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清洗裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7015760

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本發(fā)明提供一種清洗裝置,在邊緣夾緊式的清洗裝置中,實(shí)現(xiàn)進(jìn)行板狀工件的保持和保持的釋放的保持動(dòng)作機(jī)構(gòu)和使防止清洗過(guò)程中的清洗液飛散的飛散防止罩上下運(yùn)動(dòng)的上下動(dòng)作機(jī)構(gòu)的控制容易化。關(guān)于清洗裝置(1),在開(kāi)始清洗板狀工件(W)時(shí),當(dāng)使飛散防止罩(5)上升后,夾緊臂(27)通過(guò)彈簧部(28)的施力使保持部(271)夾緊并保持臨時(shí)放置于臨時(shí)放置部的板狀工件(W)的外周,在清洗結(jié)束后,當(dāng)使飛散防止罩下降后,按壓部(52)按壓作用部(272),由此,保持部向板狀工件的外...
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