工件的中心的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)；清洗構(gòu)件，其用于向旋轉(zhuǎn)的上述板狀工件噴射清洗液來對上述板狀工件進(jìn)行清洗；飛散防止罩，在通過上述清洗構(gòu)件來清洗上述板狀工件時(shí)，上述飛散防止罩防止上述清洗液的飛散；以及上下動(dòng)作構(gòu)件，其用于使上述飛散防止罩上下移動(dòng)， 上述清洗裝置的特征在于， 上述夾緊構(gòu)件由以下部分構(gòu)成:夾緊基座，其與上述旋轉(zhuǎn)軸連接；夾緊臂，其以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心以均等的角度在上述夾緊基座上至少配置有3個(gè)，并且具有支點(diǎn)、力點(diǎn)以及作用點(diǎn)；臨時(shí)放置部，其配置于上述夾緊基座，用于支撐板狀工件的外周下表面以臨時(shí)放置上述板狀工件， 上述夾緊臂被支撐為能夠以中央部為支點(diǎn)旋轉(zhuǎn)，上述夾緊臂由以下部分構(gòu)成:保持部，其位于上述夾緊臂的比上述支點(diǎn)靠上方的一端并成為作用點(diǎn)，用于夾緊板狀工件的外周；作用部，其位于上述夾緊臂的比上述支點(diǎn)靠下方的另一端，并成為承受外力的力點(diǎn)，用于使上述保持部開閉；以及彈簧部，其通過施加于上述夾緊臂的彈力使上述保持部夾緊板狀工件的外周， 上述飛散防止罩具有:環(huán)狀的飛散防止部，其圍繞上述夾緊構(gòu)件；以及按壓部，其在通過上述上下動(dòng)作構(gòu)件而下降時(shí)下壓上述夾緊臂的上述作用部， 開始清洗板狀工件時(shí)，使上述飛散防止罩上升，上述夾緊臂通過上述彈簧部的施力而使上述保持部夾緊并保持在上述臨時(shí)放置部臨時(shí)放置的板狀工件的外周，在清洗結(jié)束后，使上述飛散防止罩下降，上述按壓部下壓上述作用部，由此，上述保持部向板狀工件的外周側(cè)移動(dòng)而釋放板狀工件，并且將上述板狀工件臨時(shí)放置于上述臨時(shí)放置部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于， 構(gòu)成上述夾緊構(gòu)件的所有部件由導(dǎo)電性部件形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于， 上述清洗構(gòu)件包括:第一清洗 噴嘴，其向由上述夾緊構(gòu)件保持的板狀工件的上表面噴射清洗液；以及第二清洗噴嘴，其向上述板狀工件的下表面噴射清洗液。
【文檔編號】H01L21/67GK103904007SQ201310736966
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2013年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月27日
【發(fā)明者】木村康友, 吉村寬 申請人:株式會社迪思科